[發明專利]光源定位裝置和半導體光學量測裝置

有效

• 申請號: 202110096345.1
• 申請日: 2021-01-25
• 公開（公告）號: CN112945281B
• 公開（公告）日: 2022-06-03
• 發明（設計）人: 周毅;梁亞軍
• 申請（專利權）人: 長江存儲科技有限責任公司
• 主分類號: G01D5/26
• 分類號: G01D5/26;F16M11/04
• 代理公司: 上海盈盛知識產權代理事務所(普通合伙) 31294
• 代理人: 孫佳胤

1.一種用于半導體光學量測的光源定位裝置，其特征在于，包括：

外殼，所述外殼內限定出適于半導體光學量測設備的光源器件至少部分伸入的安裝腔，所述外殼包括定位件和用于與所述半導體光學量測設備固定連接的固定件；

定位桿，所述定位桿可移動地穿設在所述定位件上且所述定位桿的一端伸入所述安裝腔內，所述定位桿伸入所述安裝腔的一端設有底座，所述底座設有與所述光源器件安裝定位的定位部，所述外殼安裝在所述半導體光學量測設備時所述光源器件安裝到位且所述光源器件的定位標志位于定位位置處且朝向固定。

2.根據權利要求1所述的用于半導體光學量測的光源定位裝置，其特征在于，所述固定件環繞所述定位件的周向延伸且與所述定位件共同限定出所述安裝腔。

3.根據權利要求2所述的用于半導體光學量測的光源定位裝置，其特征在于，所述外殼形成為中空的圓筒狀且所述外殼的一端封閉，所述固定件形成為外殼的側壁，所述定位件形成為所述外殼的底壁，所述定位件設有沿所述外殼軸向貫穿所述定位件的通孔，所述定位桿沿所述外殼的軸向可移動地穿設在所述通孔內。

4.根據權利要求1所述的用于半導體光學量測的光源定位裝置，其特征在于，所述固定件設有與所述半導體光學量測設備固定連接的至少一個固定孔。

5.根據權利要求1所述的用于半導體光學量測的光源定位裝置，其特征在于，還包括限位件，所述限位件設在所述外殼上且沿伸入和伸出所述安裝腔的方向可移動，所述限位件伸入所述安裝腔內時與所述光源器件配合以固定所述光源器件。

6.根據權利要求5所述的用于半導體光學量測的光源定位裝置，其特征在于，所述固定件設有與所述安裝腔連通的限位孔，所述限位件可移動地設在所述限位孔內以在所述光源器件到位時伸入所述安裝腔內止抵固定所述光源器件。

7.根據權利要求5所述的用于半導體光學量測的光源定位裝置，其特征在于，所述限位件為兩個且相對設置，兩個所述限位件伸入所述安裝腔時止抵所述光源器件的相對兩側以固定所述光源器件。

8.根據權利要求1所述的用于半導體光學量測的光源定位裝置，其特征在于，所述定位桿設有定位止擋部，所述定位止擋部設在所述定位桿位于所述安裝腔外的一端以限定所述定位桿的移動行程。

9.根據權利要求1所述的用于半導體光學量測的光源定位裝置，其特征在于，所述定位部形成為具有螺紋的螺孔，所述光源器件與所述定位部螺紋連接，所述光源器件與所述螺孔安裝到位時，所述光源器件的定位標志位于定位位置處。

10.一種半導體光學量測裝置，其特征在于，包括根據權利要求1-9中任一項所述的用于半導體光學量測的光源定位裝置。