[發明專利]一種晶圓清洗用適用于不同尺寸的花籃

有效

• 申請號: 202110179117.0
• 申請日: 2021-02-08
• 公開（公告）號: CN112992745B
• 公開（公告）日: 2022-04-22
• 發明（設計）人: 錢誠;李剛;李文亭
• 申請（專利權）人: 江蘇亞電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/67
• 代理公司: 北京商專潤文專利代理事務所(普通合伙) 11317
• 代理人: 陳平

1.一種晶圓清洗用適用于不同尺寸的花籃，包括支撐機構(1)，其特征在于：還包括設置在所述支撐機構(1)上的用于對晶圓進行限位支撐的限位機構(2)，所述限位機構(2)上設置有用于對放置晶圓進行固定的固定機構(4)，所述限位機構(2)兩端設置有用于對所述限位機構(2)進行限位調整的調整機構(3)，所述調整機構(3)與所述限位機構(2)連接，所述限位機構(2)與所述固定機構(4)連接，所述調整機構(3)與所述支撐機構(1)連接；

所述支撐機構(1)包括設置在兩側的立板(11)，所述立板(11)下端設置有底板(12)，所述立板(11)上設置有工藝孔，所述立板(11)上端設置有提手(5)；

所述限位機構(2)包括第一限位板(21)、第二限位板(22)、第三限位板(23)，所述第一限位板(21)、所述第二限位板(22)內側面上設置有下限位座(24)，所述第三限位板(23)下端設置有上限位座(25)，所述下限位座(24)、所述上限位座(25)呈等邊三角狀分布，所述下限位座(24)、所述上限位座(25)相對面上均設置有隔板(26)，且所述隔板(26)間隔相同設置；

所述調整機構(3)包括滑軌(31)，所述滑軌(31)前后對稱設置，所述滑軌(31)內側設置有滑塊(33)，所述滑軌(31)前后端均設置有蓋板(32)，所述滑塊(33)分別固定在所述第一限位板(21)、所述第二限位板(22)兩端，所述滑塊(33)上穿設有雙螺旋絲杠(34)，所述雙螺旋絲杠(34)前后兩端穿過所述蓋板(32)，且所述雙螺旋絲杠(34)前后端上均設置有銷軸(35)，所述第三限位板(23)兩側連接有螺桿(37)，所述螺桿(37)下端設置有連接頭(38)，所述螺桿(37)上設置有支撐座(36)，所述支撐座(36)與所述立板(11)焊接；

所述固定機構(4)包括支撐軸(41)，所述支撐軸(41)兩端設置有側板(42)，所述支撐軸(41)上間隔設置有夾板(43)，且兩相鄰所述夾板(43)間與所述隔板(26)相對應處設置有限位環(45)，所述支撐軸(41)上位于所述限位環(45)相鄰位置設置有彈簧(44)；

所述提手(5)呈工字型，所述提手(5)與所述立板(11)焊接；

所述第一限位板(21)、所述第二限位板(22)處于同一水平面上，所述下限位座(24)位于所述隔板(26)間為圓弧支撐面；

所述螺桿(37)與所述連接頭(38)焊接，所述螺桿(37)與所述支撐座(36)螺紋連接，所述螺桿(37)上端設置有旋鈕；

所述第三限位板(23)兩端設置有凹槽，所述連接頭(38)內嵌在該凹槽內，且與所述第三限位板(23)轉動連接。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓清洗用適用于不同尺寸的花籃，其特征在于：所述提手(5)橫截面為扁平狀，所述提手(5)與所述立板(11)螺栓連接，且為所述立板(11)上端中心位置。

3.根據權利要求1所述的一種晶圓清洗用適用于不同尺寸的花籃，其特征在于：所述滑軌(31)焊接在所述立板(11)側壁上，所述蓋板(32)與所述滑軌(31)焊接，所述雙螺旋絲杠(34)與所述蓋板(32)轉動連接。

4.根據權利要求1所述的一種晶圓清洗用適用于不同尺寸的花籃，其特征在于：所述雙螺旋絲杠(34)與所述滑塊(33)螺紋連接，所述滑塊(33)與所述第一限位板(21)、所述第二限位板(22)焊接。

5.根據權利要求1所述的一種晶圓清洗用適用于不同尺寸的花籃，其特征在于：所述夾板(43)與所述支撐軸(41)間隙連接，所述支撐軸(41)與所述側板(42)焊接。

6.根據權利要求1所述的一種晶圓清洗用適用于不同尺寸的花籃，其特征在于：所述調整機構(3)分別設置在所述立板(11)內壁上，且相互對稱。