[發(fā)明專利]一種蒸鍍設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110152215.5
• 申請日: 2021-02-03
• 公開（公告）號: CN112981314B
• 公開（公告）日: 2022-07-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 何瑞亭;李曉康
• 申請（專利權(quán)）人: 武漢華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/26;C23C14/12;H01L51/56
• 代理公司: 深圳紫藤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44570
• 代理人: 遠(yuǎn)明

本申請公開了一種蒸鍍設(shè)備，由于該蒸鍍設(shè)備是在一蒸鍍源外側(cè)周緣圍設(shè)第一蒸鍍擋板，第一蒸鍍擋板與蒸鍍源之間的間隙很小，因此能夠減小蒸鍍設(shè)備中第一蒸鍍擋板的面積和重量，也極大地減少了第一蒸鍍擋板的部件和安裝空間，這樣設(shè)計(jì)能夠在蒸鍍設(shè)備運(yùn)行時(shí)，避免部件間的碰撞或干涉，提高蒸鍍設(shè)備作業(yè)的流暢性，也可以避免在運(yùn)載待蒸鍍基板時(shí)，大件蒸鍍擋板影響機(jī)器運(yùn)作，使待蒸鍍基板上產(chǎn)生蒸鍍印記不良。該蒸鍍設(shè)備還對應(yīng)蒸鍍源設(shè)置了遮擋部，這種小巧輕便的擋板設(shè)計(jì)能夠改善蒸鍍設(shè)備擋板的固定點(diǎn)易于損壞的問題，進(jìn)而避免蒸鍍印記不良。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種蒸鍍設(shè)備。

背景技術(shù)

精細(xì)金屬掩膜(Fine Metal Mask,FMM)模式，是通過蒸鍍方式將有機(jī)發(fā)光半導(dǎo)體(Organic Light-Emitting Diode,OLED)材料按照預(yù)定程序蒸鍍到低溫多晶硅(LowTemperature Poly-Silicon,LTPS)背板上，利用FMM上的圖形，形成紅綠藍(lán)器件。

目前量產(chǎn)通常用線性蒸發(fā)源(線源)和點(diǎn)蒸發(fā)源(點(diǎn)源)。以點(diǎn)蒸發(fā)源蒸鍍方式為例，點(diǎn)蒸發(fā)源蒸鍍方式是點(diǎn)源固定，蒸鍍背板由機(jī)器載放到對位組件上。蒸鍍背板由機(jī)器載放、載出以及對位過程中，必須使用擋板將點(diǎn)源蒸鍍出的材料擋住，避免材料蒸鍍到背板上，留下機(jī)器或掩模板形貌的蒸鍍印記不良。

在對現(xiàn)有技術(shù)的研究和實(shí)踐過程中，本申請的發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，常采用的擋板設(shè)計(jì)在背板下方，擋板的固定點(diǎn)在蒸鍍腔室頂部，整個(gè)腔室水平面都需要全部擋住，這樣擋板面積較大，重量大，固定組件容易損壞，使得擋板不能夠?qū)⒉牧蠐踝。瑢?dǎo)致蒸鍍印記不良。

發(fā)明內(nèi)容

本申請?zhí)峁┮环N蒸鍍設(shè)備，能夠避免產(chǎn)生蒸鍍印記不良。

本申請?zhí)峁┮环N蒸鍍設(shè)備，包括：

基臺(tái)，所述基臺(tái)上設(shè)置有蒸鍍源；

第一蒸鍍擋板，所述第一蒸鍍擋板沿垂直所述基臺(tái)的方向設(shè)置在所述基臺(tái)上，并圍設(shè)在一所述蒸鍍源外側(cè)周緣；

遮擋部，所述遮擋部設(shè)置在所述第一蒸鍍擋板遠(yuǎn)離所述基臺(tái)的一側(cè)，所述遮擋部與所述第一蒸鍍擋板蓋合。

可選的，在本申請的一些實(shí)施例中，還包括第一開關(guān)組件，所述第一開關(guān)組件連接所述第一蒸鍍擋板與所述遮擋部，所述第一開關(guān)組件用于控制所述遮擋部開合。

可選的，在本申請的一些實(shí)施例中，還包括第一電力裝置，所述第一電力裝置連接所述第一開關(guān)組件，所述第一電力裝置用于電力控制所述第一開關(guān)組件，以控制所述遮擋部開合。

可選的，在本申請的一些實(shí)施例中，還包括第二蒸鍍擋板和連接部；所述第二蒸鍍擋板沿垂直所述基臺(tái)的方向設(shè)置在所述基臺(tái)上，并圍設(shè)在所述第一蒸鍍擋板遠(yuǎn)離所述蒸鍍源的一側(cè)周緣；所述連接部沿垂直所述基臺(tái)的方向設(shè)置在所述基臺(tái)上，并設(shè)置在所述第一蒸鍍擋板與所述第二蒸鍍擋板之間，所述連接部連接所述遮擋部。

可選的，在本申請的一些實(shí)施例中，所述連接部包括伸縮組件，所述伸縮組件用于控制所述遮擋部在垂直所述基臺(tái)的方向移動(dòng)并控制所述遮擋部開合。

可選的，在本申請的一些實(shí)施例中，所述伸縮組件包括伸縮桿、滑軌或剪刀叉中的任一種。

可選的，在本申請的一些實(shí)施例中，所述伸縮組件連接有第二電力裝置，所述第二電力裝置用于控制所述伸縮組件伸縮。

可選的，在本申請的一些實(shí)施例中，所述連接部包括伸縮組件和第二開關(guān)組件，所述伸縮組件用于控制所述遮擋部在垂直所述基臺(tái)的方向移動(dòng)，所述第二開關(guān)組件用于控制所述遮擋部開合。

可選的，在本申請的一些實(shí)施例中，所述第二開關(guān)組件設(shè)置在靠近所述遮擋部的一側(cè)，所述第二開關(guān)組件連接有第二電力裝置，所述第二電力裝置設(shè)置在所述第一蒸鍍擋板與所述第二蒸鍍擋板之間，所述第二電力裝置用于電力控制所述第二開關(guān)組件以使所述遮擋部開合。