[發明專利]感光性組合物、透明體及透明體的制造方法在審
| 申請號: | 202110182081.1 | 申請日: | 2021-02-09 |
| 公開(公告)號: | CN113391519A | 公開(公告)日: | 2021-09-14 |
| 發明(設計)人: | 宮崎誠太;田所惠典 | 申請(專利權)人: | 東京應化工業株式會社 |
| 主分類號: | G03F7/027 | 分類號: | G03F7/027;G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司: | 北京市金杜律師事務所 11256 | 代理人: | 楊宏軍;焦成美 |
| 地址: | 日本神*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 感光性 組合 透明體 制造 方法 | ||
1.感光性組合物,其含有堿溶性樹脂(A)、光聚合性單體(B)、光聚合引發劑(C)、和溶劑(S),
所述光聚合引發劑(C)含有芴系肟酯化合物(C1)、芴系肟酯化合物(C2)、和選自氧化膦系化合物及氨基酮系化合物中的至少一種化合物(C3),
所述芴系肟酯化合物(C1)具有硝基,
所述芴系肟酯化合物(C2)不具有硝基。
2.如權利要求1所述的感光性組合物,其中,芴系肟酯化合物(C1)包含下述式(c1-1)表示的化合物,
Rc1為硝基,Rc2及Rc3各自為可以具有取代基的鏈狀烷基、可以具有取代基的環狀有機基團、或氫原子,Rc2與Rc3可以相互鍵合而形成環,Rc4為1價的有機基團,Rc5為氫原子、可以具有取代基的碳原子數1以上且11以下的烷基、或可以具有取代基的芳基,n1為1以上且4以下的整數,m1為0或1。
3.如權利要求1或2所述的感光性組合物,其中,芴系肟酯化合物(C2)包含下述式(c2-1)表示的化合物,
Rc6為氫原子或1價的有機基團,Rc7及Rc8各自為可以具有取代基的鏈狀烷基、可以具有取代基的環狀有機基團、或氫原子,Rc7與Rc8可以相互鍵合而形成環,Rc9為1價的有機基團,Rc10為氫原子、可以具有取代基的碳原子數1以上且11以下的烷基、或可以具有取代基的芳基,n2為0以上且4以下的整數,m2為0或1,其中,式(c2-1)表示的化合物不具有硝基。
4.如權利要求1~3中任一項所述的感光性組合物,其中,芴系肟酯化合物(C1)的質量相對于芴系肟酯化合物(C1)的質量與芴系肟酯化合物(C2)的質量的總和的比率為3質量%以上且13質量%以下。
5.如權利要求1~4中任一項所述的感光性組合物,其中,化合物(C3)的質量相對于光聚合引發劑(C)的質量的比率為5質量%以上且15質量%以下。
6.透明體,其是由權利要求1~5中任一項所述的感光性組合物的固化物形成的。
7.透明體的制造方法,其包括下述工序:
涂布權利要求1~5中任一項所述的感光性組合物而形成涂布膜的工序,和
將所述涂布膜曝光的工序。
8.經圖案化的透明體的制造方法,其包括下述工序:
涂布權利要求1~5中任一項所述的感光性組合物而形成涂布膜的工序,
位置選擇性地將所述涂布膜曝光的工序,和
將曝光后的所述涂布膜顯影的工序。
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