[發明專利]一種應用于射頻電源的阻抗匹配調節方法和裝置在審
| 申請號： | 202110162778.2 | 申請日： | 2021-02-05 |
| 公開（公告）號： | CN112929002A | 公開（公告）日： | 2021-06-08 |
| 發明（設計）人： | 張桂東;陳澤湘;涂騰 | 申請（專利權）人： | 廣東工業大學 |
| 主分類號： | H03H7/38 | 分類號： | H03H7/38 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 郭帥 |
| 地址： | 510060 廣東省*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 應用于 射頻 電源 阻抗匹配 調節 方法 裝置 | ||
1.一種應用于射頻電源的阻抗匹配調節方法，其特征在于，包括：
S1、采集射頻電源系統中的阻抗匹配網絡和負載之間的入射波和反射波；
S2、根據所述入射波和所述反射波的幅值和相角判斷阻抗是否匹配，若否，則獲取幅值差異電壓和相角差異電壓，若是，則返回步驟S1；
S3、根據所述幅值差異電壓和所述相角差異電壓獲取控制信號，并將所述控制信號輸入到受控電流源，得到控制電流；
S4、通過所述控制電流增加受控電流源輸出端的控制繞組中磁芯的磁感應強度，進而增加該磁芯的飽和程度，影響該磁芯的有效磁導率，使得所述阻抗匹配網絡中繞在該磁芯上的電感的電感值發生變化，進而改變所述阻抗匹配網絡的阻抗，并返回步驟S1。
2.根據權利要求1所述的應用于射頻電源的阻抗匹配調節方法，其特征在于，所述采集射頻電源系統中的阻抗匹配網絡和負載之間的入射波和反射波，包括：
通過兩個定向耦合器采集射頻電源系統中的阻抗匹配網絡和負載之間的入射波和反射波，其中，所述定向耦合器的結構為三繞組變壓器結構。
3.根據權利要求1所述的應用于射頻電源的阻抗匹配調節方法，其特征在于，所述根據所述入射波和所述反射波的幅值和相角判斷阻抗是否匹配，若否，則獲取幅值差異電壓和相角差異電壓，若是，則返回步驟S1，包括：
通過幅相測量芯片根據所述入射波和所述反射波的幅值和相角判斷阻抗是否匹配，若否，則通過幅相測量芯片獲取幅值差異電壓和相角差異電壓，若是，則返回步驟S1。
4.根據權利要求1所述的應用于射頻電源的阻抗匹配調節方法，其特征在于，所述受控電流源由運算放大器、電阻和晶體管構成。
5.一種應用于射頻電源的阻抗匹配調節裝置，其特征在于，包括：
采集單元，用于采集射頻電源系統中的阻抗匹配網絡和負載之間的入射波和反射波；
判斷單元，用于根據所述入射波和所述反射波的幅值和相角判斷阻抗是否匹配，若否，則獲取幅值差異電壓和相角差異電壓，若是，則觸發所述采集單元；
獲取單元，用于根據所述幅值差異電壓和所述相角差異電壓獲取控制信號，并將所述控制信號輸入到受控電流源，得到控制電流；
調節單元，用于通過所述控制電流增加受控電流源輸出端的控制繞組中磁芯的磁感應強度，進而增加該磁芯的飽和程度，影響該磁芯的有效磁導率，使得所述阻抗匹配網絡中繞在該磁芯上的電感的電感值發生變化，進而改變所述阻抗匹配網絡的阻抗，并觸發所述采集單元。
6.根據權利要求5所述的應用于射頻電源的阻抗匹配調節裝置，其特征在于，所述采集單元具體用于：
通過兩個定向耦合器采集射頻電源系統中的阻抗匹配網絡和負載之間的入射波和反射波，其中，所述定向耦合器的結構為三繞組變壓器結構。
7.根據權利要求5所述的應用于射頻電源的阻抗匹配調節裝置，其特征在于，所述判斷單元具體用于：
通過幅相測量芯片根據所述入射波和所述反射波的幅值和相角判斷阻抗是否匹配，若否，則通過幅相測量芯片獲取幅值差異電壓和相角差異電壓，若是，觸發所述采集單元。
8.根據權利要求5所述的應用于射頻電源的阻抗匹配調節裝置，其特征在于，所述受控電流源由運算放大器、電阻和晶體管構成。
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