[發明專利]掩膜版及掩膜版的精度檢測方法

在審

• 申請號: 202110181795.0
• 申請日: 2021-02-08
• 公開（公告）號: CN112981318A
• 公開（公告）日: 2021-06-18
• 發明（設計）人: 張浩瀚;李慧;姚遠
• 申請（專利權）人: 合肥維信諾科技有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;C23C14/54
• 代理公司: 北京東方億思知識產權代理有限責任公司 11258
• 代理人: 娜拉

1.一種掩膜版，其特征在于，包括：

通用掩膜版，包括具有通用蒸鍍開口的框式主體，所述框式主體具有沿各所述通用蒸鍍開口周向延伸的內邊緣區域，所述內邊緣區域具有異形區段；

異形段定位組件，包括沿所述異形區段分布的多個點狀定位件，各所述點狀定位件到相鄰的所述通用蒸鍍開口邊緣的最小距離相等。

2.根據權利要求1所述的掩膜版，其特征在于，各所述點狀定位件到相鄰的所述通用蒸鍍開口的最小距離為100μm～150μm。

3.根據權利要求2所述的掩膜版，其特征在于，相鄰各所述點狀定位件之間的最小距離均相等；

優選的，所述相鄰各所述點狀定位件之間的最小距離為30μm～50μm。

4.根據權利要求1所述的掩膜版，其特征在于，各所述點狀定位件在所述框式主體上的正投影輪廓邊緣上兩點之間的最大距離為50μm～100μm。

5.根據權利要求1所述的掩膜版，其特征在于，各所述點狀定位件在所述框式主體上的正投影為矩形、十字形、橢圓形、圓形中的至少一種。

6.根據權利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述框式主體具有相對的第一表面和第二表面，所述點狀定位件設于所述第一表面和所述第二表面中的至少一者。

7.根據權利要求1所述的掩膜版，其特征在于，還包括邊框部，所述邊框具有中心開口，所述框式主體固定于所述中心開口內，所述邊框上設有基準對位孔。

8.一種掩膜版的精度檢測方法，其特征在于，包括：

提供掩膜版，所述掩膜版為權利要求1至7任一項所述的掩膜版；

獲取所述掩膜版的各所述點狀定位件的實際位置參數；

比較已知的所述點狀定位件的預設位置參數和所述實際位置參數以獲取所述點狀定位件的位置精度參數。

9.根據權利要求8所述的掩膜版的精度檢測方法，其特征在于，在所述獲取所述掩膜版的各所述點狀定位件的實際位置參數的步驟中：

采用圖像獲取部獲取所述掩膜版的各所述點狀定位件的圖像，根據所述圖像獲取所述點狀定位件的實際位置參數。

10.根據權利要求9所述的掩膜版的精度檢測方法，其特征在于，在所述提供掩膜版和所述獲取所述掩膜版的各所述點狀定位件的實際位置參數的步驟之間，還包括：

獲取邊框上的基準對位孔的位置參數以確定基準坐標系，其中，所述邊框具有中心開口，所述框式主體固定于所述中心開口內，所述邊框上設有所述基準對位孔；

采用圖像獲取部獲取所述掩膜版的各所述點狀定位件的圖像，根據所述圖像獲取所述點狀定位件在所述基準坐標系上的實際位置參數。