[發明專利]一種酸活性樹脂以及光刻膠在審
| 申請號： | 202110102205.0 | 申請日： | 2021-01-26 |
| 公開（公告）號： | CN112920314A | 公開（公告）日： | 2021-06-08 |
| 發明（設計）人： | 顧大公;許東升;余紹山;齊國強;岳力挽;馬瀟;李珊珊;毛智彪;許從應 | 申請（專利權）人： | 寧波南大光電材料有限公司 |
| 主分類號： | C08F220/18 | 分類號： | C08F220/18;C08F220/28;G03F7/004 |
| 代理公司： | 深圳盛德大業知識產權代理事務所(普通合伙) 44333 | 代理人： | 賈振勇 |
| 地址： | 315800 浙江省*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 活性 樹脂 以及 光刻 | ||
1.一種酸活性樹脂，其特征在于，所述酸活性樹脂包括：
極性側鏈基團以及非極性側鏈基團，所述極性側鏈基團與所述非極性側鏈基團互為衍生基團，且所述極性側鏈基團與所述非極性側鏈基團的原子個數之差為0～5個。
2.如權利要求1所述的酸活性樹脂，其特征在于，所述極性側鏈基團與所述非極性側鏈基團的物質的量之比為30:70～70:30。
3.如權利要求2所述的酸活性樹脂，其特征在于，所述極性側鏈基團與所述非極性側鏈基團的物質的量之比為40:60～60:40。
4.如權利要求1所述的酸活性樹脂，其特征在于，所述極性側鏈基團包括碳氮基團、碳氧基團、碳磷基團以及碳硫基團中的一種或多種。
5.如權利要求1所述的酸活性樹脂，其特征在于，所述非極性側鏈基團包括烷烴基團、烯烴基團、炔烴基團以及環烷烴基團中的一種或多種。
6.如權利要求1所述的酸活性樹脂，其特征在于，所述非極性側鏈基團具有光酸活性，所述非極性側鏈基團在酸性條件下轉化成極性側鏈基團。
7.如權利要求1所述的酸活性樹脂，其特征在于，所述酸活性樹脂包括聚苯乙烯類樹脂、聚(甲基)丙烯酸樹脂、環氧樹脂以及含芳基的樹枝狀樹脂中的一種或多種。
8.一種光刻膠，其特征在于，所述光刻膠包括如權利要求1-7任一項所述的質量百分比為1％-10％的酸活性樹脂、質量百分比為0.1％-5％的光敏劑、質量百分比為0.001％-1％酸抑制劑，以及有機溶劑。
9.如權利要求8所述的光刻膠，其特征在于，所述光刻膠還包括：
光敏劑，所述光敏劑包括至少一個端部基團與所述酸活性樹脂的極性側鏈基團中的功能基團互為衍生基團，或者與所述酸活性樹脂的非極性側鏈基團互為衍生基團。
10.如權利要求8或9所述的光刻膠，其特征在于，所述光刻膠還包括：
酸抑制劑，所述酸抑制劑包括至少一個端部基團與所述酸活性樹脂的極性側鏈基團互為衍生基團，或者與所述酸活性樹脂的非極性側鏈基團互為衍生基團。
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