[發(fā)明專利]一種晶圓載具自動(dòng)下螺絲裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110085103.2
• 申請(qǐng)日: 2021-01-22
• 公開（公告）號(hào): CN112404945B
• 公開（公告）日: 2021-04-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王子龍;李凱杰;陳仁明;李健;曹智
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 山東元旭光電股份有限公司
• 主分類號(hào): B23P19/00
• 分類號(hào): B23P19/00;B23P19/06
• 代理公司: 濟(jì)南誠智商標(biāo)專利事務(wù)所有限公司 37105
• 代理人: 馬春燕

1.一種晶圓載具自動(dòng)下螺絲裝置，包括機(jī)架，其特征在于：所述機(jī)架上設(shè)有倍速鏈輸送線、載具定位機(jī)構(gòu)和自動(dòng)下螺絲機(jī)構(gòu)，所述倍速鏈輸送線上設(shè)有阻擋氣缸，所述阻擋氣缸沿所述倍速鏈輸送線輸送方向設(shè)有兩組，且分別于所述載具定位機(jī)構(gòu)的兩端設(shè)置，所述自動(dòng)下螺絲機(jī)構(gòu)位于所述載具定位機(jī)構(gòu)上方；

所述載具定位機(jī)構(gòu)包括活塞氣缸驅(qū)動(dòng)的升降托板，所述升降托板的頂面設(shè)有用以實(shí)現(xiàn)晶圓載具定位的定位銷，所述定位銷包括圓柱形定位銷和菱形定位銷，所述圓柱形定位銷和所述菱形定位銷分別于所述升降托板的兩端設(shè)置，所述倍速鏈輸送線的兩側(cè)還設(shè)有托盤限位塊和蓋板限位板，處于定位狀態(tài)時(shí)，晶圓載具定位夾持于所述升降托板和所述托盤限位塊、所述蓋板限位板之間，且所述托盤限位塊延伸至晶圓載具的托盤設(shè)置，所述蓋板限位板延伸至晶圓載具的蓋板設(shè)置；

所述自動(dòng)下螺絲機(jī)構(gòu)設(shè)有兩套，且分別沿所述倍速鏈輸送線的輸送方向排列設(shè)置；

所述自動(dòng)下螺絲機(jī)構(gòu)包括由第一驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)、且沿X軸方向滑動(dòng)的第一安裝板，所述第一安裝板上沿Y軸方向滑動(dòng)安裝有第二驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)的第二安裝板，所述第二安裝板上沿Z軸方向滑動(dòng)安裝有第三驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)的第三安裝板，所述第三安裝板上通過緩沖機(jī)構(gòu)安裝有電批；

所述機(jī)架上還固定安裝有若干螺釘導(dǎo)料管，對(duì)晶圓載具定位狀態(tài)時(shí)，所述螺釘導(dǎo)料管頂端進(jìn)料口分別與晶圓載具上的螺釘落料孔對(duì)應(yīng)設(shè)置，所述機(jī)架上固定安裝有安裝塊，所述安裝塊上螺紋配合安裝有定位螺栓，所述螺釘導(dǎo)料管活動(dòng)插裝于所述安裝塊內(nèi)，且利用所述定位螺栓定位固定。

2.如權(quán)利要求1所述的晶圓載具自動(dòng)下螺絲裝置，其特征在于：所述第一驅(qū)動(dòng)裝置包括固定安裝于所述機(jī)架上的第一電缸，所述機(jī)架上還固定安裝有與所述第一電缸平行設(shè)置的第一導(dǎo)軌，所述第一導(dǎo)軌上滑動(dòng)安裝有第一滑塊，所述第一安裝板的兩端分別通過安裝座與所述第一滑塊、所述第一電缸的滑板固定連接；

所述第二驅(qū)動(dòng)裝置包括固定安裝于所述第一安裝板上的第二電缸，所述第二安裝板固定安裝于所述第二電缸的滑板上；

所述第三驅(qū)動(dòng)裝置包括固定安裝于所述第二安裝板上的第三電缸，所述第三安裝板固定安裝于所述第三電缸的滑板上。

3.如權(quán)利要求1所述的晶圓載具自動(dòng)下螺絲裝置，其特征在于：所述緩沖機(jī)構(gòu)包括沿豎直方向滑動(dòng)安裝于所述第三安裝板上的連接板，所述連接板頂端與所述第三安裝板的頂部間設(shè)有壓縮彈簧，所述壓縮彈簧的兩端分別與所述連接板、所述第三安裝板連接，所述電批固定安裝于所述連接板上。

4.如權(quán)利要求3所述的晶圓載具自動(dòng)下螺絲裝置，其特征在于：所述機(jī)架上固定安裝有氣缸安裝板，所述活塞氣缸固定安裝于所述氣缸安裝板上，且所述活塞氣缸的活塞軸頂部與所述升降托板的底面中間位置固定連接；

所述氣缸安裝板上還固定安裝有若干直線軸承，所述直線軸承內(nèi)沿豎直方向滑動(dòng)插裝有導(dǎo)向軸，所述導(dǎo)向軸的頂端均與所述升降托板固定連接。

5.如權(quán)利要求4所述的晶圓載具自動(dòng)下螺絲裝置，其特征在于：所述機(jī)架底部固定安裝有與所述螺釘導(dǎo)料管下料口對(duì)應(yīng)設(shè)置的螺釘滑道，所述螺釘滑道的出料口位于所述機(jī)架一側(cè)。

6.如權(quán)利要求5所述的晶圓載具自動(dòng)下螺絲裝置，其特征在于：所述倍速鏈輸送線的進(jìn)料端還設(shè)有掃碼器。

7.如權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的晶圓載具自動(dòng)下螺絲裝置，其特征在于：所述倍速鏈輸送線包括固定安裝于所述機(jī)架上的輸送架體，所述輸送架體的一端轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的傳動(dòng)軸，所述傳動(dòng)軸的兩端鍵連接有主動(dòng)齒輪，所述輸送架體的另一端轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有與所述主動(dòng)齒輪對(duì)應(yīng)設(shè)置的從動(dòng)齒輪，所述主動(dòng)齒輪和所述從動(dòng)齒輪間架繞有倍速鏈，且通過所述倍速鏈傳動(dòng)相連。

8.如權(quán)利要求7所述的晶圓載具自動(dòng)下螺絲裝置，其特征在于：所述輸送架體的端部均固定安裝有倍速鏈回程導(dǎo)軌，所述倍速鏈回程導(dǎo)軌具有圓弧形導(dǎo)向面，所述輸送架體的頂部內(nèi)側(cè)沿長度方向均固定安裝有耐磨條，對(duì)應(yīng)設(shè)置的所述耐磨條間形成與晶圓載具寬度相適配的導(dǎo)向滑道。

9.如權(quán)利要求8所述的晶圓載具自動(dòng)下螺絲裝置，其特征在于：所述機(jī)架的底部安裝有福馬輪，所述機(jī)架的頂部一側(cè)設(shè)有顯示屏，所述機(jī)架的外防護(hù)殼上設(shè)有觀察窗，且所述機(jī)架的一端開設(shè)有與所述倍速鏈輸送線對(duì)應(yīng)設(shè)置的晶圓載具進(jìn)料口。