[發明專利]一種壓電驅動式轉動微定位系統

有效

• 申請號: 202110174710.6
• 申請日: 2021-02-07
• 公開（公告）號: CN112953295B
• 公開（公告）日: 2022-10-18
• 發明（設計）人: 王福軍;郭昊;韓沖沖;田延嶺;張大衛
• 申請（專利權）人: 天津大學
• 主分類號: H02N2/00
• 分類號: H02N2/00;H02N2/10;H02N2/14
• 代理公司: 天津市三利專利商標代理有限公司 12107
• 代理人: 肖莉麗

1.一種壓電驅動式轉動微定位系統，其特征在于，包括壓電陶瓷驅動器及一體成型的基座、橋型放大機構、轉動驅動機構和定位平臺，所述橋型放大機構包括位于所述壓電陶瓷驅動器四周且沿所述壓電陶瓷驅動器中軸線對稱設置的四組橋型柔性鉸鏈機構及連接所述四組橋型柔性鉸鏈機構的動力盤，每組所述橋型柔性鉸鏈機構的一端與所述基座連接，另一端與所述動力盤連接；所述轉動驅動機構包括位于所述橋型放大機構外部沿所述壓電陶瓷驅動器中軸線四周對稱設置的四組平行四邊形機構，每組所述平行四邊形機構包括位移放大機構、橫向驅動臂及連接柱，每組所述位移放大機構對應一組所述橋型柔性鉸鏈機構，每組所述位移放大機構的位移輸入端與相對應的所述橋型柔性鉸鏈機構的位移輸出端連接；每組所述位移放大機構的一端與所述基座連接，另一端與所述橫向驅動臂的一端連接，所述橫向驅動臂的自由端安裝有所述連接柱，四組所述平行四邊形機構的連接柱分別與所述定位平臺連接；所述壓電陶瓷驅動器通過所述動力盤驅動所述橋型放大機構，所述橋型放大機構驅動所述轉動驅動機構，所述轉動驅動機構中的所述橫向驅動臂及連接柱驅動所述定位平臺轉動。

2.根據權利要求1所述的壓電驅動式轉動微定位系統，其特征在于，所述位移放大機構包括柔性鉸鏈Ⅴ、柔性鉸鏈Ⅵ、柔性鉸鏈Ⅶ、柔性鉸鏈Ⅷ、柔性鉸鏈Ⅸ、連桿Ⅵ、連桿Ⅶ、連桿Ⅷ及連桿Ⅸ，所述連桿Ⅵ一端與所述基座連接，所述連桿Ⅶ下端通過所述柔性鉸鏈Ⅴ與所述連桿Ⅵ上端的一側連接，所述連桿Ⅶ上端通過所述柔性鉸鏈Ⅷ與所述連桿Ⅸ下端的一側連接，所述連桿Ⅶ內側通過所述柔性鉸鏈Ⅶ與所述橋型放大機構的位移輸出端連接；所述連桿Ⅷ下端通過所述柔性鉸鏈Ⅵ與所述連桿Ⅵ下端的另一側連接，所述連桿Ⅷ上端通過所述柔性鉸鏈Ⅸ與所述連桿Ⅸ下端的另一側連接；所述連桿Ⅸ側面與所述橫向驅動臂連接；所述連桿Ⅵ、連桿Ⅶ、連桿Ⅸ與連桿Ⅷ組成平行四邊形。

3.根據權利要求1所述的壓電驅動式轉動微定位系統，其特征在于，所述基座上對稱的設置有四個安裝孔。

4.根據權利要求1所述的壓電驅動式轉動微定位系統，其特征在于，所述壓電陶瓷驅動器通過預緊螺栓安裝于所述基座上。