[發(fā)明專利]管式清洗設(shè)備以及光伏鍍膜系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110205996.X
• 申請日: 2021-02-24
• 公開（公告）號: CN113000487B
• 公開（公告）日: 2022-04-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 奚明;胡兵;陽詩友;吳紅星;劉鋒;王祥;袁剛
• 申請（專利權(quán)）人: 理想晶延半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司
• 主分類號: B08B5/02
• 分類號: B08B5/02;B08B13/00;H01J37/32;H01L31/18
• 代理公司: 上海恒銳佳知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31286
• 代理人: 黃海霞

本發(fā)明提供了一種管式清洗設(shè)備，包括筒形腔體以及設(shè)置于所述筒形腔體的清洗供氣部。本發(fā)明的所述管式清洗設(shè)備中，所述清洗供氣部包括的若干出氣口的一部分朝向所述筒形腔體的同一組成部分設(shè)置以使提供的清洗氣體形成主噴射軌跡，另一部分朝向所述主噴射軌跡設(shè)置，有利于通過自不同出氣口噴射的清洗氣體相互之間形成擾流，對所述筒形腔體內(nèi)不同部位，特別是遠(yuǎn)離所述若干出氣口部位的清洗氣體濃度起到增強及擾動作用，從而實現(xiàn)清洗氣體在筒形腔體內(nèi)的再混合以及提高待清洗器件和清洗氣體的接觸面積來提高清洗效率。本發(fā)明還提供了包含所述管式清洗設(shè)備的光伏鍍膜系統(tǒng)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及太陽能電池制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及管式清洗設(shè)備和光伏鍍膜系統(tǒng)。

背景技術(shù)

太陽能電池制造工藝中，利用等離子體增強化學(xué)氣相沉積(Plasma EnhancedChemical Vapor Deposition，PECVD)法在晶硅表面形成減反射膜，能夠通過減少光線的反射率來提高光能利用率，同時減反射膜還能夠起到鈍化效果并為電池提供長期的保護，從而有利于光電轉(zhuǎn)化效率的提升。因此，高質(zhì)量的氮化硅薄膜對提高晶硅太陽能電池的性能和質(zhì)量都起到了至關(guān)重要的作用。

現(xiàn)有技術(shù)中通常將能夠放置幾十甚至上百硅片的石墨舟送入石英管中，通過在石英管內(nèi)激發(fā)等離子體進行PECVD沉積。由于石墨舟絕大部分表面也暴露在反應(yīng)環(huán)境中，減反射膜沉積不僅在硅片表面進行，也在石墨舟的暴露表面進行，石墨舟表面的沉積層容易對硅片表面造成污染。因此，需要定期對石墨舟進行維護。

現(xiàn)有技術(shù)中通常采用化學(xué)法對PECVD工藝的相關(guān)器件進行清洗維護。例如公開號為CN105742159A的中國專利申請公開了通過混酸和純水清除光伏相關(guān)器件，例如石墨舟和石英管表面污染的方法。然而這種清洗方法屬于離線清洗，需要將石英管或石墨舟浸泡于酸液或水中，涉及到遠(yuǎn)程運輸、石英管的拆裝過程和繁雜的清洗工藝，不利于生產(chǎn)效率的提高。

因此，有必要開發(fā)一種新型的管式清洗設(shè)備以解決現(xiàn)有技術(shù)存在的上述問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種管式清洗設(shè)備以及包括所述管式清洗設(shè)備的光伏鍍膜設(shè)備，以對進入所述管式清洗設(shè)備內(nèi)的器件進行在線清洗并有利于提高清洗效率。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的所述管式清洗設(shè)備包括筒形腔體，所述筒形腔體設(shè)置有清洗供氣部以向所述筒形腔體內(nèi)提供清洗氣體；所述清洗供氣部包括若干出氣口，所述若干出氣口的一部分朝向所述筒形腔體的同一組成部分設(shè)置以使提供的清洗氣體形成主噴射軌跡，另一部分朝向所述主噴射軌跡設(shè)置。

本發(fā)明的所述管式清洗設(shè)備的有益效果在于：所述筒形腔體設(shè)置有清洗供氣部以對進入所述管式清洗設(shè)備內(nèi)的器件進行在線清洗；所述清洗供氣部包括的若干出氣口的一部分朝向所述筒形腔體的同一組成部分設(shè)置以使提供的清洗氣體形成主噴射軌跡，另一部分朝向所述主噴射軌跡設(shè)置，有利于通過自不同出氣口噴射的清洗氣體相互之間形成擾流，特別是遠(yuǎn)離所述若干出氣口部位的清洗氣體濃度起到增強及擾動作用，從而實現(xiàn)清洗氣體在筒形腔體內(nèi)的再混合以及提高待清洗器件和清洗氣體的接觸面積來提高清洗效率。

優(yōu)選的，所述若干出氣口包括主出氣口和從出氣口；所述主出氣口設(shè)置于所述筒形腔體內(nèi)的第一側(cè)以使自所述主出氣口提供的氣體朝向所述筒形腔體內(nèi)與所述第一側(cè)相對的第二側(cè)噴射，并形成主噴射軌跡；所述從出氣口朝向所述主噴射軌跡設(shè)置。其有益效果在于：有利于形成擾流及實現(xiàn)清洗氣體在筒形腔體內(nèi)的再混合以及提高待清洗器件和清洗氣體的接觸面積來提高清洗效率。

進一步優(yōu)選的，所述筒形腔體由相對的兩個腔門以及位于所述兩個腔門之間的筒形側(cè)壁圍設(shè)而成，所述主出氣口朝向所述兩個腔門中的任意一個設(shè)置，所述從出氣口朝向所述筒形側(cè)壁設(shè)置。其有益效果在于：有利于形成擾流及實現(xiàn)清洗氣體在筒形腔體內(nèi)的再混合以及提高待清洗器件和清洗氣體的接觸面積來提高清洗效率。

進一步優(yōu)選的，所述從出氣口的數(shù)目至少為1，并沿所述筒形腔體的軸向方向或周向方向間隔設(shè)置。其有益效果在于：有利于加強清洗效果。