[發(fā)明專利]光伏電池雙向進氣鈍化沉積裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110087980.3 | 申請日： | 2021-01-22 |
| 公開（公告）號： | CN112921302A | 公開（公告）日： | 2021-06-08 |
| 發(fā)明（設計）人： | 陳慶敏;涂清華;初仁龍;陳加朋;卓倩武;孫志宇;李丙科 | 申請（專利權）人： | 無錫松煜科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/455 | 分類號： | C23C16/455;C23C16/40;H01L21/02;H01L31/18 |
| 代理公司： | 江蘇漫修律師事務所 32291 | 代理人： | 熊啟奎;周曉東 |
| 地址： | 214028 江蘇省無錫市*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電池 雙向 鈍化 沉積 裝置 | ||
1.一種光伏電池雙向進氣鈍化沉積裝置，其特征在于：具有一個主機室，主機室內至少具有一個工藝腔室（1），工藝腔室（1）的一端為爐口端（2），另一端為封閉的爐尾端（3），在工藝腔室（1）靠近爐口端（2）的位置上設有第一進氣口（4），在工藝腔室（1）靠近爐口端（2）的位置上設有第一出氣口（5），在工藝腔室（1）靠近爐尾端（3）的位置上設有第二進氣口（6），在工藝腔室（1）靠近爐尾端（3）的位置或者爐尾上設有第二出氣口（7）。
2.根據權利要求1所述的光伏電池雙向進氣鈍化沉積裝置，其特征在于：在工藝腔室（1）靠近爐口端（2）的側壁上設有第一進氣口（4），在工藝腔室（1）靠近爐口端（2）的底部設有第一出氣口（5），在工藝腔室（1）靠近爐尾端（3）的側壁上設有第二進氣口（6）。
3.根據權利要求1所述的光伏電池雙向進氣鈍化沉積裝置，其特征在于：第一進氣口（4）與第二出氣口（7）相對應，第一進氣口（4）與外部第一進氣管路連通，第二出氣口（7）與外部第二出氣管路連通。
4.根據權利要求3所述的光伏電池雙向進氣鈍化沉積裝置，其特征在于：第二進氣口（6）與第一出氣口（5）相對應，第二進氣口（6）與外部第二進氣管路連通，第一出氣口（5）與外部第一出氣管路連通。
5.根據權利要求4所述的光伏電池雙向進氣鈍化沉積裝置，其特征在于：第二出氣管路分為第一支路和第二支路，第一出氣管路、第一支路和第二支路三路合并后與尾氣處理裝置連通。
6.根據權利要求5所述的光伏電池雙向進氣鈍化沉積裝置，其特征在于：第一出氣管路上安裝有真空閥，第二出氣管路上安裝有真空計后分為第一支路和第二支路，第一支路上安裝有真空閥，第二支路上安裝有真空閥。
7.根據權利要求5所述的光伏電池雙向進氣鈍化沉積裝置，其特征在于：三路合并方式采用先兩路合并再與第三路合并，或者三路同時合并。
8.根據權利要求5所述的光伏電池雙向進氣鈍化沉積裝置，其特征在于：尾氣處理裝置為尾氣處理罐。
9.根據權利要求5所述的光伏電池雙向進氣鈍化沉積裝置，其特征在于：尾氣處理裝置經尾氣管路與真空泵連通，尾氣管路在連通到真空泵之前安裝有真空閥。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
