[發(fā)明專利]引晶功率確定方法、裝置和計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110180793.X
• 申請(qǐng)日: 2021-02-08
• 公開（公告）號(hào): CN112981521B
• 公開（公告）日: 2022-06-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 程瀚儂
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西門子工廠自動(dòng)化工程有限公司
• 主分類號(hào): C30B15/20
• 分類號(hào): C30B15/20;C30B29/06
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.引晶功率確定方法，其特征在于，包括：

獲取直拉單晶爐在當(dāng)前爐次的熔料階段的特征數(shù)據(jù)，其中，所述特征數(shù)據(jù)用于表征所述直拉單晶爐在熔料階段內(nèi)爐內(nèi)溫度與加熱器能量輸出值的關(guān)系；

將所述特征數(shù)據(jù)輸入功率預(yù)測(cè)模型，獲得所述功率預(yù)測(cè)模型的輸出，并將所述功率預(yù)測(cè)模型的輸出確定為所述當(dāng)前爐次的引晶功率，其中，所述功率預(yù)測(cè)模型通過(guò)所述直拉單晶爐的歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)訓(xùn)練獲得。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述獲取直拉單晶爐在當(dāng)前爐次的熔料階段的特征數(shù)據(jù)，包括：

每經(jīng)過(guò)一個(gè)預(yù)設(shè)的采樣周期，對(duì)所述當(dāng)前爐次的熔料階段的爐內(nèi)溫度、加熱器功率和加熱器電阻值進(jìn)行一次采集，并將每次采集到的爐內(nèi)溫度、加熱器功率和加熱器電阻值確定為一個(gè)當(dāng)前特征向量；

將采集到的至少兩個(gè)所述當(dāng)前特征向量，確定為所述特征數(shù)據(jù)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，在所述將所述特征數(shù)據(jù)輸入功率預(yù)測(cè)模型之前，所述方法還包括：

獲取所述直拉單晶爐的至少兩個(gè)所述歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)，其中，每個(gè)所述歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)所述直拉單晶爐生產(chǎn)單晶硅的一個(gè)歷史爐次；

針對(duì)每個(gè)所述歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)，均執(zhí)行：

以所述采樣周期為間隔時(shí)間，從該歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)中采集熔料階段的爐內(nèi)溫度、加熱器功率和加熱器電阻值，并將每次采集到的爐內(nèi)溫度、加熱器功率和加熱器電阻值確定為一個(gè)歷史特征向量；

從該歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)中獲取該歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)所對(duì)應(yīng)歷史爐次所使用的第一引晶功率；

將各所述歷史特征向量和所述第一引晶功率，確定為一個(gè)第一訓(xùn)練樣本；

將所述第一訓(xùn)練樣本包括的各所述歷史特征向量作為模型輸入，將所述第一訓(xùn)練樣本包括的所述第一引晶功率作為模型輸出，通過(guò)各所述第一訓(xùn)練樣本進(jìn)行模型訓(xùn)練，獲得所述功率預(yù)測(cè)模型。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述獲取直拉單晶爐在當(dāng)前爐次的熔料階段的特征數(shù)據(jù)，包括：

對(duì)所述當(dāng)前爐次的熔料階段的爐內(nèi)溫度、加熱器功率和加熱器電阻值進(jìn)行采集；

根據(jù)采集到的爐內(nèi)溫度、加熱器功率和加熱器電阻值，確定在所述當(dāng)前爐次的熔料階段內(nèi)爐內(nèi)溫度與加熱器能量輸出值的第一映射關(guān)系；

從所述第一映射關(guān)系中采集至少兩個(gè)目標(biāo)加熱器能量輸出值所映射的第一爐內(nèi)溫度；

將采集到的至少兩個(gè)所述第一爐內(nèi)溫度，確定為所述特征數(shù)據(jù)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，在所述將所述特征數(shù)據(jù)輸入功率預(yù)測(cè)模型之前，所述方法還包括：

獲取所述直拉單晶爐的至少兩個(gè)所述歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)，其中，每個(gè)所述歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)所述直拉單晶爐生產(chǎn)單晶硅的一個(gè)歷史爐次；

針對(duì)每個(gè)所述歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)，均執(zhí)行：

從該歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)中獲取熔料階段的爐內(nèi)溫度、加熱器功率和加熱器電阻值；

根據(jù)獲取到的爐內(nèi)溫度、加熱器功率和加熱器電阻值，確定在該歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)所對(duì)應(yīng)歷史爐次的熔料階段內(nèi)爐內(nèi)溫度與加熱器能量輸出值的第二映射關(guān)系；

從所述第二映射關(guān)系中采集各所述目標(biāo)加熱器能量輸出值所映射的第二爐內(nèi)溫度；

從該歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)中獲取該歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)所對(duì)應(yīng)歷史爐次所使用的第二引晶功率；

將各所述第二爐內(nèi)溫度和所述第二引晶功率，確定為一個(gè)第二訓(xùn)練樣本；

將所述第二訓(xùn)練樣本包括的各所述第二爐內(nèi)溫度作為模型輸入，將所述第二訓(xùn)練樣本包括的所述第二引晶功率作為模型輸出，通過(guò)各所述第二訓(xùn)練樣本進(jìn)行模型訓(xùn)練，獲得所述功率預(yù)測(cè)模型。

6.根據(jù)權(quán)利要求2-5中任一所述的方法，其特征在于，

所述加熱器功率包括主加熱器功率和底部加熱器功率，所述加熱器電阻值包括主加熱器的電阻值和底部加熱器的電阻值；

和/或，

所述爐內(nèi)溫度根據(jù)所述直拉單晶爐內(nèi)至少兩個(gè)溫度傳感器的測(cè)量值確定。