[發明專利]拉晶裝置

在審

• 申請號: 202110088626.2
• 申請日: 2021-01-22
• 公開（公告）號: CN112921395A
• 公開（公告）日: 2021-06-08
• 發明（設計）人: 沈偉民
• 申請（專利權）人: 上海新昇半導體科技有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 北京市磐華律師事務所 11336
• 代理人: 胡競之

1.一種拉晶裝置，其特征在于，包括導流筒，所述導流筒包括內筒、外筒和設置在所述內筒和所述外筒之間的隔熱材料，所述隔熱材料包括采用纖維材料繞制形成的筒狀固氈，其中，所述纖維材料的繞制方向靠近垂直于所述內筒側壁的法線方向，以使所述纖維材料的延伸方向靠近與所述導流筒的內筒側壁平行的方向。

2.根據權利要求1所述的拉晶裝置，其特征在于，所述導流筒包括從上到下的第一部分和第二部分，所述外筒包括外筒上部和外筒下部，所述內筒包括內筒上部和內筒下部，所述內筒上部與所述外筒上部以及位于所述內筒上部和所述外筒上部之間的第一固氈構成所述第一部分，所述內筒下部與所述外筒下部以及位于所述內筒下部和所述外筒下部之間的第二固氈構成所述第二部分。

3.根據權利要求2所述的拉晶裝置，其特征在于，所述第二部分相對于所述第一部分向所述導流筒內側突出。

4.根據權利要求3所述的拉晶裝置，其特征在于，所述第一部分與所述第二部分的所述纖維材料的繞制方向不同。

5.根據權利要求4所述的拉晶裝置，其特征在于，所述第一部分設置為圓柱形筒，所述第一部分中的所述第一固氈的纖維材料的繞制方向沿著靠近垂直于所述外筒上部的法線方向。

6.根據權利要求5所述的拉晶裝置，其特征在于，所述內筒下部包括水平設置的平面或者在半徑方向上向下傾斜的斜面，所述第二部分中的所述第二固氈的纖維材料的繞制方向沿著靠近垂直于所述內筒下部的法線方向。

7.根據權利要求3所述的拉晶裝置，其特征在于，所述第一部分中的所述第一固氈的纖維材料的延伸方向與垂直于所述內筒上部的側壁的法線的夾角的范圍為75-105°。

8.根據權利要求3所述的拉晶裝置，其特征在于，所述第二部分中的所述第二固氈的纖維材料的延伸方向與垂直于所述內筒下部的法線之間的夾角的范圍為75-105°。

9.根據權利要求2所述的拉晶裝置，其特征在于，所述第一部分中的所述第一固氈的纖維材料的延伸方向與所述內筒上部的側壁平行。

10.根據權利要求2所述的拉晶裝置，其特征在于，所述第二部分中的所述第二固氈的纖維材料的延伸方向與所述內筒下部平行。