[發明專利]一種反射式高能電子衍射儀的圖像采集處理系統

在審

• 申請號: 202110117368.6
• 申請日: 2021-01-28
• 公開（公告）號: CN112730485A
• 公開（公告）日: 2021-04-30
• 發明（設計）人: 劉偉;申晉
• 申請（專利權）人: 山東理工大學
• 主分類號: G01N23/20058
• 分類號: G01N23/20058;G01N23/20008;H04N5/225;H04N5/232;H04N5/235
• 代理公司: 淄博佳和專利代理事務所(普通合伙) 37223
• 代理人: 孫愛華

一種反射式高能電子衍射儀的圖像采集處理系統，屬于電子衍射技術領域。包括主機，在主機上設置有熒光屏，在熒光屏的前側設置有工業相機（5），其特征在于：在所述的熒光屏處安裝有支架，支架的端部套設在熒光屏的外圈，所述工業相機（5）固定在支架的另一端并正對熒光屏。在本反射式高能電子衍射儀的圖像采集處理系統中，通過設置支架，支架的端部套設在熒光屏的外圈，有效排除了外部因素對熒光屏成像時的影響，提高了工業相機對圖像捕獲的質量以及衍射圖案的清晰度，進一步避免了對衍射圖案后續處理的影響。通過在支撐筒的端部上方設置安裝平臺，通過安裝平臺在支撐筒的內表面形成平面，有助于將工業相機固定在支撐筒的內部。

技術領域

一種反射式高能電子衍射儀的圖像采集處理系統，屬于電子衍射技術領域。

背景技術

反射式高能電子衍射儀（Reflection High-Energy Electron Diffraction，以下簡稱RHEED）是觀察晶體生長最重要的實時監測工具。它通過非常小的掠射角將高能電子掠射到晶體表面，在前向的熒光屏上形成衍射圖案，并由相機對衍射圖案進行拍攝。通過衍射圖案獲得薄膜厚度、組分以及晶體生長機制等重要信息，直觀顯示晶體生長模式、結構特性和表面平整性。還可以通過不同方向的衍射圖案判斷晶體生長取向，從衍射條紋的間距得出晶格參數等。

在晶體生長過程中，如果是層層生長的，則每個晶胞生長過程為一個周期，在每個周期內，衍射峰的強度會周期變化，根據衍射峰強度的振蕩，RHEED能精確給出薄膜或晶體生長的原子和分子層數、生長模式等信息。由于RHEED是通過衍射光斑位置來得到晶格間距等信息，通過光斑位置的變化實現在線監控的功能，因此要求圖像捕獲的質量較高，然而在現有技術中，由于外部原因會對熒光屏成像造成影響，因此相機在拍攝過程之后，容易出現衍射圖案不夠清晰的情況，進一步影響了對衍射圖案的后續處理。

發明內容

本發明要解決的技術問題是：克服現有技術的不足，提供一種通過設置支架，支架的端部套設在熒光屏的外圈，有效排除了外部因素對熒光屏成像時的影響，提高了工業相機對圖像捕獲的質量以及衍射圖案的清晰度，進一步避免了對衍射圖案后續處理影響的反射式高能電子衍射儀的圖像采集處理系統。

本發明解決其技術問題所采用的技術方案是：該反射式高能電子衍射儀的圖像采集處理系統，包括主機，在主機上設置有熒光屏，在熒光屏的前側設置有工業相機，其特征在于：在所述的熒光屏處安裝有支架，支架的端部套設在熒光屏的外圈，所述工業相機固定在支架的另一端并正對熒光屏。

優選的，所述的支架包括支撐筒，在支撐筒的一端設置有固定邊，工業相機固定在支撐筒的另一端。

優選的，在所述固定邊的外圈軸向開設有若干固定孔，固定邊通過固定孔固定在熒光屏的外圈。

優選的，所述固定邊的直徑大于支撐筒的直徑。

優選的，在所述支撐筒一端端部的上方設置有安裝平臺，安裝平臺在支撐筒的內表面形成平面，所述的工業相機通過該平面固定在支撐筒的內部。

優選的，在所述支撐筒安裝工業相機一端的外端面上還開設有多個安裝孔，通過安裝孔固定有后蓋。

優選的，所述工業相機的輸出端與計算機連接。

與現有技術相比，本發明所具有的有益效果是：

在本反射式高能電子衍射儀的圖像采集處理系統中，通過設置支架，支架的端部套設在熒光屏的外圈，有效排除了外部因素對熒光屏成像時的影響，提高了工業相機對圖像捕獲的質量以及衍射圖案的清晰度，進一步避免了對衍射圖案后續處理的影響。

通過在支撐筒的端部上方設置安裝平臺，通過安裝平臺在支撐筒的內表面形成平面，有助于將工業相機固定在支撐筒的內部。

附圖說明

圖1為反射式高能電子衍射儀的圖像采集處理系統采集支架結構示意圖。