[發(fā)明專(zhuān)利]電子級(jí)三氟化氯的充裝裝置及其充裝方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110142440.0
• 申請(qǐng)日: 2021-02-02
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112963728B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-09-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李紀(jì)明;陳施華;申黎明;華小林;周玉川
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 福建德?tīng)柨萍加邢薰?/a>
• 主分類(lèi)號(hào): F17C5/04
• 分類(lèi)號(hào): F17C5/04;F17C13/02
• 代理公司: 廈門(mén)原創(chuàng)專(zhuān)利事務(wù)所(普通合伙) 35101
• 代理人: 徐東峰

1.一種電子級(jí)三氟化氯的充裝裝置，其特征在于，包括：

罐裝單元（12），包括充裝罐（120），以及用于檢測(cè)所述充裝罐（120）重量的電子秤（121）以及用于給所述充裝罐（120）降溫的降溫組件，所述降溫組件的溫度范圍為-30℃~-50℃，從而為所述三氟化氯的收集提供冷源，使之快速的降溫液化形成負(fù)壓；

充裝檢測(cè)單元（10），分別與所述充裝罐（120）連接的三氟化氯供應(yīng)管路（101）、氟氣供應(yīng)管路（102）、氮?dú)夤?yīng)管路（103）以及排空檢測(cè)管路（104），設(shè)置于各個(gè)管路中的過(guò)濾器（105）以及自動(dòng)閥門(mén)（106）；

防護(hù)單元（11），包括用于容置所述充裝檢測(cè)單元（10）的內(nèi)防護(hù)層（110）、外防護(hù)層（111）、冷凝組件（114）、惰性氣體入口（112）、惰性氣體出口（113），所述內(nèi)防護(hù)層（110）以及所述外防護(hù)層（111）之間形成容置惰性氣體的保護(hù)腔，所述冷凝組件（114）設(shè)置于所述保護(hù)腔中，所述惰性氣體入口（112）以及所述惰性氣體出口（113）分別與所述保護(hù)腔聯(lián)通。

2.如權(quán)利要求1所述的電子級(jí)三氟化氯的充裝裝置，其特征在于，所述自動(dòng)閥門(mén)（106）采用電動(dòng)或氣動(dòng)隔膜閥。

3.如權(quán)利要求1所述的電子級(jí)三氟化氯的充裝裝置，其特征在于，所述防護(hù)單元（11）進(jìn)一步包括泄露檢測(cè)報(bào)警器以及噴淋器（115），設(shè)置于所述內(nèi)防護(hù)層（110）內(nèi)，用于檢測(cè)是否泄漏，并進(jìn)行噴淋。

4.如權(quán)利要求1所述的電子級(jí)三氟化氯的充裝裝置，其特征在于，所述充裝檢測(cè)單元（10）進(jìn)一步包括高純?nèi)戎须s質(zhì)定量、定性組件，與所述排空檢測(cè)管路（104）連接；

其中，雜質(zhì)定量、定性組件包括：

切換單元（20），包括進(jìn)氣管道（201）、出氣管道（202）、六通閥（203）、第一四通閥（204）以及第二四通閥（205），所述六通閥（203）包括順序設(shè)置的a、b、c、d、e、f閥門(mén)，所述第一四通閥（204）包括順序設(shè)置的g、h、i、j閥門(mén)，所述第二四通閥（205）包括順序設(shè)置的k、l、m、n閥門(mén)；所述進(jìn)氣管道（201）與所述出氣管道（202）分別連接a、b閥門(mén)；

定量杯（22），其兩端分別連接所述c、f閥門(mén)；

載氣單元（21），分別連接e、i、m閥門(mén)；

分離單元（23），包括兩端分別連接d、g閥門(mén)的氟醚油柱（230）、兩端分別連接j、k閥門(mén)的第一分子篩（231）、與l閥門(mén)連接的第二分子篩（232）；

分析單元（24），包括與h閥門(mén)連接的第一氣相色譜熱導(dǎo)檢測(cè)器（240）、連接于所述第一分子篩（231）與k閥門(mén)之間的第二氣相色譜熱導(dǎo)檢測(cè)器（241）、連接于所述第二分子篩（232）的氦離子檢測(cè)器（242）。

5.如權(quán)利要求1所述的電子級(jí)三氟化氯的充裝裝置，其特征在于，定義所述充裝罐（120）的體積為ML，其中，所述三氟化氯的最大存儲(chǔ)量為1.42Mkg，當(dāng)電子秤（121）獲取所述充裝罐（120） 達(dá)到最大存儲(chǔ)量時(shí)，控制對(duì)應(yīng)管路的自動(dòng)閥門(mén)（106）關(guān)閉。

6.一種如權(quán)利要求1所述電子級(jí)三氟化氯的充裝裝置的充裝方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1，通過(guò)所述充裝檢測(cè)單元（10）對(duì)所述充裝罐（120）進(jìn)行鈍化處理；

S2，將所述充裝罐（120）降溫到-30℃~-50℃，使所述三氟化氯供應(yīng)管路（101）對(duì)所述充裝罐（120）進(jìn)行充裝，當(dāng)達(dá)到最大充裝量時(shí)，結(jié)束充氣；

S3，通過(guò)所述排空檢測(cè)管路（104）檢測(cè)充裝的氣體是否合格，是，則結(jié)束充裝，允許使用。