[發明專利]一種晶圓光刻顯影用的平貼設備

在審

• 申請號: 202110201443.7
• 申請日: 2021-02-23
• 公開（公告）號: CN113003185A
• 公開（公告）日: 2021-06-22
• 發明（設計）人: 胡慧紅
• 申請（專利權）人: 胡慧紅
• 主分類號: B65G47/74
• 分類號: B65G47/74
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶圓光刻顯影用的平貼設備，其結構設有滑軌框架(1)、升降臺(2)、平貼座(3)、裝配固定件(4)，其特征在于：所述滑軌框架(1)上方與裝配固定件(4)焊接連接，所述升降臺(2)后方活動連接在滑軌框架(1)前方，所述平貼座(3)可拆卸安裝在升降臺(2)上方開口處；

所述平貼座(3)設有升降控制桿(31)、推動裝置(32)、固定盤(33)，所述升降控制桿(31)上方固定連接著推動裝置(32)，所述推動裝置(32)內部嚙合連接著固定盤(33)底部。

2.如根據權利要求1所述的一種晶圓光刻顯影用的平貼設備，其特征在于：所述推動裝置(32)由推桿(321)、動力齒環(322)、嚙合桿(323)、限位端(324)組成，所述推桿(321)焊接連接在動力齒環(322)外壁下方，所述嚙合桿(323)活動連接在動力齒環(322)上方與之相配合，所述動力齒環(322)上方兩端活動連接著限位端(324)。

3.如根據權利要求2所述的一種晶圓光刻顯影用的平貼設備，其特征在于：所述嚙合桿(323)包括齒輪柱(A1)、限位桿(A2)、推動盤(A3)、弧形環(A4)、軸承盤(A5)，所述齒輪柱(A1)上方嚙合連接在推動盤(A3)內部，所述限位桿(A2)底部焊接連接在軸承盤(A5)頂面上，所述軸承盤(A5)嵌入連接在齒輪柱(A1)上方，所述弧形環(A4)頂面焊接連接在推動盤(A3)底面。

4.如根據權利要求1所述的一種晶圓光刻顯影用的平貼設備，其特征在于：所述固定盤(33)設有嵌入環(331)、緩沖塊(332)、卡固盤(333)、盤體(334)，所述嵌入環(331)嵌入連接在盤體(334)內部表面上，所述緩沖塊(332)固定連接在盤體(334)表面上，所述卡固盤(333)活動連接在盤體(334)下方。

5.如根據權利要求4所述的一種晶圓光刻顯影用的平貼設備，其特征在于：所述卡固盤(333)包括安裝盤(B1)、轉動裝置(B2)、收緊端(B3)，所述安裝盤(B1)內部設有收緊端(B3)，所述轉動裝置(B2)可拆卸安裝在安裝盤(B1)內部。

6.如根據權利要求5所述的一種晶圓光刻顯影用的平貼設備，其特征在于：所述轉動裝置(B2)由嚙合端(B21)、推動環(B22)、配合桿(B23)組成，所述嚙合端(B21)外壁與推動環(B22)嚙合連接，所述推動環(B22)外端與配合桿(B23)底部配合連接。

7.如根據權利要求6所述的一種晶圓光刻顯影用的平貼設備，其特征在于：所述收緊端(B3)由環體(B31)、推動端(B32)、上升柱(B33)組成，所述推動端(B32)活動連接在環體(B31)內部，所述推動端(B32)與上升柱(B33)底部配合連接，所述上升柱(B33)可拆卸安裝在環體(B31)內部。

8.如根據權利要求7所述的一種晶圓光刻顯影用的平貼設備，其特征在于：所述上升柱(B33)由斜面柱(C1)、包裹罩(C2)、被動環塊(C3)、連接環架(C4)組成，所述斜面柱(C1)底部貼合連接在包裹罩(C2)內壁上，所述包裹罩(C2)外壁與被動環塊(C3)內壁配合連接，所述連接環架(C4)嵌套連接在被動環塊(C3)內部。