[發明專利]光學測量裝置

在審

• 申請號: 202110147297.4
• 申請日: 2021-02-03
• 公開（公告）號: CN113390334A
• 公開（公告）日: 2021-09-14
• 發明（設計）人: 奧田貴啟;高嶋潤;谷沢元春
• 申請（專利權）人: 歐姆龍株式會社
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 馬爽;臧建明

1.一種光學測量裝置，包括：

光源，輸出多個波長的光；

第一限制構件，形成有使來自所述光源的光的一部分通過的第一開口；

光學系統，用于使通過了所述第一開口的光沿著光軸產生色差；

物鏡，將產生了色差的所述光照射至測量對象物；

第二限制構件，形成有使照射至所述測量對象物的光的反射光的一部分通過的第二開口；

光纖，對通過了所述第二開口的光進行傳播；以及

受光傳感器，獲取所述傳播的光，對所述光的光譜進行測量，

所述第一開口及所述第二開口分別具有包含多個針孔的形狀。

2.根據權利要求1所述的光學測量裝置，其中

所述受光傳感器包含呈一維排列的多個受光元件。

3.根據權利要求1或2所述的光學測量裝置，還包括：

第三限制構件，形成有使所述傳播的光的一部分通過的第三開口，

所述受光傳感器對通過了所述第三開口的光的光譜進行測量。

4.根據權利要求1或2所述的光學測量裝置，還包括：

消光構件，被配置在所述反射光的光路上，以抑制未在所述第二限制構件中聚焦的波長的光被所述受光傳感器接收。

5.根據權利要求1或2所述的光學測量裝置，其中

所述第一開口具有線狀的形狀，

所述第二開口的形狀對應于所述第一開口的形狀。

6.根據權利要求1或2所述的光學測量裝置，還包括：

光路分離元件，將所述反射光的光路從來自所述光源的光的光路予以分離，

所述第二開口被配置成，使經所述光路分離元件分離的所述反射光的一部分通過。

7.根據權利要求1或2所述的光學測量裝置，其中

所述第一限制構件與所述第二限制構件為同一構件。

8.根據權利要求7所述的光學測量裝置，還包括：

光耦合器，將所述反射光從來自所述光源的光予以分支。

9.根據權利要求1或2所述的光學測量裝置，其中

來自所述光源的光為白色光。

10.根據權利要求1或2所述的光學測量裝置，其中

所述光學測量裝置是對所述測量對象物的位移進行測量的位移測量裝置。

11.根據權利要求1或2所述的光學測量裝置，其中

所述第一限制構件形成有多個所述第一開口，

所述第二限制構件形成有多個所述第二開口。