[發明專利]一種基于毛細管結構的氣體定量定比稀釋裝置

有效

• 申請號: 202110201576.4
• 申請日: 2021-02-23
• 公開（公告）號: CN112957933B
• 公開（公告）日: 2022-02-22
• 發明（設計）人: 唐蓉;孫玨;薛殿友
• 申請（專利權）人: 無錫恒大電子科技有限公司
• 主分類號: B01F23/10
• 分類號: B01F23/10;B01F25/431;B01F25/50;B01F35/213;B01F35/71;B01F35/83
• 代理公司: 無錫風創知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32461
• 代理人: 邱國棟

本發明公開了一種基于毛細管結構的氣體定量定比稀釋裝置，稀釋裝置包括第一氣管、第二氣管、出氣管、分流稀釋組件、回流管、回收泵，第一氣管和第二氣管分別連接待混合的兩路氣體所在容器，第一氣管和第二氣管合流通入分流稀釋組件內，分流稀釋組件還連接出氣管和回流管，分流稀釋組件將混合氣體定比分流后分別排往出氣管和回流管，出氣管上設置濃度計。分流稀釋組件包括器殼、進氣腔、出氣腔、分流管，器殼設置封閉的進氣腔、出氣腔，器殼中間位置作為殼程，分流管穿過殼程且兩頭分別連接進氣腔、出氣腔，進氣腔連接第一氣管和第二氣管，出氣腔連接出氣管，回流管連接器殼殼程側壁；分流管包括棉管層，棉管層浸潤非極性溶劑。

技術領域

本發明涉及電子氣體處理技術領域，具體為一種基于毛細管結構的氣體定量定比稀釋裝置。

背景技術

電子氣體是指半導體行業所使用的特殊氣體，是電子工業的糧食與血液。常見的電子氣體有WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等，特氣在進行輸出時，常常需要進行稀釋，而常用的稀釋氣體有氮氣、氬氣等。

傳統的稀釋都是從改變流量比例入手，這其中涉及到流路上閥門開度的調整，所以，混合氣比例靈敏度一直是個難題，閥門的開度輕微調整，也會對該處流動的氣體流動特性產生較大影響，所以，流量的誤差很難進一步減小，由此造成稀釋比例無法進一步提高的問題；

還有就是，幾乎所有的稀釋都是增加稀釋氣的量，從而讓功能氣的濃度降低，稀釋氣的使用存在較大的浪費，一套特氣瓶組中，常常配備多于理論比例值的稀釋氣體，因為為了調節時的余量考慮，由此造成使用上的浪費以及氣瓶占用的增加。

發明內容

本發明的目的在于提供一種基于毛細管結構的氣體定量定比稀釋裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

為了解決上述技術問題，本發明提供如下技術方案：

一種基于毛細管結構的氣體定量定比稀釋裝置，稀釋裝置包括第一氣管、第二氣管、出氣管、分流稀釋組件、回流管、回收泵，第一氣管和第二氣管分別連接待混合的兩路氣體所在容器，也就是功能氣所在的第一氣瓶和稀釋氣所在的第二氣瓶，在本文后續，以常用的CLF3(三氟化氯)作為電子氣體代表，以N2(氮氣)作為稀釋用氣體代表，兩路氣體分別從氣瓶中取用并匯總，送往分流稀釋組件，第一氣管和第二氣管合流通入分流稀釋組件內，分流稀釋組件還連接出氣管和回流管，分流稀釋組件將混合氣體定比分流后分別排往出氣管和回流管，出氣管上設置濃度計。三氟化氯和氮氣在第一氣管和第二氣管中通過調整閥門開度而實現粗略的混合，在分流稀釋組件中，將通往出氣管的氣體部分中三氟化氯的濃度降低，而另一部分通往回流管的氣體則全部為三氟化氯，相當于以抽取三氟化氯的形式，將高于預期的三氟化氯抽取出來進行回流回收，實現制取氣體的三氟化氯濃度的降低，從降低組分自身量的方面入手，而不是增加稀釋用的氮氣的量而完成稀釋目的，如此而言的好處在于，避開調整管路流量的閥門開度誤差位置，提升氣體濃度精確性，濃度計用于檢測排出氣是否符合需求，第一氣管、第二氣管、出氣管上常見設置的用于手動控制與自動控制的手閥、電磁閥均進行配置，避免氣體在單管內反流的止回閥也每條管路進行配置。

進一步的，分流稀釋組件包括器殼、進氣腔、出氣腔、分流管，器殼設置封閉的進氣腔、出氣腔，器殼中間位置作為殼程，分流管穿過殼程且兩頭分別連接進氣腔、出氣腔，進氣腔連接第一氣管和第二氣管，出氣腔連接出氣管，回流管連接器殼殼程側壁；

分流管包括棉管層，棉管層浸潤非極性溶劑。