[發明專利]一種柔性鉸鏈式觸針位移傳感器

在審

• 申請號: 202110085152.6
• 申請日: 2021-01-21
• 公開（公告）號: CN112902851A
• 公開（公告）日: 2021-06-04
• 發明（設計）人: 常素萍;吳運權;王浩;趙言情;盧文龍
• 申請（專利權）人: 華中科技大學
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02
• 代理公司: 華中科技大學專利中心 42201
• 代理人: 孔娜;李智

1.一種柔性鉸鏈式觸針位移傳感器，其特征在于，包括：

觸針單元(100)，包括柔性鉸鏈(110)、固定連接于所述柔性鉸鏈(110)上表面的第二平面反射鏡(120)以及穿過所述柔性鉸鏈(110)連接于第二平面反射鏡(120)下表面的觸針(130)；

偏振干涉計量單元(200)，水平方向依次包括激光器(210)、偏振分光鏡(220)、第一1/4波片(230)以及第一平面反射鏡(240)；所述偏振干涉計量單元(200)還包括設于所述偏振分光鏡(220)反射光路上的第1/4波片(250)以及設于所述偏振分光鏡(220)上方的偏振片(260)和光電探測器(270)，其中，所述第1/4波片(250)設于所述第二平面反射鏡(120)的正上方。

2.根據權利要求1所述的柔性鉸鏈式觸針位移傳感器，其特征在于，所述觸針(130)位于所述第二平面反射鏡(120)的幾何中心的下方。

3.根據權利要求1所述的柔性鉸鏈式觸針位移傳感器，其特征在于，所述觸針單元(100)還包括設于所述柔性鉸鏈(110)下方的擋板(140)，所述擋板(140)上設有貫通的孔(141)，所述觸針(130)穿過所述孔(141)。

4.根據權利要求3所述的柔性鉸鏈式觸針位移傳感器，其特征在于，所述擋板(140)和所述柔性鉸鏈(110)之間設有彈簧(150)，初始時刻所述彈簧(150)設有預壓力。

5.根據權利要求1所述的柔性鉸鏈式觸針位移傳感器，其特征在于，所述柔性鉸鏈(110)為對稱結構。

6.根據權利要求5所述的柔性鉸鏈式觸針位移傳感器，其特征在于，所述柔性鉸鏈(110)的材料為彈簧鋼或銅。

7.根據權利要求1所述的柔性鉸鏈式觸針位移傳感器，其特征在于，所述柔性鉸鏈(110)的彈性模量為1×10¹¹～2×10¹¹N/m²。

8.根據權利要求1所述的柔性鉸鏈式觸針位移傳感器，其特征在于，所述觸針(130)的材料為金剛石、紅寶石或硬質合金中的一種。

9.根據權利要求1所述的柔性鉸鏈式觸針位移傳感器，其特征在于，所述偏振干涉計量單元(200)固定于支架上。