[發明專利]切削裝置

在審

• 申請號: 202110108309.2
• 申請日: 2021-01-27
• 公開（公告）號: CN113183338A
• 公開（公告）日: 2021-07-30
• 發明（設計）人: 能丸圭司
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00;B28D5/02
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 喬婉;于靖帥

本發明提供切削裝置，其準確地檢測切削刃的側面的狀態，切削刀具的更換時期、形成于被加工物的切槽的狀態等的預知的精度優異。切削裝置具有對切削刀具的切削刃進行監視的監視單元。監視單元包含：拍攝部，其對切削刀具的切削刃進行拍攝；脈沖光源，其發出脈沖光，對該拍攝部的拍攝區域進行照明；以及照相機，其捕捉該拍攝部發出的圖像。拍攝部包含：第一拍攝部，其對切削刀具的切削刃的一個側面進行拍攝；第二拍攝部，其對切削刀具的切削刃的另一個側面進行拍攝；以及第三拍攝部，其對切削刃的外周端部進行拍攝。

技術領域

本發明涉及具有監視單元的切削裝置，該監視單元監視對卡盤工作臺所保持的被加工物進行切削的切削刃。

背景技術

通過具有切削刀具的切削裝置將由交叉的多條分割預定線劃分而在正面上形成有IC、LSI等多個器件的晶片分割成各個器件芯片，分割得到的器件芯片用于移動電話、個人計算機等電子設備。

另外，本申請人提出了一種切削裝置，該切削裝置具有對在切削刀具的外周呈環狀形成的切削刃的狀態進行監視的刀具檢測單元(參照專利文獻1)，能夠使用該刀具檢測單元來檢測切削刀具的切削刃的狀態，從而得知切削刀具的更換時期。

專利文獻1：日本特開2007-042855號公報

但是，在專利文獻1所公開的技術中，由于采用隔著切削刃配置發光元件和照相機并利用從發光元件照射的光來監視切削刃的輪廓的結構，因此無法檢測切削屑是否附著于切削刃的側面、磨粒是否從切削刃的側面脫落等詳細的狀態，不能說切削刀具的更換時期、形成于被加工物的切槽的狀態、崩邊(刃缺口)的狀態等的預知的精度高，要求進一步改善。

發明內容

因此，本發明的目的在于，提供一種切削裝置，其準確地檢測切削刃的側面的狀態，切削刀具的更換時期、形成于被加工物的切槽的狀態等的預知的精度優異。

根據本發明，提供一種切削裝置，其具有：卡盤工作臺，其對被加工物進行保持；切削單元，其包含切削刀具，該切削刀具呈環狀地配設有對該卡盤工作臺所保持的該被加工物進行切削的切削刃；監視單元，其對該切削刀具的該切削刃進行監視；以及監視器，該監視單元具有：拍攝部，其對該切削刀具的該切削刃進行拍攝；脈沖光源，其發出脈沖光，對該拍攝部的拍攝區域進行照明；以及照相機，其捕捉該拍攝部發出的圖像，該拍攝部包含：第一拍攝部，其對該切削刀具的該切削刃的一個側面進行拍攝；以及第二拍攝部，其對該切削刀具的該切削刃的另一個側面進行拍攝，該第一拍攝部包含：第一棱鏡，其具有與該切削刃的一個側面面對的一個端面；第一成像透鏡，其配設于該第一棱鏡的另一個端面；以及第一光纖，其傳遞第一圖像，該第一光纖的一個端面與該第一成像透鏡連結，該第二拍攝部包含：第二棱鏡，其具有與該切削刃的另一個側面面對的一個端面；第二成像透鏡，其配設于該第二棱鏡的另一個端面；以及第二光纖，其傳遞第二圖像，該第二光纖的一個端面與該第二成像透鏡連結，從該第一光纖的另一個端面發出的該第一圖像和從該第二光纖的另一個端面發出的該第二圖像被傳遞到該照相機并顯示在該監視器上。

優選的是，該拍攝部還包含第三拍攝部，該第三拍攝部包含：第三成像透鏡，其與該切削刃的外周端部面對；以及第三光纖，其傳遞第三圖像，該第三光纖的一個端面與該第三成像透鏡連結，從該第三光纖的另一個端面發出的該第三圖像與該第一圖像和該第二圖像一起被傳遞到該照相機并顯示在該監視器上。

優選的是，該監視單元還具有配設在該拍攝部與該照相機之間的分束器，該脈沖光源發出的脈沖光經由該分束器而從配設于該拍攝部的各光纖的另一個端面導入，并被引導至與該切削刀具的切削刃的拍攝區域面對的一個端面，對該拍攝區域進行照明。優選的是，該監視單元還具有一端與該脈沖光源光學結合的傳遞脈沖光的照明用光纖，通過該照明用光纖對該拍攝區域進行照明。

優選的是，在將該切削刀具的該切削刃旋轉一周時該監視單元拍攝該切削刃的次數設為X、將使該切削刀具旋轉的主軸的1秒鐘的轉速設為Y時，

脈沖光源的重復頻率＝X×Y[Hz]。