[發明專利]一種硅片規整設備

在審

• 申請號: 202110201752.4
• 申請日: 2021-02-23
• 公開（公告）號: CN112864068A
• 公開（公告）日: 2021-05-28
• 發明（設計）人: 楊驊;靳立輝;耿名強;尹擎;王國瑞;趙曉光;王拓
• 申請（專利權）人: 天津環博科技有限責任公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 天津企興智財知識產權代理有限公司 12226
• 代理人: 陳雅潔

1.一種硅片規整設備，其特征在于：包括箱體(1)，通過橫移組件安裝在箱體(1)內的彈夾(2)、以及用于對彈夾(2)上的硅片進行規整的規整機械手(3)；

所述橫移組件安裝在箱體(1)底部，所述彈夾(2)通過彈夾橫移座(21)安裝在橫移組件上，所述規整機械手(3)安裝在箱體(1)側壁上位于彈夾(2)兩側。

2.根據權利要求1所述的一種硅片規整設備，其特征在于：所述規整機械手(3)設有兩組，所述箱體(1)兩側壁對稱設有臺架(30)，兩組規整機械手(3)通過豎移桿(37)升降安裝在臺架(30)上。

3.根據權利要求2所述的一種硅片規整設備，其特征在于：兩組規整機械手(3)結構相同，每組規整機械手(3)包括安裝座(32)，安裝座(32)底部四角安裝有豎移桿(37)，臺架(30)上安裝有液壓升降機，液壓升降機貫穿臺架(30)臺面與安裝座(32)底部固定連接，臺架(30)臺面的四角設有與豎移桿(37)相對應的移桿孔，四個豎移桿(37)分別安裝在移桿孔內。

4.根據權利要求3所述的一種硅片規整設備，其特征在于：每組規整機械手(3)還包括驅動電機(31)、滑桿(33)、夾板(36)，所述滑桿(33)安裝在安裝座(32)上，所述安裝座(32)側壁開有兩個第一通孔，所述滑桿(33)設有兩個，兩個滑桿(33)一端貫穿第一通孔后通過轉接板(35)與夾板(36)連接，滑桿(33)另一端通過擋板(34)連接；

所述安裝座(32)側壁上還設有第二通孔，第二通孔內安裝有絲杠，絲杠一端貫穿第二通孔后連接有第一驅動輪，所述擋板(34)上設有第三通孔，第三通孔內安裝有絲杠螺母，絲杠的另一端則貫穿絲杠螺母；

所述安裝座(32)頂部設有安裝板，驅動電機(31)安裝在安裝板上，驅動電機(31)轉軸端連接有第二驅動輪，第二驅動輪通過第一傳送帶與第一驅動輪連接。

5.根據權利要求1所述的一種硅片規整設備，其特征在于：所述橫移組件包括橫移電機(4)、第二傳送帶(41)、第二齒輪(42)、第三傳送帶(44)、第三齒輪(43)，所述箱體(1)一端設有電機安裝座(32)，所述橫移電機(4)安裝在電機安裝座(32)上，橫移電機(4)一端連接有第一齒輪，箱體(1)底部設有多個轉軸安裝座(32)，轉軸安裝座(32)上安裝有轉軸，轉軸一端與第二齒輪(42)連接，所述第二齒輪(42)與第一齒輪通過第二傳送帶(41)連接，箱體(1)底部遠離轉軸安裝座(32)一端設有齒輪安裝座(45)，所述第三齒輪(43)安裝在齒輪安裝座(45)上，所述轉軸中間位置安裝有第四齒輪，第四齒輪與第三齒輪(43)通過第三傳送帶(44)連接。

6.根據權利要求5所述的一種硅片規整設備，其特征在于：所述彈夾橫移座(21)固定在第三傳送帶(44)上，箱體(1)底部設有兩組橫移桿(22)，彈夾橫移座(21)底部設有與橫移桿(22)相對應的滑塊，滑塊滑動安裝在橫移桿(22)上。

7.根據權利要求6所述的一種硅片規整設備，其特征在于：所述箱體(1)遠離彈夾橫移座(21)的一端安裝有晶片托板(5)。