[發(fā)明專利]一種應(yīng)用于材料微加工的超高重頻飛秒光纖激光系統(tǒng)

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110191310.6
• 申請(qǐng)日: 2021-02-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112803229A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-05-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 譚方舟;張翼
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 大恒新紀(jì)元科技股份有限公司
• 主分類號(hào): H01S3/067
• 分類號(hào): H01S3/067;H01S3/0941;H01S3/00
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種應(yīng)用于材料微加工的超高重頻脈沖串飛秒光纖激光系統(tǒng)，其特征在于：包括依次連接的增益開(kāi)關(guān)半導(dǎo)體種子源，信號(hào)光再生系統(tǒng)，光纖預(yù)放大器，脈沖串選擇器，脈沖預(yù)啁啾裝置，光纖功率放大器以及脈沖壓縮器。

2.如權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于材料微加工的超高重頻脈沖串飛秒光纖激光系統(tǒng)，其特征在于：所述增益開(kāi)關(guān)半導(dǎo)體種子源，信號(hào)光再生系統(tǒng)，光纖預(yù)放大器，脈沖串選擇器均采用保偏全光纖結(jié)構(gòu)熔接實(shí)現(xiàn)連接。所述脈沖預(yù)啁啾裝置，光纖功率放大器以及脈沖壓縮器為自由空間連接輸出。

3.如權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于材料微加工的超高重頻脈沖串飛秒光纖激光系統(tǒng)，其特征在于：所述增益開(kāi)關(guān)半導(dǎo)體種子源包含電脈沖發(fā)生器、信號(hào)放大器、直流偏置、直流電源、F-P半導(dǎo)體激光器、波長(zhǎng)鎖定DFB激光器、光纖耦合器以及啁啾光柵。

4.如權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于材料微加工的超高重頻脈沖串飛秒光纖激光系統(tǒng)，其特征在于：所述信號(hào)光再生系統(tǒng)包含按照光路順序依次設(shè)置的纖芯泵浦光纖放大器，正色散高非線性光纖，光纖環(huán)形器以及帶通濾波器。

5.如權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于材料微加工的超高重頻脈沖串飛秒光纖激光系統(tǒng)，其特征在于：所述正色散高非線性光纖為石英光纖或光子晶體光纖。

6.如權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于材料微加工的超高重頻脈沖串飛秒光纖激光系統(tǒng)，其特征在于：所述光纖預(yù)放大器為單級(jí)光纖放大器或多級(jí)光纖放大器。

7.如權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于材料微加工的超高重頻脈沖串飛秒光纖激光系統(tǒng)，其特征在于：所述脈沖預(yù)啁啾裝置包含第一衍射光柵、第二衍射光柵、直角鏡、反射鏡以及雙折射濾光片。

8.如權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于材料微加工的超高重頻脈沖串飛秒光纖激光系統(tǒng)，其特征在于：所述光纖功率放大器增益介質(zhì)為大模場(chǎng)面積光纖或光子晶體光纖。

9.如權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于材料微加工的超高重頻脈沖串飛秒光纖激光系統(tǒng)，其特征在于：所述脈沖壓縮器包含第三衍射光柵、第四衍射光柵、直角鏡以及反射鏡。