[發明專利]一種晶圓自動下片、檢測生產線

有效

• 申請號: 202110085102.8
• 申請日: 2021-01-22
• 公開（公告）號: CN112420580B
• 公開（公告）日: 2021-04-16
• 發明（設計）人: 李凱杰;王子龍;陳仁明;李健;曹智
• 申請（專利權）人: 山東元旭光電股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/67
• 代理公司: 濟南誠智商標專利事務所有限公司 37105
• 代理人: 馬春燕

1.一種晶圓自動下片、檢測生產線，其特征在于：包括用以實現晶圓載具上料的進料料倉、用以實現晶圓下片的下片裝置、用以實現晶圓載具下料的出料料倉以及用以實現晶圓檢測的檢測裝置；

所述下片裝置包括下片機架，所述下片機架上設有倍速鏈輸送線、第一載具定位機構、自動下螺絲機構、第二載具定位機構、取放機械臂、蓋板放置臺、晶圓放置臺和載具舉升機構，所述第一載具定位機構、所述第二載具定位機構和所述載具舉升機構沿所述倍速鏈輸送線的輸送方向依次設置，所述自動下螺絲機構位于所述第一載具定位機構的上方，且與所述第一載具定位機構相對應，所述取放機械臂和所述蓋板放置臺均位于所述倍速鏈輸送線的一側，且與所述第二載具定位機構相對應，所述取放機械臂的工作軸端部設有用以實現蓋板和晶圓取放的取放料機構，所述晶圓放置臺位于所述倍速鏈輸送線的出料端，且所述倍速鏈輸送線的出料端還設有與所述載具舉升機構對應設置的載具下料撥送機構；

所述第一載具定位機構、所述第二載具定位機構均包括分別由夾持氣缸驅動的升降托板和固定安裝于所述下片機架上的限位塊、限位板，所述升降托板的頂面設有用以實現晶圓載具定位的定位銷，所述限位塊和所述限位板均于所述倍速鏈輸送線的兩側，且對應設置，處于定位狀態時，晶圓載具的托盤定位夾持于所述升降托板和所述限位塊之間，且所述第一載具定位機構的所述限位板延伸至晶圓載具的蓋板設置，所述第二載具定位機構的所述限位板延伸至晶圓載具的載片板設置；

所述進料料倉和所述出料料倉均包括與所述下片機架連接的料倉架體，所述料倉架體上沿豎直方向滑動安裝有第一驅動裝置驅動的載具料筐，所述載具料筐具有若干載具放置位，且所述進料料倉的一側還設有載具上料撥送機構，所述進料料倉的載具出料口與所述下片裝置的載具上料口相對應，所述出料料倉的載具進料口與所述下片裝置的載具下料口相對應；

所述檢測裝置包括與所述下片機架連接的檢測機架，所述檢測機架上自靠近所述下片機架的一端至另一端依次設有中轉取料機構、晶圓轉送機構、晶圓檢測機、測試取料機構、中轉放置臺、花籃放置架和旋轉放料機構，所述中轉取料機構與所述晶圓放置臺對應設置，所述晶圓轉送機構與所述中轉取料機構對應設置，所述晶圓檢測機和所述測試取料機構分別靠近所述檢測機架的兩側、且對應設置，所述中轉放置臺與所述晶圓轉送機構對應設置，所述晶圓檢測機朝向所述測試取料機構的一側設有晶圓檢測臺，且于所述晶圓檢測臺上取放晶圓狀態時，所述晶圓檢測臺位于所述中轉放置臺和所述晶圓轉送機構中間，所述花籃放置架上設有若干花籃放置位，且所述花籃放置架上分別設有與所述花籃放置位對應設置的花籃定位機構，所述旋轉放料機構于所述花籃放置架的上料側設置。

2.如權利要求1所述的一種晶圓自動下片、檢測生產線，其特征在于：所述載具料筐的兩內側設有若干載具托板，若干所述載具托板兩兩對應設置，且對應設置的兩所述載具托板間形成與晶圓載具寬度相適配的所述載具放置位；

所述載具上料撥送機構包括第二驅動裝置驅動的撥爪，對晶圓載具撥送時，所述撥爪延伸至所述載具料筐內，且與所述進料料倉的載具出料口對應設置，在所述第二驅動裝置驅動下，所述撥爪沿朝向或遠離所述進料料倉的載具出料口方向位移。

3.如權利要求2所述的一種晶圓自動下片、檢測生產線，其特征在于：所述倍速鏈輸送線包括固定安裝于所述下片機架上的輸送架體，所述輸送架體的一端轉動安裝有第三驅動裝置驅動的傳動軸，所述傳動軸的兩端分別鍵連接有主動齒輪，所述輸送架體的另一端轉動安裝有分別與所述主動齒輪對應設置的從動齒輪，對應設置的所述主動齒輪和所述從動齒輪之間架繞有倍速鏈，且所述主動齒輪和所述從動齒輪通過所述倍速鏈傳動相連。

4.如權利要求3所述的一種晶圓自動下片、檢測生產線，其特征在于：所述自動下螺絲機構設有兩套，且分別沿所述倍速鏈輸送線的輸送方向排列設置；

所述自動下螺絲機構包括第四驅動裝置驅動的電批安裝板，所述電批安裝板上通過第一緩沖機構安裝有電批；

所述下片機架上還固定安裝有若干螺釘導料管，對晶圓載具定位狀態時，所述螺釘導料管頂端進口分別與晶圓載具上的螺釘落料孔對應設置，所述下片機架底部固定安裝有與所述螺釘導料管出口對應設置的螺釘滑道，所述螺釘滑道的出口位于所述下片機架一側。