[發明專利]一種高精度大視野光學測量裝置及檢測系統

在審

• 申請號: 202110178574.8
• 申請日: 2021-02-09
• 公開（公告）號: CN112781499A
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發明（設計）人: 王志偉;朱小琴;李祥;袁春輝;曹葵康;蔡雄飛
• 申請（專利權）人: 蘇州天準科技股份有限公司
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00
• 代理公司: 上海華誠知識產權代理有限公司 31300
• 代理人: 徐穎聰

1.一種高精度大視野光學測量裝置，其特征在于：裝置包括光源(1)、載臺(2)、多端口鏡頭(3)、分光組件和相機組；

所述光源(1)、載臺(2)、多端口鏡頭(3)和分光組件自下而上依次設置，所述分光組件在所述多端口鏡頭(3)上方的鏡筒內斜置設置，以將分光束傳向鏡筒外的相機組；

其中，多端口鏡頭(3)的每個端口處的相機偏置設置，相機組獲得相鄰的多幅視野，多幅視野鄰接處通過重疊實現無縫拼接以獲得高精度大視野，且重疊區尺寸占大視野對應尺寸的比例范圍為0％～50％。

2.根據權利要求1所述的光學測量裝置，其特征在于：所述光源(1)采用底部布置的底光源，所述光源(1)采用散射光源或遠心光源。

3.根據權利要求2所述的光學測量裝置，其特征在于：所述載臺(2)采用透明載板。

4.根據權利要求3所述的光學測量裝置，其特征在于：所述多端口鏡頭(3)的多個端口的視野相鄰設置，相鄰視野通過相鄰處重疊區實現無縫拼接。

5.根據權利要求4所述的光學測量裝置，其特征在于：所述分光組件采用分光棱鏡或分光鏡，分光組件的個數比相機組的個數少一個，其斜置角度使得分光束垂直于鏡筒向外傳送反射光束給相機組。

6.根據權利要求5所述的光學測量裝置，其特征在于：所述相機組采用多個高分辨率和高幀率芯片的相機。

7.根據權利要求6所述的光學測量裝置，其特征在于：光源(1)采用散射光源，載臺(2)為玻璃載臺，多端口鏡頭(3)采用雙端口變倍鏡頭，所述分光組件采用一個分光鏡，所述相機組采用兩個相機，大視野為兩個拼接的“日”字形矩形視野。

8.根據權利要求6所述的光學測量裝置，其特征在于：光源(1)采用遠心光源，載臺(2)為玻璃載臺，多端口鏡頭(3)采用單倍率四端口遠心鏡頭，所述分光組件采用三個分光棱鏡，所述相機組采用四個相機，大視野為四個拼接的“田”字形矩形視野。

9.一種高精度大視野光學測量檢測系統，其特征在于：所述檢測系統包括光學測量裝置、處理器(6)、存儲器(7)和顯示器(8)，所述光學測量裝置采用權利要求1-任一項所述的高精度大視野光學測量裝置；光學測量裝置的相機通過信號線與處理器連接，所述處理器分別與存儲器和顯示器電訊連接，處理器通過圖像分區標定將光學測量裝置獲得的多個小視野進行無縫拼接輸出高精度大視野，從而實現對載臺上的待測件實現高精度大視野測量檢測。