[發明專利]酸排風管道中殘余液體的去除裝置、方法及酸排風系統

有效

• 申請號: 202110203799.4
• 申請日: 2021-02-23
• 公開（公告）號: CN113324399B
• 公開（公告）日: 2023-04-28
• 發明（設計）人: 張國棟;許亮;陳秀偉;高玉岐;唐懷柱
• 申請（專利權）人: 上海先進半導體制造有限公司
• 主分類號: F26B23/04
• 分類號: F26B23/04;F26B25/00;F27D17/00
• 代理公司: 上海弼興律師事務所 31283
• 代理人: 楊東明;秦晶晶

1.一種酸排風系統，其特征在于，所述酸排風系統包括：酸排風管道以及所述酸排風管道中殘余液體的去除裝置，所述酸排風管道設置在擴散爐中；

所述酸排風管道包括第一酸排風管道和第二酸排風管道；

所述第一酸排風管道包括豎直部、以及一端與所述豎直部的頂端連通的橫向部；

U形管道，所述第二酸排風管道設置于所述第一酸排風管道的底端與所述U形管道的一個豎直段的頂端之間；

所述去除裝置包括：

固設在所述酸排風管道上的加熱部，所述加熱部用于加熱所述酸排風管道以使所述酸排風管道中的殘余液體汽化；

其中，所述加熱部覆蓋所述豎直部的第一預設位置范圍以及所述橫向部的第二預設位置范圍；

所述加熱部為加熱帶，所述加熱帶通過纏繞的方式固定在所述酸排風管道上；

與所述加熱部電連接的加熱開關；

所述去除裝置還包括：

固設在所述酸排風管道上的測溫器，所述測溫器與溫控器電連接，所述溫控器還與所述加熱開關電連接；

所述測溫器用于采集溫度信號并將所述溫度信號發送至所述溫控器；

所述溫控器用于根據所述溫度信號控制所述加熱開關斷開或閉合；所述溫控器具體用于：

將所述溫度信號解析為對應的溫度值；

在所述溫度值大于第一預設溫度閾值時，控制所述加熱開關斷開；

在所述溫度值小于等于第二預設溫度閾值時，控制所述加熱開關閉合，其中，所述第二預設溫度閾值小于所述第一預設溫度閾值；

所述去除裝置還包括漏電開關，所述漏電開關與所述溫控器電連接；

所述漏電開關用于在發生漏電時進行斷電保護。

2.如權利要求1所述的酸排風系統，其特征在于，所述橫向部自與所述豎直部連通的一端為起始端向下傾斜預定角度。

3.如權利要求1所述的酸排風系統，其特征在于，所述加熱部為加熱包或加熱環。

4.如權利要求1所述的酸排風系統，其特征在于，所述測溫器包括熱電偶。

5.一種酸排風管道中殘余液體的去除方法，其特征在于，所述去除方法包括：

通過權利要求1-4中任一項所述的酸排風系統，去除所述酸排風管道中的殘余液體。