[發(fā)明專利]一種Mini LED晶圓外觀缺陷檢測系統(tǒng)及方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110174823.6 | 申請日： | 2021-02-09 |
| 公開（公告）號： | CN112924472A | 公開（公告）日： | 2021-06-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 蘇達順;王巧彬;周波;李國曉;鄒偉金 | 申請（專利權(quán)）人： | 惠州高視科技有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/95 | 分類號： | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 惠州市超越知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44349 | 代理人： | 陳文福 |
| 地址： | 516000 廣東省惠州市惠澳大道惠南高*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 mini led 外觀 缺陷 檢測 系統(tǒng) 方法 | ||
1.一種Mini LED晶圓外觀缺陷光學(xué)檢測系統(tǒng)，其特征在于：包括2/3inch以上靶面、1000萬像素以上分辨率的相機（1）、2倍以上倍率、0.08以上數(shù)值孔徑的鏡頭（2）、光源、位移載物臺、計算機圖像處理系統(tǒng)（4）；所述相機和鏡頭配合，所述鏡頭設(shè)置于相機下方，檢測時所述位移載物臺設(shè)置于鏡頭正下方。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種Mini LED晶圓外觀缺陷光學(xué)檢測系統(tǒng)，其特征在于：所述鏡頭能夠?qū)ini LED表面上0.5μm-200μm的缺陷的清晰成像，有效分辨篩選出有外觀缺陷的產(chǎn)品。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種Mini LED晶圓外觀缺陷光學(xué)檢測系統(tǒng)，其特征在于：所述Mini LED晶圓外觀缺陷光學(xué)檢測系統(tǒng)的分辨率可小于1μm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種Mini LED晶圓外觀缺陷光學(xué)檢測系統(tǒng)，其特征在于：所述光源為頻閃或常亮光源。
5.一種Mini LED晶圓外觀缺陷光學(xué)檢測方法，使用權(quán)利要求1-4中任一項所述的檢測系統(tǒng)，其特征在于：所述計算機圖像處理系統(tǒng)接收所述相機和鏡頭的檢測數(shù)據(jù)，所述光學(xué)檢測系統(tǒng)采用機器視覺方式代替人工目檢對缺陷自動判定及分類，可實現(xiàn)大批量自動化測量。
6.根據(jù)權(quán)利要求6所述的Mini LED晶圓外觀缺陷光學(xué)檢測方法，其特征在于：檢測時將Mini LED晶圓置于位移載物臺上。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的Mini LED晶圓外觀缺陷光學(xué)檢測方法，其特征在于：所述MiniLED晶圓外觀缺陷光學(xué)檢測方法的分辨率可小于1μm。
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- 專利分類
G01N 借助于測定材料的化學(xué)或物理性質(zhì)來測試或分析材料
G01N21-00 利用光學(xué)手段，即利用紅外光、可見光或紫外光來測試或分析材料
G01N21-01 .便于進行光學(xué)測試的裝置或儀器
G01N21-17 .入射光根據(jù)所測試的材料性質(zhì)而改變的系統(tǒng)
G01N21-62 .所測試的材料在其中被激發(fā)，因之引起材料發(fā)光或入射光的波長發(fā)生變化的系統(tǒng)
G01N21-75 .材料在其中經(jīng)受化學(xué)反應(yīng)的系統(tǒng)，測試反應(yīng)的進行或結(jié)果
G01N21-84 .專用于特殊應(yīng)用的系統(tǒng)
