[發(fā)明專利]一種超高真空條件下樣品轉(zhuǎn)移裝置

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110183964.4
• 申請(qǐng)日: 2021-02-10
• 公開（公告）號(hào): CN114904592A
• 公開（公告）日: 2022-08-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐煜;周興江;戎洪濤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院物理研究所
• 主分類號(hào): B01L1/02
• 分類號(hào): B01L1/02;B01L9/00
• 代理公司: 北京泛華偉業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11280
• 代理人: 王勇;王博

1.一種真空樣品轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，包括：

腔體狀的主體，所述主體包括第一通孔部和第二通孔部；

樣品臺(tái)，所述樣品臺(tái)被布置在所述主體的內(nèi)部；所述樣品臺(tái)包括至少兩個(gè)樣品槽，所述至少兩個(gè)樣品槽用于容納相同或不同的樣品架；

真空閥門，所述真空閥門用于通過所述第一通孔部將所述主體與外部真空裝置氣密地連通；

操作裝置，所述操作裝置通過所述第二通孔部氣密地連接到所述主體，其中，所述操作裝置用于對(duì)所述外部真空裝置的樣品架及其中的樣品進(jìn)行操作；以及

連接到主體的真空泵，其用于對(duì)所述主體內(nèi)部抽真空。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空樣品轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述樣品臺(tái)通過轉(zhuǎn)軸支架可旋轉(zhuǎn)地布置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空樣品轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述操作裝置包括至少一個(gè)夾取裝置，所述夾取裝置能夠夾取所述樣品，并在所述主體內(nèi)部移動(dòng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于，所述至少一個(gè)夾取裝置包括三個(gè)夾取裝置，所述三個(gè)夾取裝置各自的縱向軸不共面地指向所述樣品臺(tái)，從而能夠從不同角度接近所述樣品臺(tái)。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空樣品轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述樣品架通過螺釘固定所述樣品，所述操作裝置包括至少一個(gè)擰轉(zhuǎn)裝置，用于擰轉(zhuǎn)所述螺釘或所述樣品臺(tái)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空樣品轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述至少一個(gè)擰轉(zhuǎn)裝置包括兩個(gè)擰轉(zhuǎn)裝置，其中所述兩個(gè)擰轉(zhuǎn)裝置的縱向軸相對(duì)呈80至100度的夾角。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的真空樣品轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，還包括具有縱向軸的位移臺(tái)，所述位移臺(tái)包括沿所述縱向軸的柔性管壁以及所述柔性管壁內(nèi)側(cè)的可動(dòng)平臺(tái)部；其中

所述柔性管壁與所述主體氣密地連接，從而將所述可動(dòng)平臺(tái)部連通到所述主體內(nèi)；以及

所述可動(dòng)平臺(tái)部連接到所述樣品臺(tái)，從而控制所述樣品臺(tái)具有四個(gè)移動(dòng)自由度，所述四個(gè)自由度包括在垂直于所述位移臺(tái)的縱向軸的平面內(nèi)相互垂直的兩個(gè)平動(dòng)自由度、沿著所述位移臺(tái)的縱向軸的平動(dòng)自由度和以所述位移臺(tái)的縱向軸為法線方向的旋轉(zhuǎn)自由度。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空樣品轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述擰轉(zhuǎn)裝置包括：

桿體，所述桿體包括:

延伸的管壁，所述管壁具有第一端部和第二端部，其中所述管壁的第一端部被密封；

套嵌在所述管壁內(nèi)部的內(nèi)桿，所述內(nèi)桿能夠相對(duì)于所述管壁沿著其軸向移動(dòng)，以及所述內(nèi)桿在所述第一端部附近包括磁性部；

握持部，所述握持部靠近所述磁性部布置在所述管壁的外側(cè)并能夠相對(duì)其旋轉(zhuǎn)，其中所述握持部與所述磁性部磁性耦合，從而使所述內(nèi)桿跟隨所述握持部沿所述軸向旋轉(zhuǎn)；

擰轉(zhuǎn)部，所述擰轉(zhuǎn)部在所述管壁的第二端部連接到所述內(nèi)桿。

9.一種用于真空樣品轉(zhuǎn)移裝置的夾取裝置，其特征在于，所述夾取裝置包括：

具有縱向軸向的管壁，其中所述管壁的一端被密封；

布置在所述管壁內(nèi)側(cè)且能夠沿著所述軸向移動(dòng)的第一可動(dòng)部，其包括第一磁性部；

布置在所述管壁內(nèi)側(cè)且能夠沿著所述軸向移動(dòng)的第二可動(dòng)部，其包括第二磁性部；

第一握持部和第二握持部，其分別貼合于所述管壁的外側(cè)且具有磁性；其中所述套管部的第一磁性部與所述內(nèi)桿的第二磁性部間隔布置，使得所述第一握持部只與所述第一磁性部磁性耦合，以及

所述第二握持部只與所述第二磁性部磁性耦合；

連接到所述第二可動(dòng)部的彈性部，其能夠向外側(cè)展開；

其中，所述第一可動(dòng)部被設(shè)置為能夠從外側(cè)限制所述彈性部的展開；以及

所述第一握持部和所述第二握持部能夠操縱所述第一可動(dòng)部和所述第二可動(dòng)部從所述管壁未被密封的一端向外移動(dòng)，從而當(dāng)所述第一可動(dòng)部相對(duì)于所述第二可動(dòng)部移動(dòng)到第一位置時(shí)，所述彈性部展開，以及當(dāng)所述第一可動(dòng)部相對(duì)于所述第二可動(dòng)部移動(dòng)到第二位置時(shí)，所述彈性部收合。