[發明專利]Topcon電池的光注入鈍化方法有效
| 申請號： | 202110080784.3 | 申請日： | 2021-01-20 |
| 公開（公告）號： | CN112768564B | 公開（公告）日： | 2022-08-30 |
| 發明（設計）人： | 楊斌;萬義茂;袁聲召 | 申請（專利權）人： | 東方日升（常州）新能源有限公司 |
| 主分類號： | H01L31/18 | 分類號： | H01L31/18;H01L31/042 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 唐菲 |
| 地址： | 213200 江蘇省常*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | topcon 電池 注入 鈍化 方法 | ||
1.一種Topcon電池的光注入鈍化方法，其特征在于，包括：
對金屬化后的Topcon電池進行光注入并輔以加熱以實現鈍化，所述光注入的輻射強度為2~10suns，光注入的時間為100~300s；
加熱過程包括加熱階段、降溫階段和保溫階段，所述加熱階段包括將所述Topcon電池加熱至表面溫度為第一溫度，所述降溫階段包括將所述Topcon電池的表面溫度從所述第一溫度降至第二溫度，所述保溫階段為所述Topcon電池在所述第二溫度進行保溫，所述第一溫度為300~650℃，所述第二溫度為200~250℃。
2.根據權利要求1所述的Topcon電池的光注入鈍化方法，其特征在于，所述光注入的輻射強度為2~8suns，所述光注入的時間為200~300s，所述第一溫度為300~550℃。
3.根據權利要求2所述的Topcon電池的光注入鈍化方法，其特征在于，所述光注入的輻射強度為5suns，所述光注入的時間為250~300s，所述第一溫度為350~400℃。
4.根據權利要求2所述的Topcon電池的光注入鈍化方法，其特征在于，所述光注入的輻射強度為2suns，所述光注入的時間為200s，所述第一溫度為300℃。
5.根據權利要求1-4任一項所述的Topcon電池的光注入鈍化方法，其特征在于，所述保溫階段的時間為所述光注入的時間的40~60%。
6.根據權利要求1~4任一項所述Topcon電池的光注入鈍化方法，其特征在于，所述Topcon電池在進行光注入的過程中采用鏈式傳輸的方式對單片Topcon電池依次進行傳輸。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件；專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發光光源在結構上相連的，并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的
