[發明專利]一種銅銦鎵硒薄膜太陽能電池及其制備方法

有效

• 申請號: 202110098410.4
• 申請日: 2021-01-25
• 公開（公告）號: CN112838134B
• 公開（公告）日: 2023-08-15
• 發明（設計）人: 王正安;來華杭;郭峰;俞峰;周海龍
• 申請（專利權）人: 浙江上方電子裝備有限公司
• 主分類號: H01L31/0224
• 分類號: H01L31/0224;H01L31/0445;H01L31/18
• 代理公司: 杭州合信專利代理事務所(普通合伙) 33337
• 代理人: 沈自軍

1.一種銅銦鎵硒薄膜太陽能電池，包括：從下至上依次排布的基底、鉬背電極層、銅銦鎵硒吸收層、緩沖層和窗口層，其特征在于，

除銅銦鎵硒吸收層和鉬背電極層，其他層的厚度均一且連續分布；

所述銅銦鎵硒吸收層連續分布，所述鉬背電極層位于所述銅銦鎵硒吸收層內，所述鉬背電極層和銅銦鎵硒吸收層二者共同形成厚度均一的層，所述銅銦鎵硒吸收層的厚度為2.3～3μm，所述鉬背電極層的厚度為1.9～2.1μm，所述鉬背電極層具有允許光線通過的鏤空區域，所述鏤空區域為規則排布的多個，每個鏤空區域的面積為14～25μm²；相鄰兩個鏤空區域最鄰近邊的距離為0.3～0.5μm；

所述鉬背電極層包括相互平行的第一表面和第二表面，所述基底與鉬背電極層之間還設有阻擋層，所述鉬背電極層的第一表面與所述阻擋層接觸，第二表面處于所述銅銦鎵硒吸收層中，所述第二表面與緩沖層的距離為0.4～0.7μm。

2.根據權利要求1所述的銅銦鎵硒薄膜太陽能電池，其特征在于，各鏤空區域為矩形，且各鏤空區域呈矩陣排布。

3.根據權利要求1所述的銅銦鎵硒薄膜太陽能電池，其特征在于，所述窗口層包括：與緩沖層相接觸的本征氧化鋅窗口層，以及與本征氧化鋅窗口層相接觸的摻鋁氧化鋅窗口層。

4.根據權利要求1所述的銅銦鎵硒薄膜太陽能電池，其特征在于，所述阻擋層的厚度為100-200nm。

5.根據權利要求3所述的銅銦鎵硒薄膜太陽能電池，其特征在于，所述本征氧化鋅窗口層的厚度為20-50nm，所述摻鋁氧化鋅窗口層的厚度為800-1000nm。

6.一種如權利要求1～5任一項所述的銅銦鎵硒薄膜太陽能電池的制備方法，在基底上依次制備所述鉬背電極層、銅銦鎵硒吸收層、緩沖層和窗口層，其特征在于，所述鉬背電極層的制備工藝包括：

采用磁控濺射得到初始膜層；

利用激光在所述初始膜層上蝕刻得到所述鉬背電極層。