[發明專利]晶圓盒搬運機器人

在審

• 申請號: 202110189522.0
• 申請日: 2021-02-19
• 公開（公告）號: CN112936217A
• 公開（公告）日: 2021-06-11
• 發明（設計）人: 黃宗勇;丁凱旋;楊超
• 申請（專利權）人: 深圳優艾智合機器人科技有限公司
• 主分類號: B25J5/00
• 分類號: B25J5/00;B25J19/00
• 代理公司: 深圳市力道知識產權代理事務所(普通合伙) 44507
• 代理人: 何姣

1.晶圓盒搬運機器人，其特征在于：包括自動導引車、托持裝置、設于所述自動導引車上的晶圓盒承載裝置以及用于驅動所述托持裝置運動的機械臂；

所述托持裝置用于托持兩相對側分別凸設有托柄的晶圓盒，所述托持裝置包括兩個間隔相對設置以分別用于一對一承托兩個所述托柄的承托臂和連接于兩個所述承托臂之間的連接臂；

所述晶圓盒承載裝置包括安裝于所述自動導引車上的座體和設于所述座體上的承載平臺；所述承載平臺上形成有至少一個用于承載所述晶圓盒的容置槽；

所述機械臂的一端與所述座體連接、另一端與所述托持裝置連接，以使所述托持裝置托持所述晶圓盒至所述容置槽中或從所述容置槽中取出。

2.如權利要求1所述的晶圓盒搬運機器人，其特征在于：所述座體包括豎向延伸部，所述豎向延伸部具有第一側端和第二側端，所述第一側端和所述第二側端相背設置；

所述第一側端和所述第二側端分別凸設有至少一個所述承載平臺。

3.如權利要求2所述的晶圓盒搬運機器人，其特征在于：所述第一側端上沿所述豎向延伸部之高度方向間隔分布有至少兩個所述承載平臺；

和/或，所述第二側端上沿所述豎向延伸部之高度方向間隔分布有至少兩個所述承載平臺。

4.如權利要求3所述的晶圓盒搬運機器人，其特征在于：每個所述承載平臺上都形成有至少兩個沿水平方向分布的所述容置槽。

5.如權利要求4所述的晶圓盒搬運機器人，其特征在于：所述豎向延伸部還包括第三側端和與所述第三側端相背設置的第四側端，所述第三側端和所述第四側端都分別與所述第一側端和所述第二側端連接，且每個所述承載平臺上的所述容置槽沿所述第三側端至所述第四側端的方向間隔分布。

6.如權利要求5所述的晶圓盒搬運機器人，其特征在于：所述承載平臺還包括至少一個分別用于檢測各所述容置槽內是否裝載有所述晶圓盒的檢測組件；所述容置槽具有用于支撐所述晶圓盒的槽底壁和凸設于所述槽底壁之邊緣以用于對所述晶圓盒進行限位的槽側壁；

所述檢測組件包括嵌設于所述槽底壁上以用于探測所述槽底壁上是否支撐有所述晶圓盒的第一探測器和設于所述槽側壁上以用于探測所述容置槽內是否裝載有所述晶圓盒的第二探測器；

且/或，所述承載平臺還包括用于識別所述晶圓盒之信息載體的識別裝置，所述識別裝置嵌設于所述承載平臺之遠離所述豎向延伸部的端部。

7.如權利要求6所述的晶圓盒搬運機器人，其特征在于：所述第一探測器為微動開關或者壓力傳感器；所述第二探測器為漫反射式光電傳感器或者光耦合器或者超聲波傳感器；且/或，

所述識別裝置為射頻讀卡器或條形碼掃描器或二維碼掃描器。

8.如權利要求7所述的晶圓盒搬運機器人，其特征在于：每個所述檢測組件都包括一個或兩個以上的所述第一探測器。

9.如權利要求8所述的晶圓盒搬運機器人，其特征在于：每個所述檢測組件都包括兩個對稱分布于所述槽底壁之中心兩側的所述第一探測器。

10.如權利要求9所述的晶圓盒搬運機器人，其特征在于：所述槽側壁為沿所述槽底壁之邊緣環繞設置的環狀壁體；或者，

所述槽側壁包括至少兩個沿環繞所述槽底壁之邊緣且間隔設置的分段式壁體。

11.如權利要求10所述的晶圓盒搬運機器人，其特征在于：所述槽底壁的邊緣包括四個兩兩呈對角設置的拐角部，每個所述檢測組件都包括兩個分別靠近于兩個呈對角設置之所述拐角部設置的所述第一探測器。

12.如權利要求1至11任一項所述的晶圓盒搬運機器人，其特征在于：所述座體還包括橫向延伸部，所述豎向延伸部與所述橫向延伸部連接并自所述橫向延伸部延伸于所述橫向延伸部的上方，所述承載平臺設于所述橫向延伸部的上方。