[發(fā)明專利]一種基于芯片與智能制造的電子氣體制備系統(tǒng)及方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110207752.5
• 申請(qǐng)日: 2021-02-25
• 公開（公告）號(hào): CN112694091A
• 公開（公告）日: 2021-04-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 汪海燕;劉振宇;林素貞
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 劉振宇
• 主分類號(hào): C01B33/04
• 分類號(hào): C01B33/04
• 代理公司: 東莞市浩宇專利代理事務(wù)所(普通合伙) 44460
• 代理人: 石艷麗

1.一種基于芯片與智能制造的電子氣體制備系統(tǒng)，包括底板（1）和支撐架（2），所述底板（1）的頂部的一端固定安裝有支撐架（2），其特征在于，還包括：第一處理機(jī)構(gòu)（3）、第二處理機(jī)構(gòu)（4）、定量下料機(jī)構(gòu)（5）、上料機(jī)構(gòu)（6）、冷卻機(jī)構(gòu)（7）、液氨回收機(jī)構(gòu)（8）、分子篩處理機(jī)構(gòu)（9）、深度提純機(jī)構(gòu)（10）和電子氣體存儲(chǔ)罐（11）；

所述支撐架（2）內(nèi)部的頂端及低端分別設(shè)置有第一處理機(jī)構(gòu)（3）和第二處理機(jī)構(gòu)（4），所述支撐架（2）內(nèi)位于第一處理機(jī)構(gòu)（3）的頂部設(shè)置有定量下料機(jī)構(gòu)（5），且定量下料機(jī)構(gòu)（5）與第一處理機(jī)構(gòu)（3）連接，所述底板（1）頂部位于兩個(gè)支撐架（2）的側(cè)邊均設(shè)置有上料機(jī)構(gòu)（6），且兩個(gè)上料機(jī)構(gòu)（6）分別與兩個(gè)定量下料機(jī)構(gòu)（5）連接；

所述底板（1）頂部位于支撐架（2）的側(cè)邊設(shè)置有冷卻機(jī)構(gòu)（7），且底板（1）頂部位于冷卻機(jī)構(gòu)（7）的側(cè)邊設(shè)置有液氨回收機(jī)構(gòu)（8），所述液氨回收機(jī)構(gòu)（8）的側(cè)邊設(shè)置有分子篩處理機(jī)構(gòu)（9），所述底板（1）頂部的另一端設(shè)置有深度提純機(jī)構(gòu)（10），且底板（1）頂部位于深度提純機(jī)構(gòu)（10）的側(cè)邊設(shè)置有電子氣體存儲(chǔ)罐（11）；

所述第一處理機(jī)構(gòu)（3）和第二處理機(jī)構(gòu)（4）均包括加熱槽（12）和處理罐（13），所述第一處理機(jī)構(gòu)（3）和第二處理機(jī)構(gòu)（4）上的加熱槽（12）分別固定安裝在支撐架（2）內(nèi)部的頂端及低端，所述加熱槽（12）內(nèi)壁的底部均安裝有加熱板（15），所述支撐架（2）內(nèi)部的頂端及低端均設(shè)置有處理罐（13），所述處理罐（13）的外側(cè)對(duì)稱設(shè)置有固定板（22），且固定板（22）的表面四角均設(shè)置有安裝孔，所述處理罐（13）上的固定板（22）通過(guò)固定螺絲固定安裝在支撐架（2）內(nèi)壁，所述第一處理機(jī)構(gòu)（3）和第二處理機(jī)構(gòu)（4）上的處理罐（13）分別位于兩個(gè)加熱槽（12）內(nèi)部，所述第二處理機(jī)構(gòu)（4）上的處理罐（13）頂端設(shè)置有液氨進(jìn)口，且液氨進(jìn)口外側(cè)安裝有控制閥。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于芯片與智能制造的電子氣體制備系統(tǒng)，其特征在于：所述支撐架（2）內(nèi)部頂端的處理罐（13）底部設(shè)置有連通筒（47），且連通筒（47）外側(cè)安裝有控制閥，所述連通筒（47）的端部伸入支撐架（2）低端的處理罐（13）內(nèi)，所述第一處理機(jī)構(gòu)（3）上的處理罐（13）內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有傳動(dòng)桿（16），且傳動(dòng)桿（16）的端部伸入第二處理機(jī)構(gòu)（3）上的處理罐（13）內(nèi)部，所述傳動(dòng)桿（16）位于兩個(gè)處理罐（13）內(nèi)部的一段均等距設(shè)置有攪拌葉片（17），所述傳動(dòng)桿（16）的頂部穿過(guò)處理罐（13）固定有從動(dòng)齒輪（18），所述處理罐（13）的頂部固定安裝有攪拌電機(jī)（20），且攪拌電機(jī)（20）的輸出軸端部固定安裝有主動(dòng)齒輪（19），所述主動(dòng)齒輪（19）與從動(dòng)齒輪（18）嚙合連接，所述支撐架（2）內(nèi)部頂端的處理罐（13）頂部對(duì)稱設(shè)置有上料口（21）。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種基于芯片與智能制造的電子氣體制備系統(tǒng)，其特征在于：所述定量下料機(jī)構(gòu)（5）包括存料箱（23）、轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)（24）、轉(zhuǎn)動(dòng)軸（25）、撥料桿（26）、下料筒（27）和螺旋葉片（28），所述支撐架（2）的頂部對(duì)稱固定安裝有存料箱（23），且存料箱（23）的底部設(shè)置有下料筒（27），且下料筒（27）與上料口（21）連接，所述存料箱（23）內(nèi)壁的頂部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)軸（25），且轉(zhuǎn)動(dòng)軸（25）外側(cè)等距安裝有撥料桿（26），所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸（25）的低端伸入下料筒（27）內(nèi)，且轉(zhuǎn)動(dòng)軸（25）位于下料筒（27）內(nèi)部一端的外側(cè)設(shè)置有螺旋葉片（28）。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種基于芯片與智能制造的電子氣體制備系統(tǒng)，其特征在于：所述上料機(jī)構(gòu)（6）包括上料管（29）、螺旋輸料桿（30）和上料電機(jī)（31），所述底板（1）頂部位于支撐架（2）的兩側(cè)均固定安裝有上料管（29），且上料管（29）內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有螺旋輸料桿（30），所述上料管（29）頂部固定安裝有上料電機(jī)（31），且上料電機(jī)（31）的輸出軸端部伸入上料管（29）內(nèi)與螺旋輸料桿（30）固定，所述上料管（29）的低端設(shè)置有上料斗（14），所述上料管（29）的頂端設(shè)置有出料口（32），且出料口（32）的端部與存料箱（23）內(nèi)部連通。