[發(fā)明專利]缺陷檢測設(shè)備及其檢測方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110080950.X
• 申請日: 2021-01-21
• 公開（公告）號(hào): CN112845194B
• 公開（公告）日: 2022-09-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 桂俊榮;何彩英;關(guān)航健;龐奇奇;程宇;周銳超;廖俊;陳凌梟;鄭富瑜;王兵;龔文濤;曹金沛
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳科瑞技術(shù)股份有限公司
• 主分類號(hào): B07C5/36
• 分類號(hào): B07C5/36;B07C5/02;B07C5/00;B07C5/38;H05F3/06
• 代理公司: 北京一格知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11316
• 代理人: 王科

1.一種缺陷檢測設(shè)備，其特征在于，包括：機(jī)架及均設(shè)于所述機(jī)架上的進(jìn)料輸送裝置、粗定位測量裝置、上料搬運(yùn)裝置、糾偏調(diào)整裝置、精定位測量裝置、線掃移動(dòng)裝置、線掃檢測裝置及下料搬運(yùn)裝置；

所述進(jìn)料輸送裝置將待檢測的工件輸送至所述粗定位測量裝置的拍攝視野范圍內(nèi)；

所述粗定位測量裝置識(shí)別所述工件上的標(biāo)識(shí)信息，并拍攝獲取所述工件的粗定位數(shù)據(jù)；

所述糾偏調(diào)整裝置根據(jù)所述粗定位數(shù)據(jù)對(duì)所述工件進(jìn)行糾偏調(diào)整，使得所述工件在所述精定位測量裝置的拍攝視野范圍內(nèi)；

所述精定位測量裝置拍攝獲取糾偏后的所述工件的精定位數(shù)據(jù)，用于生成線掃軌跡規(guī)劃數(shù)據(jù)；

所述上料搬運(yùn)裝置將所述粗定位測量裝置完成識(shí)別和粗定位拍攝后的所述工件搬運(yùn)至所述糾偏調(diào)整裝置上，以及將所述精定位測量裝置完成精定位拍攝后的所述工件搬運(yùn)至所述線掃移動(dòng)裝置上；

所述線掃移動(dòng)裝置根據(jù)所述線掃軌跡規(guī)劃數(shù)據(jù)控制所述工件移動(dòng)；

所述線掃檢測裝置對(duì)移動(dòng)中的所述工件進(jìn)行拍攝掃描檢測，并生成線掃描圖像數(shù)據(jù)用于缺陷檢測判斷所述工件為良品或次品；

所述下料搬運(yùn)裝置的一端分布有良品下料工位，所述下料搬運(yùn)裝置的另一端分布有次品下料工位，所述下料搬運(yùn)裝置將判斷為良品的所述工件搬運(yùn)至所述良品下料工位上或?qū)⑴袛酁榇纹返乃龉ぜ徇\(yùn)至所述次品下料工位上；

所述線掃檢測裝置包括：第一安裝架、第一升降安裝座、第一轉(zhuǎn)動(dòng)安裝座、第一線掃相機(jī)、第二升降安裝座、第二轉(zhuǎn)動(dòng)安裝座、第二線掃相機(jī)、第一光源及第二光源，

所述第一安裝架呈可豎直轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)整的設(shè)于所述機(jī)架上；

所述第一升降安裝座呈安裝位置可豎直升降調(diào)整的設(shè)于所述第一安裝架上，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)安裝座呈安裝角度可水平轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)整的設(shè)于所述第一升降安裝座上，所述第一線掃相機(jī)沿垂直所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)安裝座之轉(zhuǎn)動(dòng)軸心線的方向呈安裝位置可移動(dòng)調(diào)整設(shè)于所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)安裝座上；

所述第二升降安裝座呈安裝位置可豎直升降調(diào)整的設(shè)于所述第一安裝架上，所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)安裝座呈安裝角度可水平轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)整的設(shè)于所述第二升降安裝座上，所述第二線掃相機(jī)沿垂直所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)安裝座之轉(zhuǎn)動(dòng)軸心線的方向呈安裝位置可移動(dòng)調(diào)整設(shè)于所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)安裝座上；

所述第二線掃相機(jī)位于所述第一線掃相機(jī)的下方；

所述第一光源設(shè)于所述線掃移動(dòng)裝置上，所述第一光源由下往上照射于所述線掃移動(dòng)裝置所移動(dòng)的所述工件上；

所述第二光源呈安裝位置可調(diào)整的設(shè)于所述機(jī)架上，所述第二光源位于所述線掃移動(dòng)裝置所移動(dòng)的所述工件的一側(cè)，且所述第二光源照射于所述線掃移動(dòng)裝置所移動(dòng)的所述工件上。

2.如權(quán)利要求1所述的缺陷檢測設(shè)備，其特征在于，所述線掃移動(dòng)裝置包括：第二安裝架、XYR三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)及用于承載固定所述工件的第一承載固定機(jī)構(gòu)，所述第二安裝架固定于所述機(jī)架上，所述XYR三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)設(shè)于所述第二安裝架上，所述第一承載固定機(jī)構(gòu)設(shè)于所述XYR三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上，所述XYR三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)可驅(qū)使所述第一承載固定機(jī)構(gòu)沿兩相互垂直的水平方向移動(dòng)及繞一豎直的軸心線轉(zhuǎn)動(dòng)；所述第一光源設(shè)于所述XYR三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上，所述第二光源位于所述第一承載固定機(jī)構(gòu)所承載固定的所述工件的一側(cè)。

3.如權(quán)利要求1所述的缺陷檢測設(shè)備，其特征在于，所述粗定位測量裝置包括：第一安裝座、第一XYZ三軸調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、第一檢測相機(jī)及第三光源，所述第一安裝座固定于所述機(jī)架上，所述第一XYZ三軸調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)于所述第一安裝座上，所述第一檢測相機(jī)設(shè)于所述第一XYZ三軸調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上；所述進(jìn)料輸送裝置上分布有粗定位檢測工位，所述第一檢測相機(jī)朝向所述粗定位檢測工位上；所述第三光源固定于所述機(jī)架上，且所述第三光源由上往下照射于所述粗定位檢測工位上。

4.如權(quán)利要求1所述的缺陷檢測設(shè)備，其特征在于，所述糾偏調(diào)整裝置包括：第三安裝架、XR兩軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)及用于承載固定所述工件的第二承載固定機(jī)構(gòu)，所述第三安裝架固定于所述機(jī)架上，所述XR兩軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)設(shè)于所述第三安裝架上，所述第二承載固定機(jī)構(gòu)設(shè)于所述XR兩軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上，所述XR兩軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)可驅(qū)使所述第二承載固定機(jī)構(gòu)沿一水平方向移動(dòng)及繞一豎直的軸心線轉(zhuǎn)動(dòng)。