[發(fā)明專利]雙振鏡方頭及其校準(zhǔn)方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110141650.8
• 申請(qǐng)日: 2021-02-02
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112809166A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-05-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫玉芬;謝圣君;鄭盼;鐘濱標(biāo);焦波;邢沐悅;呂啟濤;高云峰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號(hào): B23K26/064
• 分類號(hào): B23K26/064;B23K26/70
• 代理公司: 深圳中細(xì)軟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44528
• 代理人: 王志強(qiáng)

1.一種雙振鏡方頭，其特征在于：包括激光發(fā)射組件、第一振鏡組件、第二振鏡組件、場(chǎng)鏡機(jī)構(gòu)以及基座，所述第一振鏡組件、所述第二振鏡組件和所述場(chǎng)鏡均安裝在所述基座上，所述激光發(fā)射組件發(fā)射第一激光束和第二激光束，所述第一激光束進(jìn)入所述雙振鏡方頭內(nèi)經(jīng)過(guò)所述第一振鏡組件的反射和所述場(chǎng)鏡機(jī)構(gòu)的折射聚焦在工作面上形成光路A，所述第二激光束從另一角度進(jìn)入所述雙振鏡方頭內(nèi)經(jīng)過(guò)所述第二振鏡組件的反射和所述場(chǎng)鏡機(jī)構(gòu)的折射聚焦在工作面上形成光路B，所述第一振鏡組件和所述第二振鏡組件以所述基座在豎直方向的中心線對(duì)稱設(shè)置，從而使得所述光路A和所述光路B以所述雙振鏡方頭在豎直方向的中軸線為對(duì)稱中心，所述第一激光束的工作面和所述第二激光的工作面位于同一水平面且重合。

2.如權(quán)利要求1所述的雙振鏡方頭，其特征在于：所述第一激光束和所述第二激光束均垂直入射到所述振鏡片上。

3.如權(quán)利要求2所述的雙振鏡方頭，其特征在于：所述第一振鏡組件包括第一X振鏡片、驅(qū)動(dòng)所述第一X振鏡片的第一X振鏡調(diào)節(jié)鈕、第一Y振鏡片和驅(qū)動(dòng)所述第一Y振鏡片的第一Y振鏡調(diào)節(jié)鈕；

所述第二振鏡組件包括第二X振鏡片、驅(qū)動(dòng)所述第二X振鏡片的第二X振鏡調(diào)節(jié)鈕、第二Y振鏡片和驅(qū)動(dòng)所述第二Y振鏡片的第二Y振鏡調(diào)節(jié)鈕。

4.如權(quán)利要求3所述的雙振鏡方頭，其特征在于：所述基座上設(shè)有第一X固位孔、第一Y固位孔、第二X固位孔、第二Y固位孔、第一激光入射孔、第二激光入射孔以及場(chǎng)鏡安裝孔；

所述第一X振鏡片和所述第一X振鏡調(diào)節(jié)鈕組裝后安裝在所述第一X固位孔內(nèi)，所述第一Y振鏡片和所述第一Y振鏡調(diào)節(jié)鈕組裝后安裝在所述第一Y固位孔內(nèi)，所述第二X振鏡片和所述第二X振鏡調(diào)節(jié)鈕組裝后安裝在所述第二X固位孔內(nèi)，所述第二Y振鏡片和所述第二Y振鏡調(diào)節(jié)鈕組裝后安裝在所述第二Y固位孔內(nèi)，所述第一激光束從所述第一激光入射孔射入所述雙振鏡方頭的內(nèi)部，所述第二激光束經(jīng)過(guò)所述第二激光入射孔射入所述雙振鏡方頭的內(nèi)部，所述場(chǎng)鏡機(jī)構(gòu)安裝在所述場(chǎng)鏡安裝孔內(nèi)。

5.如權(quán)利要求1～4任意一項(xiàng)所述的雙振鏡方頭，其特征在于：所述第一激光入射孔、所述第一X固位孔、所述第一Y固位孔和所述場(chǎng)鏡安裝孔連通形成供所述光路A通過(guò)的第一空腔；

所述第二激光入射孔、所述第二X固位孔、所述第二Y固位孔和所述場(chǎng)鏡安裝孔連通形成供所述光路B通過(guò)的第二空腔；

所述第一空腔和所述第二空腔在所述場(chǎng)鏡安裝孔處匯合。

6.如權(quán)利要求5所述的雙振鏡方頭，其特征在于：所述激光發(fā)射組件包括第一激光發(fā)射組件和第二激光發(fā)射組件，所述第一激光發(fā)射組件包括第一激光器和第一光路調(diào)節(jié)組件，所述第一光路調(diào)節(jié)組件用于調(diào)節(jié)所述第一激光束通過(guò)所述第一激光入射孔時(shí)的入射角度，所述第二激光發(fā)射組件包含有第二激光器和第二光路調(diào)節(jié)組件，所述第二光路調(diào)節(jié)組件用于調(diào)節(jié)所述第二激光束通過(guò)所述第二激光入射孔時(shí)的入射角度。

7.如權(quán)利要求6所述的雙振鏡方頭，其特征在于：所述第一光路調(diào)節(jié)組件包括第一X反射鏡和第一Y反射鏡，分別用于調(diào)節(jié)所述第一激光束在X方向和Y方向的反射角度；所述第二光路調(diào)節(jié)組件包括第二X反射鏡和第二Y反射鏡，分別用于調(diào)節(jié)所述第二激光束在X方向和Y方向的反射角度。