[發(fā)明專利]一種基于屬性選擇的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)投料控制方法及系統(tǒng)

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110192362.5
• 申請(qǐng)日: 2021-02-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112862331A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-05-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林國(guó)義;李莉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 同濟(jì)大學(xué)
• 主分類號(hào): G06Q10/06
• 分類號(hào): G06Q10/06;G06Q50/04
• 代理公司: 南京縱橫知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32224
• 代理人: 董建林

本發(fā)明公開(kāi)了一種基于屬性選擇的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)投料控制方法及系統(tǒng)，屬于制造加工控制技術(shù)領(lǐng)域，方法包括如下步驟：基于訓(xùn)練好的極限學(xué)習(xí)機(jī)模型和利用訂單信息與工件投料優(yōu)先級(jí)確定的多元線性回歸方程，構(gòu)建RPELM投料順序模型；對(duì)生長(zhǎng)線的屬性集進(jìn)行屬性選擇，選取代表性屬性和剔除無(wú)影響的屬性；對(duì)經(jīng)屬性選擇的屬性集進(jìn)行模型仿真驗(yàn)證，將經(jīng)過(guò)仿真驗(yàn)證的屬性集帶入構(gòu)建好的所述RPELM投料順序模型中確定半導(dǎo)體制造系統(tǒng)投料順序。本發(fā)明提供的方法及系統(tǒng)對(duì)工件投料優(yōu)先級(jí)相關(guān)的屬性集進(jìn)行屬性選擇，能夠提升了投料控制策略效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及制造加工控制技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種基于屬性選擇的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)投料控制方法及系統(tǒng)。

背景技術(shù)

投料控制是半導(dǎo)體制造系統(tǒng)調(diào)度的重要組成部分，處于半導(dǎo)體制造系統(tǒng)調(diào)度體系的前端，在整個(gè)半導(dǎo)體制造過(guò)程調(diào)度中占據(jù)重要地位，投料控制影響著其他類型的調(diào)度，對(duì)提高半導(dǎo)體制造系統(tǒng)的整體性能具有重要意義。

在常用投料控制策略中，靜態(tài)投料控制策略往往沒(méi)有考慮生產(chǎn)線上的實(shí)時(shí)狀態(tài)信息，而動(dòng)態(tài)投料控制策略雖然考慮了實(shí)時(shí)狀態(tài)信息，但是往往只考慮到實(shí)時(shí)狀態(tài)信息中的一個(gè)方面，如CONWIP(Constant WIP，CONWIP)只考慮了生產(chǎn)線在制品數(shù)量，WR只考慮了瓶頸設(shè)備上的工作負(fù)荷。此外，動(dòng)態(tài)投料控制策略中的閾值往往是根據(jù)試湊法確定，沒(méi)有根據(jù)實(shí)時(shí)狀態(tài)信息做出動(dòng)態(tài)調(diào)整，所以常用投料控制策略中的靜態(tài)投料方法和動(dòng)態(tài)投料方法均沒(méi)有完全考慮到生產(chǎn)線上的實(shí)時(shí)狀態(tài)，具有一定的片面性。

改進(jìn)投料控制策略是在常用投料控制策略上，綜合了各種投料控制策略優(yōu)點(diǎn)，但是效果與實(shí)用性相互矛盾，即投料策略的效果與實(shí)用性往往成負(fù)相關(guān)性，這種投料方式的效果可能顯著，但是其復(fù)雜的決策機(jī)制往往需要大量的計(jì)算時(shí)間，影響投料決策的效率。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種基于屬性選擇的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)投料控制方法及系統(tǒng)，能夠?qū)ぜ读蟽?yōu)先級(jí)相關(guān)的屬性集進(jìn)行屬性選擇，能夠提升了投料控制策略效率。

為達(dá)到上述目的，本發(fā)明是采用下述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的：

一方面，本發(fā)明提供了一種基于屬性選擇的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)投料控制方法，包括如下步驟：

基于訓(xùn)練好的極限學(xué)習(xí)機(jī)模型和利用訂單信息與工件投料優(yōu)先級(jí)確定的多元線性回歸方程，構(gòu)建RPELM投料順序模型；

對(duì)生長(zhǎng)線的屬性集進(jìn)行屬性選擇，選取代表性屬性和剔除無(wú)影響的屬性；

對(duì)經(jīng)屬性選擇的屬性集進(jìn)行模型仿真驗(yàn)證，將經(jīng)過(guò)仿真驗(yàn)證的屬性集帶入構(gòu)建好的所述RPELM投料順序模型中確定半導(dǎo)體制造系統(tǒng)投料順序。

進(jìn)一步的，構(gòu)建RPELM投料順序模型的方法包括如下步驟：

構(gòu)建工件的訂單信息與投料優(yōu)先級(jí)之間關(guān)系的多元線性回歸方程，所述訂單信息包括凈加工時(shí)間、訂單平均加工時(shí)間、加工步數(shù)和是否為緊急工件，所述投料優(yōu)先級(jí)包括普通工件和緊急工件；

基于訓(xùn)練好的極限學(xué)習(xí)機(jī)模型和所述多元線性回歸方程訓(xùn)練獲得所述RPELM投料順序模型。

進(jìn)一步的，對(duì)于普通工件，工件的投料優(yōu)先級(jí)和訂單信息之間關(guān)系采用如下公式表示：

Y＝α₁x₁+α₂x₂+…+α_mx_m

式中，α₁，α₂，...，α_m表示偏回歸系數(shù)，x₁，...，x_m表示訂單信息。

對(duì)于緊急工件，工件的投料優(yōu)先級(jí)和訂單信息之間關(guān)系采用如下公式表示：