[發(fā)明專利]可實(shí)現(xiàn)三維原子探針微尖陣列樣品轉(zhuǎn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110190572.0
• 申請(qǐng)日: 2021-02-18
• 公開（公告）號(hào): CN113063967B
• 公開（公告）日: 2023-02-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李慧;張孟超;寇春合;劉文慶;梁雪
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海大學(xué)
• 主分類號(hào): G01Q30/20
• 分類號(hào): G01Q30/20
• 代理公司: 上海上大專利事務(wù)所(普通合伙) 31205
• 代理人: 顧勇華

1.一種可實(shí)現(xiàn)三維原子探針微尖陣列樣品轉(zhuǎn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)裝置，包括固定裝置（1）、齒輪齒條傳動(dòng)裝置，其特征在于：所述固定裝置（1）為中空箱體式結(jié)構(gòu)的裝置，將固定裝置（1）設(shè)置在三維原子探針儀器的樣品臺(tái)上，在中空箱體式結(jié)構(gòu)的裝置的上側(cè)設(shè)置限位孔，齒輪齒條傳動(dòng)裝置由齒輪（2）和齒條（3）進(jìn)行嚙合連接組裝，以齒輪（2）為從動(dòng)部件，以齒條（3）為主動(dòng)部件形成齒輪齒條傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，齒條（3）從固定裝置（1）前側(cè)或后側(cè)穿過并水平設(shè)置和水平移動(dòng)，齒條（3）配有限位裝置，防止齒條（3）在傳動(dòng)過程中發(fā)生脫落；

與齒輪（2）一體固定連接的轉(zhuǎn)動(dòng)軸（4）上部從固定裝置（1）的上側(cè)限位孔穿過，使轉(zhuǎn)動(dòng)軸（4）頂端高出固定裝置（1）上表面，并使轉(zhuǎn)動(dòng)軸（4）頂端表面形成旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，放置三維原子探針微尖陣列樣品；轉(zhuǎn)動(dòng)軸（4）下部設(shè)置在固定裝置（1）的箱體內(nèi)，使轉(zhuǎn)動(dòng)軸（4）下部與箱體底部轉(zhuǎn)動(dòng)連接；

設(shè)置所述齒輪（2）在水平面內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)軸（4）水平轉(zhuǎn)動(dòng)；將所述旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)裝置整體放進(jìn)三維原子探針儀器中，將三維原子探針微尖陣列樣品放置在轉(zhuǎn)動(dòng)軸（4）頂端表面上，當(dāng)測(cè)完三維原子探針微尖陣列上的一組樣品后，在測(cè)試另一組樣品時(shí)不需要將三維原子探針微尖陣列樣品從三維原子探針儀器中取出，只需用三維原子探針儀器內(nèi)的樣品桿推動(dòng)齒條（3）即可帶動(dòng)齒輪（2）轉(zhuǎn)動(dòng)，繼而帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)軸（4）以及轉(zhuǎn)動(dòng)軸（4）上的微尖陣列樣品轉(zhuǎn)動(dòng)，待轉(zhuǎn)動(dòng)到所需角度位置后，即可繼續(xù)進(jìn)行測(cè)試。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述可實(shí)現(xiàn)三維原子探針微尖陣列樣品轉(zhuǎn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)裝置，其特征在于：齒條（3）長度為14~15 mm，寬度為4~8mm，模數(shù)為1 mm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述可實(shí)現(xiàn)三維原子探針微尖陣列樣品轉(zhuǎn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)裝置，其特征在于：齒輪（2）厚度為4~5 mm，分度圓直徑為12 mm，齒數(shù)為12，模數(shù)為1 mm，齒輪（2）中心開有直徑不小于2 mm的孔，用于與轉(zhuǎn)動(dòng)軸（4）進(jìn)行固定裝配。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述可實(shí)現(xiàn)三維原子探針微尖陣列樣品轉(zhuǎn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)裝置，其特征在于：傳動(dòng)軸（4）長為9~11 mm，直徑不小于2 mm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述可實(shí)現(xiàn)三維原子探針微尖陣列樣品轉(zhuǎn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)裝置，其特征在于：所述固定裝置（1）為長方體形狀的中空箱體式結(jié)構(gòu)的裝置，長為17-19mm，寬為17-19 mm，高為7~9 mm，箱體壁厚度為1~2 mm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述可實(shí)現(xiàn)三維原子探針微尖陣列樣品轉(zhuǎn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)裝置，其特征在于：所述固定裝置（1）為長方體形狀的中空箱體式結(jié)構(gòu)的裝置，其中箱體前后兩側(cè)敞開，形成環(huán)狀長方體形狀，所述齒條（3）沿著箱體前后方向移動(dòng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述可實(shí)現(xiàn)三維原子探針微尖陣列樣品轉(zhuǎn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)裝置，其特征在于：在固定裝置（1）的下方一側(cè)固定連接直徑不小于2 mm，長度為7~10 mm的固定軸（5），通過固定軸（5）將固定裝置（1）放置于三維原子探針儀器的樣品臺(tái)上。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述可實(shí)現(xiàn)三維原子探針微尖陣列樣品轉(zhuǎn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)裝置，其特征在于：固定軸（5）和轉(zhuǎn)動(dòng)軸（4）錯(cuò)位設(shè)置。