[發明專利]一種脈沖信號參數測試系統

有效

• 申請號: 202110213902.3
• 申請日: 2021-02-26
• 公開（公告）號: CN112557883B
• 公開（公告）日: 2021-05-25
• 發明（設計）人: 賈飛;程曲斌
• 申請（專利權）人: 坤元微電子（南京）有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

本發明實施例提供一種脈沖信號參數測試系統，該脈沖信號參數測試系統包括延遲模塊、開關模塊、寄生電容改善模塊和時間測量單元；脈沖信號參數測試系統的信號輸入端分別與寄生電容改善模塊的第一輸入端和延遲模塊的輸入端連接；延遲模塊的輸出端分別與待測元件的輸入端和開關模塊的第一輸入端連接，待測元件的輸出端與開關模塊的第二輸入端連接，開關模塊的輸出端與寄生電容改善模塊的第二輸入端連接；開關模塊用于分時選通開關模塊的第一輸入端與開關模塊的輸出端，或選通開關模塊的第二輸入端與開關模塊的輸出端。本發明實施例提供一種脈沖信號參數測試系統，提高了測試機對待測元件的傳輸延遲時間和脈沖信號邊沿時間的測試精度。

技術領域

本發明涉及半導體領域，特別是涉及一種脈沖信號參數測試系統。

背景技術

芯片的量產測試是保證制造出來的芯片能夠達到市場的使用要求，確保芯片本身的質量，從而提供給客戶符合規范的、質量合格的產品，芯片的量產測試就是把缺陷挑出來，分離良品和不良品的過程。

芯片的測試中包括一項時間項目測試，時間項目測試包括對待測芯片的輸入輸出傳輸延遲的測試以及待測芯片輸出信號的邊沿時間的測試，在量產測試中對于待測芯片的傳輸延遲在20ns左右以及輸出脈沖信號邊沿時間小于10ns的時間項目測試是比較困難。主要的問題包括：

1、傳統的量產測試機中的時間測量單元的時間測試精度為±10ns+0.1％讀數，顯然直接對芯片的時間項目測試其精度不能保證。

2、相同的一批芯片在不同的測試機上測試結果的平均值存在誤差。

3、待測芯片信號通過連接線纜接入測試機中，連接線纜以及測試機本身存在寄生參數，尤其是寄生電容，改變了原信號的特征。

發明內容

本發明實施例提供一種脈沖信號參數測試系統，提高了測試機對待測元件的傳輸延遲時間和脈沖信號邊沿時間的測試精度。

本發明實施例提供一種脈沖信號參數測試系統，該脈沖信號參數測試系統包括延遲模塊、開關模塊、寄生電容改善模塊和時間測量單元；

所述脈沖信號參數測試系統的信號輸入端分別與所述寄生電容改善模塊的第一輸入端和所述延遲模塊的輸入端連接；

所述延遲模塊的輸出端分別與待測元件的輸入端和所述開關模塊的第一輸入端連接，所述待測元件的輸出端與所述開關模塊的第二輸入端連接，所述開關模塊的輸出端與所述寄生電容改善模塊的第二輸入端連接；

所述寄生電容改善模塊的第一輸出端與所述時間測量單元的第一輸入端連接，所述寄生電容改善模塊的第二輸出端與所述時間測量單元的第二輸入端連接；

所述延遲模塊用于延遲所述延遲模塊的輸入端輸入的脈沖信號；所述開關模塊用于分時選通所述開關模塊的第一輸入端與所述開關模塊的輸出端，或選通所述開關模塊的第二輸入端與所述開關模塊的輸出端，所述寄生電容改善模塊用于改善所述脈沖信號參數測試系統中的寄生電容；所述時間測量單元用于測量所述時間測量單元的第一輸入端與第二輸入端輸入的脈沖信號時間差。

可選的，所述延遲模塊包括第一電阻和第一電容；

所述第一電阻的第一端為所述脈沖信號參數測試系統的信號輸入端，所述第一電阻的第二端與所述第一電容的第一端連接；

所述第一電容的第一端與所述待測元件的輸入端連接，所述第一電容的第二端接地。

可選的，所述開關模塊包括單刀雙擲開關；

所述單刀雙擲開關的第一端與所述待測元件的輸入端連接，所述單刀雙擲開關的第二端與所述待測元件的輸出端連接，所述單刀雙擲開關的控制端與所述寄生電容改善模塊的第二輸入端連接。

可選的，本發明實施例提供的脈沖信號參數測試系統還包括第一反相器、第二反相器和第三反相器；