[發明專利]一種硅晶棒取料系統

有效

• 申請號: 202110167346.0
• 申請日: 2021-02-07
• 公開（公告）號: CN112978354B
• 公開（公告）日: 2022-08-19
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 新一代半導體研究所（深圳）有限公司
• 主分類號: B65G47/90
• 分類號: B65G47/90;B65G47/26;B65G47/22;B65G47/82
• 代理公司: 深圳市國亨知識產權代理事務所(普通合伙) 44733
• 代理人: 李夏宏

1.一種硅晶棒取料系統，包括工作臺（1）、盛料裝置（2）、支撐裝置（3）和取料裝置（4），其特征在于：所述的工作臺（1）的頂部由左至右依次設置有盛料裝置（2）、支撐裝置（3）和取料裝置（4）；

所述的盛料裝置（2）包括矩形空心架（20）、盛料板（21）、一號電動推桿（22）、第一推板（23）、水平板（24）、二號電動推桿（25）、第二推板（26）和隔離架（27），所述的工作臺（1）頂部左側固定安裝有矩形空心架（20），所述的矩形空心架（20）的內壁下端固定安裝有盛料板（21），所述的盛料板（21）為傾斜狀，且矩形空心架（20）的左側內壁且位于盛料板（21）的上方開設有固定槽，固定槽內固定安裝有一號電動推桿（22），一號電動推桿（22）的移動端固定安裝有第一推板（23），第一推板（23）的底部和盛料板（21）的頂部相接觸，矩形空心架（20）的右側內壁且位于盛料板（21）的上方開設有一號矩形通槽，且所述的矩形空心架（20）的內壁且位于盛料板（21）的正上方固定安裝有水平板（24），水平板（24）的左側頂部由前至后開設有二號矩形通槽，矩形空心架（20）的右側內壁且位于水平板（24）的上方開設有移動槽，移動槽內固定安裝有二號電動推桿（25），二號電動推桿（25）的移動端固定安裝有第二推板（26），所述的矩形空心架（20）的左端內壁且位于水平板（24）的上方設置有隔離架（27）；

所述的隔離架（27）包括三號矩形通槽（271）、隔離板（272）、圓形桿（273）和L形定位桿（274），所述的矩形空心架（20）的左端內壁且位于水平板（24）的上方由下至上均勻開設有三號矩形通槽（271），三號矩形通槽（271）內設置有隔離板（272），隔離板（272）的一端由上至下開設有定位孔，且矩形空心架（20）的頂部左端中心位置開設有二號圓形凹槽，二號圓形凹槽內設置有圓形桿（273），圓形桿（273）的左側壁固定安裝有L形定位桿（274），L形定位桿（274）的豎直段位于定位孔內；

所述的支撐裝置（3）包括支座（30）、一號弧形凹槽（31）、擋板（32）、滑移槽（33）、滑動塊（34）、限位板（35）、垂直立板（36）和伸縮支架桿（37），所述的工作臺（1）的頂部且位于矩形空心架（20）的右側固定安裝有支座（30），支座（30）的頂部由前至后開設有一號弧形凹槽（31），所述的支座（30）的左右兩端固定安裝有擋板（32），擋板（32）的高度和一號矩形通槽的底部相平齊，且左側的擋板（32）和矩形空心架（20）相接觸，兩組擋板（32）的頂部前后對稱開設有滑移槽（33），滑移槽（33）內安裝有滑動塊（34），兩組滑動塊（34）之間通過限位板（35）相連接，所述的工作臺（1）的頂部且位于支座（30）的前后兩側對稱固定安裝有垂直立板（36），兩組垂直立板（36）的相對面開設有限位槽，限位槽內安裝有伸縮支架桿（37），伸縮支架桿（37）的移動端和限位板（35）的一端固定連接；

所述的取料裝置（4）包括圓柱桿（40）、伸縮板（41）、移動板（42）、電動氣缸（43）、轉動桿（44）、矩形板（45）、電動滑塊（46）、一號夾緊架（47）、二號夾緊架（48）和移動架（49），所述的工作臺（1）的頂部且位于支撐裝置（3）的右側通過軸承安裝有圓柱桿（40），圓柱桿（40）的頂部固定安裝有伸縮板（41），伸縮板（41）的右端底部安裝有加重塊，伸縮板（41）的左端固定安裝有移動板（42），移動板（42）的底部開設有一號圓形凹槽，一號圓形凹槽內安裝有電動氣缸（43），電動氣缸（43）的移動端固定安裝有轉動桿（44），轉動桿（44）的底部固定安裝有矩形板（45），矩形板（45）的底部前后兩側對稱開設有滑動槽，滑動槽內設置有電動滑塊（46），且滑動槽內還設置有一號夾緊架（47），電動滑塊（46）和一號夾緊架（47）固定連接，且矩形板（45）的底部中間位置固定安裝有二號夾緊架（48），且工作臺（1）頂部且位于圓柱桿（40）的位置設置有移動架（49）；

所述的一號夾緊架（47）包括伸出板（471）、弧形夾緊板（472）、伸縮彈簧桿（473）、環形板（474）和伸縮桿（475），滑動槽內設置有伸出板（471），伸出板（471）的前后兩端面左右兩側對稱通過銷軸安裝有兩組弧形夾緊板（472），兩組弧形夾緊板（472）之間通過伸縮彈簧桿（473）相連接，且兩組弧形夾緊板（472）外套設有環形板（474），所述的伸出板（471）的底部且位于兩組弧形夾緊板（472）的左右兩側對稱固定安裝有伸縮桿（475），伸縮桿（475）的末端和環形板（474）的上端面固定連接；

所述的移動架（49）包括從動齒輪（491）、驅動電機（492）和不完全齒輪（493），所述的圓柱桿（40）的下端固定安裝有從動齒輪（491），所述的工作臺（1）的頂部開設有放置槽，放置槽內安裝有驅動電機（492），驅動電機（492）的輸出軸安裝有不完全齒輪（493），不完全齒輪（493）和從動齒輪（491）嚙合傳動。