[發明專利]打印系統組件和方法

有效

• 申請號: 202110159113.6
• 申請日: 2015-06-12
• 公開（公告）號: CN113043752B
• 公開（公告）日: 2022-10-25
• 發明（設計）人: R.勞蘭斯;A.S-K.柯;J.莫克;E.弗倫斯基;A.赫魯斯塔列夫;K.馬蒂亞;S.阿爾德森
• 申請（專利權）人: 科迪華公司
• 主分類號: B41J3/28
• 分類號: B41J3/28;B41J3/407;B41J11/06;H01L51/56
• 代理公司: 北京坦路來專利代理有限公司 11652
• 代理人: 索翌

1.一種用于打印基板的系統，所述用于打印基板的系統包括：

打印頭組件，所述打印頭組件包括至少一個打印頭；

浮動支撐設備，所述浮動支撐設備用于支撐基板；以及

運動系統，所述運動系統用于相對于所述打印頭組件來將所述基板定位在所述浮動支撐設備上，所述運動系統包括：

Y軸線性空氣軸承運動系統，所述Y軸線性空氣軸承運動系統包括：

基板夾持器組件，其用于夾持在所述浮動支撐設備上的所述基板，所述基板夾持器組件具有樞軸和線性馬達組件，所述樞軸和線性馬達組件用于在X-Y-Z笛卡爾坐標系的X-Y平面中旋轉所述基板且能沿行進的Y軸移動；和

夾持器運動控制系統，用以控制所述基板的旋轉；以及

X軸線性空氣軸承運動系統，其聯接至所述打印頭組件。

2.根據權利要求1所述用于打印基板的系統，其中，所述夾持器運動控制系統構造為使基板平行于行進Y軸的定向維持在+/-4300微弧度內。

3.根據權利要求1所述用于打印基板的系統，其中，所述浮動支撐設備具有打印區，且構造為將所述基板保持在位于所述打印區中30微米到50微米的飛行高度處。

4.根據權利要求1所述用于打印基板的系統，其中，所述浮動支撐設備包括多孔板。

5.根據權利要求1所述用于打印基板的系統，其中，所述基板夾持器組件沿浮動支撐設備的側面定位。

6.根據權利要求1所述用于打印基板的系統，其中，所述浮動支撐設備構造為支撐從第3.5代到第10代的范圍內大小的基板。

7.根據權利要求1所述用于打印基板的系統，其中，所述X軸線性空氣軸承運動系統包括Z軸移動板組件，所述Z軸移動板組件將X軸線性空氣軸承運動系統聯接到所述打印頭組件。

8.根據權利要求7所述用于打印基板的系統，其中，所述Z軸移動板組件包括氣動平衡系統，以抵消抵靠在所述Z軸移動板組件上的負載的力。

9.根據權利要求1所述用于打印基板的系統，其中所述浮動支撐設備包括具有打印區的臺，所述打印區具有壓力和真空控制端口。

10.根據權利要求1所述用于打印基板的系統，其中，所述打印頭組件，所述浮動支撐設備和所述運動系統是設置在壓力受控環境中。

11.根據權利要求10所述用于打印基板的系統，其中，所述壓力受控環境是正壓環境。

12.根據權利要求10所述用于打印基板的系統，其中，所述壓力受控環境由容納所述打印頭組件，所述浮動支撐設備和所述運動系統，并且聯接到壓力控制系統的包圍件提供。

13.根據權利要求12所述用于打印基板的系統，其中，所述壓力控制系統是加壓氣體再循環系統。

14.根據權利要求13所述用于打印基板的系統，其中，所述加壓氣體再循環系統包括氣體凈化系統。

15.根據權利要求1所述用于打印基板的系統，其中，所述基板夾持器組件包括能操作用真空力夾持基板的真空吸盤桿。

16.根據權利要求1所述用于打印基板的系統，其中，所述基板夾持器組件沿基板支撐設備的側面定位成在基板的邊緣區域夾持基板。

17.根據權利要求1所述用于打印基板的系統，還包括延伸跨過浮動支撐設備的橋，X軸線性空氣軸承運動系統構造成將打印頭組件沿橋移動。