[發明專利]一種異質結電池制備方法在審
| 申請號: | 202110131542.2 | 申請日: | 2021-01-30 |
| 公開(公告)號: | CN113437176A | 公開(公告)日: | 2021-09-24 |
| 發明(設計)人: | 不公告發明人 | 申請(專利權)人: | 宣城睿暉宣晟企業管理中心合伙企業(有限合伙) |
| 主分類號: | H01L31/18 | 分類號: | H01L31/18;H01L31/0236;H01L31/074 |
| 代理公司: | 北京清大紫荊知識產權代理有限公司 11718 | 代理人: | 彭一波;張奕軒 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 異質結 電池 制備 方法 | ||
本發明屬于太陽能電池制備技術領域,具體涉及一種異質結電池制備方法,該方法包括非晶硅層、透明導電膜層和柵線的制備,在柵線制備之前還包括對透明導電膜層外表面進行預處理,包括以下步驟:對所述透明導電膜層外表面進行酸洗,用于降低透明導電膜層外表面的粗糙度;對酸洗后的所述透明導電膜層外表面進行水洗,用于清除所述酸洗的殘留物;對水洗后的所述透明導電膜層外表面進行干燥處理,用于清除所述水洗的水洗液。本發明采用酸洗、水洗和干燥處理,降低透明導電膜層外表面的表面粗糙度,去除小型凹凸,從而增加絲印后銀質電極與透明導電膜層外表面之間的接觸效率,降低電阻,進而提高異質結電池的工作效率。
技術領域
本發明屬于太陽能電池制備技術領域,具體涉及一種異質結電池制備方法。
背景技術
在異質結電池的生產工藝中,在透明導電膜層的制作工藝之后即直接進行絲印工藝,絲印工藝的目的是將銀漿印刷在透明導電膜層上作為電極。
由于受透明導電膜層的制備工藝的限制,其表面有一些小型凹凸,直接進行絲印工藝將銀漿印刷在透明導電膜層上時,會導致銀漿凝固成型后與其接觸不佳,使異質結電池的電阻增加,降低異質結電池的效率。
發明內容
有鑒于此,發明提出一種太陽能電池的表面處理方法,采用酸洗、水洗和干燥處理,降低透明導電膜層外表面的表面粗糙度,去除小型凹凸,從而增加絲印后銀質電極與透明導電膜層外表面之間的接觸效率,降低電阻,進而提高太陽能電池的工作效率。
為了達到上述技術目的,本發明所采用的具體技術方案為:
一種異質結電池制備方法,包括非晶硅層、透明導電膜層和柵線的制備,在柵線制備之前還包括對透明導電膜層外表面進行預處理,包括以下步驟:
對所述透明導電膜層外表面進行酸洗,用于降低透明導電膜層外表面的粗糙度;
對酸洗后的所述透明導電膜層外表面進行水洗,用于清除所述酸洗的殘留物;
對水洗后的所述透明導電膜層外表面進行干燥處理,用于清除所述水洗的水洗液。
根據本發明實施例的一種具體實現方式,所述酸洗的酸洗液包括:硫酸、雙氧水和去離子水,其中:所述酸洗液中硫酸的含量為0.8%-4.8%;所述酸洗液中雙氧水的含量為0.5-3.2%;去離子水的含量為92%-98.7%。
根據本發明實施例的一種具體實現方式,對所述透明導電膜層外表面進行多次酸洗,并且每次酸洗所使用的酸洗液中硫酸的含量逐漸降低。
根據本發明實施例的一種具體實現方式,所述酸洗液中硫酸的含量為2.5%;所述酸洗液中雙氧水的含量為1.7%;去離子水的含量為95.8%。
根據本發明實施例的一種具體實現方式,所述水洗采用超聲波水洗,所述超聲波水洗的水洗液為去離子水。
根據本發明實施例的一種具體實現方式,所述去離子水的電導率為0.1-10μS/cm。
根據本發明實施例的一種具體實現方式,所述酸洗的持續時長為2-10s,水洗持續時長為15-90s。
根據本發明實施例的一種具體實現方式,所述酸洗的持續時長為4s,水洗持續時長為35s。
根據本發明實施例的一種具體實現方式,所述干燥處理的方式為氮氣吹掃,所述氮氣吹掃的溫度為0-200℃,持續時長為10-60s。
根據本發明實施例的一種具體實現方式,所述氮氣吹掃的溫度為50℃,持續時長為25s。
采用上述技術方案,本發明能夠帶來以下有益效果:
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件;專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發光光源在結構上相連的,并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的





