[發明專利]基于同步啁啾探針脈沖的等離子體鏡單次信噪比提升度測量方法及裝置有效
| 申請號： | 202110135547.2 | 申請日： | 2021-02-01 |
| 公開（公告）號： | CN112903123B | 公開（公告）日： | 2022-08-09 |
| 發明（設計）人： | 朱坪;張棟俊;梁彥;易友建;謝興龍;朱健強 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海光學精密機械研究所 |
| 主分類號： | G01J11/00 | 分類號： | G01J11/00 |
| 代理公司： | 上海恒慧知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 張寧展 |
| 地址： | 201800 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 同步 啁啾 探針 脈沖 等離子體 鏡單次信噪 提升 測量方法 裝置 | ||
1.一種基于同步啁啾探針脈沖的等離子體鏡單次信噪比提升度的測量方法，其特征在于，包括如下步驟：
步驟1)使啁啾脈沖光源(1)以角度A入射至等離子體鏡基片(6)，經該等離子體鏡基片(6)反射后，利用光譜儀(9)獲取初始的啁啾脈沖光源光譜S0：
步驟2)使聚焦高功率短脈沖光源(5)以角度B入射等離子體鏡基片(6)產生等離子體鏡(7)，使啁啾脈沖光源(1)以角度A入射至等離子體鏡(7)，且A≠B；利用光譜儀(9)獲取經該等離子體鏡(7)反射后的啁啾脈沖光源光譜S1；
步驟3)計算等離子體鏡對啁啾脈沖光源的光譜效率曲線Sλ＝S1-S0；
步驟4)將等離子體鏡對啁啾脈沖光源的光譜效率曲線Sλ，根據公式St＝C*Sλ，轉化為等離子體鏡的反射率時間波形圖St，C是啁啾率，單位皮秒/納米；
步驟5)通過等離子體鏡的反射率時間波形圖，計算等離子體鏡的最高反射率與基底反射率的比值，即對比度，獲得等離子體鏡信噪比提升度。
2.根據權利要求1所述的等離子體鏡單次信噪比提升度的測量方法，其特征在于，步驟1)中所述的啁啾脈沖光源(1)通過啁啾調節單元(2)，產生啁啾率可調的啁啾脈沖。
3.實施權利要求1或2所述的等離子體鏡單次信噪比提升度的測量方法的測量裝置，其特征在于，包括啁啾調節單元(2)、波片(3)、延遲單元(4)和光譜儀(9)；
啁啾脈沖光源(1)作為探針光，依次經過所述的啁啾調節單元(2)、波片(3)和延遲單元(4)后入射到等離子體鏡基片(6)，經該等離子體鏡基片(6)反射的反射光入射到所述的光譜儀(9)；
所述的啁啾調節單元(2)用于調節啁啾脈沖光源的啁啾率；
所述的波片(3)，用于調節啁啾脈沖光源的偏振態；
所述的延遲單元(4)，用于調節聚焦高功率短脈沖光源和啁啾脈沖光源之間的延遲。
4.根據權利要求3所述的測量裝置，其特征在于，在所述的等離子體鏡基片(6)的反射光路上還設有偏振分光元件(8)，用于濾除雜散光，提高啁啾脈沖光源的光譜測量準確度。
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