[發(fā)明專利]一種低氧大尺寸含鋁基金屬間化合物的合金靶材及其制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110142280.X
• 申請日: 2021-02-02
• 公開（公告）號(hào): CN112962072B
• 公開（公告）日: 2023-07-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 邱從章
• 申請（專利權(quán)）人: 長沙淮石新材料科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/34
• 分類號(hào): C23C14/34;B22D21/00;C22C1/02;C22C21/00
• 代理公司: 長沙市融智專利事務(wù)所(普通合伙) 43114
• 代理人: 顏勇

1.一種低氧大尺寸含鋁基金屬間化合物的合金靶材，其特征在于，制備過程如下：

（1）配料鋁與鈧的原子比為90:10，原材料為高純鋁、高純鈧和添加劑X，其純度≥99.9998%，高純金屬除氧除雜處理時(shí)，經(jīng)重熔并去除表面的雜物；其中添加劑X為氫化鈧物質(zhì)，占原材料總重量的質(zhì)量百分比為3?%；

（2）制坯：將配好的料放入坩堝中，升溫至580℃，保溫5分鐘，再以50℃/min升溫至1200℃熔化并充分?jǐn)嚢杈鶆蚝箪o置20分鐘；然后澆注到可控冷速的模具中冷卻至580℃，冷速控制在200℃/s；其中坩堝為經(jīng)表面氮化硼防護(hù)涂層防護(hù)的水冷銅坩堝，該坩堝不與熔體接觸，減少坩堝帶來不必要的污染；

（3）均溫處理：將坯料在580℃的環(huán)境中均溫1小時(shí)后爐冷至室溫；

（4）后處理：均溫后的坯料經(jīng)過應(yīng)變速率為8?mm/s的熱軋制處理成大尺寸板坯后，退火并經(jīng)機(jī)械加工工序制成靶材；

整個(gè)制坯和均溫處理過程中，原材料和坯料均處于厭氧環(huán)境，這種厭氧環(huán)境中的氧分壓小于0.0001Pa；

最終制備得到大尺寸靶材，鈧的原子百分比含量為10.01?at.%，成分偏差±0.23%，尺寸規(guī)格為直徑350mm×高10?mm，靶材雜質(zhì)氧含量為7.8ppm，其它雜質(zhì)含量總和小于6.5ppm，相對密度為99.8％，平均晶粒尺寸30.25μm。