[發明專利]一種碳化硅單晶清洗劑及其應用有效
| 申請號： | 202110202982.2 | 申請日： | 2021-02-23 |
| 公開（公告）號： | CN112980599B | 公開（公告）日： | 2023-06-09 |
| 發明（設計）人： | 姚泰;宋波;于永澔;張宇民 | 申請（專利權）人： | 哈爾濱工業大學 |
| 主分類號： | C11D1/66 | 分類號： | C11D1/66;C11D1/835;C11D1/825;C11D3/33;C11D3/20;C11D3/39;C11D3/04;C11D3/60;C11D11/00;B08B3/08;B08B3/12;B08B3/02 |
| 代理公司： | 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205 | 代理人： | 伍傳松 |
| 地址： | 150001 黑龍*** | 國省代碼： | 黑龍江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 碳化硅 單晶清 洗劑 及其 應用 | ||
1.一種碳化硅單晶清洗劑，其特征在于：由以下重量份數的制備原料組成：金屬螯合劑2份～3份、表面活性劑0.1份～5份、過氧化氫0.5份～6.5份、氟化物1份～20份、無機酸1份～7份和水44份～93份；
所述表面活性劑選自季銨鹽表面活性劑、脂肪醇聚氧乙烯醚和氟碳表面活性劑中的至少一種；
所述氟化物包括氟化鈉、氟化鉀和氟化銨中的至少一種；
所述金屬螯合劑選自二乙烯三胺二琥珀酸鹽、檸檬酸鹽中的至少一種；
所述碳化硅單晶清洗劑的使用方法，步驟如下：
S1、沖洗：將拋光后的碳化硅單晶放到陶瓷盤中，用水沖洗；
S2、超聲清洗：將步驟S1沖洗后的碳化硅單晶放入水中超聲處理；
S3、藥液清洗：將步驟S2中超聲處理后的碳化硅單晶放入清洗槽中，使用上述清洗劑超聲清洗；
S4、干燥：將步驟S3清洗劑處理后的碳化硅單晶超聲水洗，水洗后，氮氣吹干。
2.根據權利要求1所述的一種碳化硅單晶清洗劑，其特征在于：所述季銨鹽表面活性劑選自N，N-二甲基十二烷基氯化銨、N，N-二甲基十二烷基溴化銨、N，N-二乙基十二烷基氯化銨、N，N-二乙基十二烷基溴化銨、N，N-二甲基十六烷基氯化銨和N，N-二甲基十六烷基溴化銨中的至少一種。
3.根據權利要求1所述的一種碳化硅單晶清洗劑，其特征在于：所述氟碳表面活性劑選自全氟烷基丙醇、全氟十二醇、全氟己基磺酸銨和全氟辛基磺酸銨中的至少一種。
4.根據權利要求1所述的一種碳化硅單晶清洗劑，其特征在于：所述無機酸為硫酸。
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