[發(fā)明專利]準分子燈、光照射裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110086074.1 | 申請日: | 2021-01-22 |
| 公開(公告)號: | CN113178381A | 公開(公告)日: | 2021-07-27 |
| 發(fā)明(設計)人: | 山口將志;竹添法隆;大圖將人;有川一樹 | 申請(專利權)人: | 優(yōu)志旺電機株式會社 |
| 主分類號: | H01J65/00 | 分類號: | H01J65/00;G02F1/1337 |
| 代理公司: | 永新專利商標代理有限公司 72002 | 代理人: | 任玉敏 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 分子 照射 裝置 | ||
1.一種準分子燈,其特征在于,
具備:
發(fā)光管,在第一方向上延伸,具有在與上述第一方向不同的第二方向上相對的第一外壁面和第二外壁面,在內側封入有發(fā)光氣體;
一對電極,設置在上述第一外壁面和上述第二外壁面上;
一對通電部,配置于上述第一外壁面的上述第一方向上的各端部側,且分別與不同的上述電極連接;
一對供電銷,配置成:分別與不同的上述通電部連接,且朝向與上述第二外壁面相反的一側向上述第二方向延伸;以及
一對基座,沿上述第二方向形成貫通孔,在內側具有供上述供電銷插通的供電銷支承部,并固定上述發(fā)光管和上述供電銷。
2.根據(jù)權利要求1所述的準分子燈,其特征在于,
上述通電部和上述供電銷經(jīng)由導電性部件連接。
3.根據(jù)權利要求2所述的準分子燈,其特征在于,
上述導電性部件具有彈性。
4.根據(jù)權利要求1~3中任一項所述的準分子燈,其特征在于,
上述一對基座的上述供電銷支承部在從上述第二方向觀察時,各自的形狀或大小中的至少一方不同。
5.根據(jù)權利要求1~4中任一項所述的準分子燈,其特征在于,
至少一方的上述基座的上述供電銷支承部在上述發(fā)光管的端部側的外表面形成有與上述第一方向正交的平坦面。
6.根據(jù)權利要求1~5中任一項所述的準分子燈,其特征在于,
上述基座的上述供電銷支承部以在用與上述第一外壁面平行的平面切斷時的截面積隨著遠離上述第一外壁面而變小的方式形成有錐部。
7.根據(jù)權利要求1~6中任一項所述的準分子燈,其特征在于,
從上述發(fā)光管射出的光的主要發(fā)光波長為172nm。
8.一種光照射裝置,其特征在于,
具備:
權利要求1~3中任一項所述的準分子燈;以及
供上述基座嵌合的插口,
在上述插口的內側設置有與上述供電銷連接的電源銷。
9.根據(jù)權利要求8所述的光照射裝置,其特征在于,
至少一個上述插口構成為能夠在上述第一方向上移動。
10.根據(jù)權利要求8或9所述的光照射裝置,其特征在于,
上述基座的上述供電銷支承部的外表面以朝向內側凹陷的方式形成有凹部,
上述插口設置有與上述凹部卡合而保持上述基座的保持機構。
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