[發(fā)明專利]一種晶圓涂膜設(shè)備

在審

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• 申請日: 2021-01-22
• 公開（公告）號: CN113146906A
• 公開（公告）日: 2021-07-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 梁小明
• 申請（專利權(quán)）人: 梁小明
• 主分類號: B29C41/20
• 分類號: B29C41/20;B29C41/34;H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
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1.一種晶圓涂膜設(shè)備，其結(jié)構(gòu)包括儲存箱(1)、按鈕(2)、顯示器(3)、輸膜器(4)，所述按鈕(2)安裝在儲存箱(1)左側(cè)，所述顯示器(3)嵌設(shè)于儲存箱(1)前側(cè)，所述輸膜器(4)兩端分別通過焊接連接于儲存箱(1)背面與儲存箱(1)頂部，其特征在于：

所述儲存箱(1)包括儲存腔(11)、固定板(12)、涂膜箱(13)、通管(14)，所述儲存腔(11)嵌設(shè)于儲存箱(1)內(nèi)部，且儲存腔(11)與輸膜器(4)一端相接通，所述固定板(12)通過水平焊接連接于儲存腔(11)內(nèi)壁，所述涂膜箱(13)底部嵌固于固定板(12)上表面，所述通管(14)垂直設(shè)于涂膜箱(13)頂部，且通管(14)頂部與輸膜器(4)另一端相連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓涂膜設(shè)備，其特征在于：所述涂膜箱(13)包括蓋板(131)、把手(132)、涂膜槽(133)、刮板(134)、支撐臺(135)、固定塊(136)，所述蓋板(131)底部與涂膜箱(13)上內(nèi)壁相嚙合，所述把手(132)通過螺栓連接于蓋板(131)頂部外表面，所述涂膜槽(133)嵌設(shè)于蓋板(131)與涂膜箱(13)內(nèi)部，所述刮板(134)頂部嵌固于蓋板(131)內(nèi)底部，所述支撐臺(135)安裝在刮板(134)正下方，且支撐臺(135)嵌固于涂膜箱(13)內(nèi)壁，所述固定塊(136)上表面與涂膜箱(13)底部相焊接，且固定塊(136)安裝在涂膜箱(13)內(nèi)底部。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓涂膜設(shè)備，其特征在于：所述支撐臺(135)包括支撐桿(a)、支撐簧(b)、夾板(c)、空槽(d)、支撐塊(e)，所述支撐桿(a)嵌固于支撐臺(135)外表面，所述支撐簧(b)一端通過焊接連接于支撐臺(135)內(nèi)壁，所述夾板(c)與支撐簧(b)另一端相連接，所述空槽(d)嵌設(shè)于支撐臺(135)內(nèi)壁，且空槽(d)位于夾板(c)內(nèi)側(cè)，所述支撐塊(e)嵌固于空槽(d)中心處。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種晶圓涂膜設(shè)備，其特征在于：所述支撐桿(a)包括限位塊(a1)、彈簧(a2)、移動板(a3)、移動桿(a4)，所述限位塊(a1)嵌固于支撐桿(a)內(nèi)壁，所述彈簧(a2)頂部通過焊接連接于支撐桿(a)上內(nèi)壁，所述移動板(a3)上表面與彈簧(a2)末端相連接，且移動板(a3)左右兩壁與限位塊(a1)相貼，所述移動桿(a4)貫穿于支撐桿(a)下壁，且移動桿(a4)頂部與移動板(a3)相連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種晶圓涂膜設(shè)備，其特征在于：所述移動桿(a4)包括頂塊(a41)、頂槽(a42)、連接塊(a43)、壓板(a44)，所述頂塊(a41)與移動桿(a4)為一體化結(jié)構(gòu)，所述頂槽(a42)嵌設(shè)于頂塊(a41)內(nèi)底部，所述連接塊(a43)通過螺栓連接于頂槽(a42)內(nèi)壁，所述壓板(a44)連接于兩塊連接塊(a43)之間。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種晶圓涂膜設(shè)備，其特征在于：所述夾板(c)包括夾塊(c1)、凹槽(c2)、拉簧(c3)、隔板(c4)，所述夾塊(c1)嵌固于夾板(c)右側(cè)，所述凹槽(c2)嵌設(shè)于夾板(c)內(nèi)部，所述拉簧(c3)一端通過焊接連接于凹槽(c2)內(nèi)部，所述隔板(c4)通過間隙貫穿于凹槽(c2)內(nèi)壁，且隔板(c4)與拉簧(c3)相連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種晶圓涂膜設(shè)備，其特征在于：所述夾塊(c1)由導板(c11)、導管(c12)、定位板(c13)、支撐塊(c14)、支撐柱(c15)、頂板(c16)組成，所述導管(c12)嵌設(shè)于導板(c11)內(nèi)部，所述定位板(c13)左端嵌固于導板(c11)右內(nèi)壁，所述支撐塊(c14)與支撐柱(c15)底部均嵌固于定位板(c13)上表面，所述頂板(c16)底部通過焊接連接于支撐塊(c14)頂端。