[發(fā)明專利]一種圖像傳感器及其制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110080249.8
• 申請日: 2021-01-21
• 公開（公告）號: CN112802863B
• 公開（公告）日: 2023-02-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張建華;李意;毛龍妹
• 申請（專利權(quán)）人: 上海大學(xué)
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146
• 代理公司: 北京高沃律師事務(wù)所 11569
• 代理人: 劉瀟

1.一種圖像傳感器的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

在TFT像素陣列結(jié)構(gòu)的工作面濺射底電極，得到底電極層；

采用溶液涂布的方法，在所述底電極層的表面依次制備導(dǎo)電傳輸層、有機活性層和透明頂電極層后；在所述透明頂電極層的表面沉積封裝層，得到所述圖像傳感器；

所述導(dǎo)電傳輸層的材料為聚乙氧基乙烯亞胺；

所述有機活性層的材料包括聚合物半導(dǎo)體材料，還包括富勒烯衍生物或非富勒烯衍生物；

所述透明頂電極層的材料為PEDOT:PSS；

所述底電極層的材料為ITO、FTO或Mo。

2.如權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，制備所述導(dǎo)電傳輸層的過程包括以下步驟：

將導(dǎo)電傳輸層材料和有機溶劑混合，得到導(dǎo)電傳輸層材料溶液；

將所述導(dǎo)電傳輸層材料溶液涂布于所述底電極層表面，得到導(dǎo)電傳輸層材料液膜；

將所述導(dǎo)電傳輸層材料液膜進行加熱處理，得到所述導(dǎo)電傳輸層。

3.如權(quán)利要求2所述的制備方法，其特征在于，所述導(dǎo)電傳輸層材料溶液中的聚乙氧基乙烯亞胺的質(zhì)量濃度為0.1～1％。

4.如權(quán)利要求2或3所述的制備方法，其特征在于，所述導(dǎo)電傳輸層的厚度為20～80nm。

5.如權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述聚合物半導(dǎo)體材料與富勒烯衍生物的質(zhì)量比為1：(1～4)；

或所述聚合物半導(dǎo)體材料與非富勒烯衍生物的質(zhì)量比為1：(1～4)。

6.如權(quán)利要求1或5所述的制備方法，其特征在于，制備所述有機活性層的過程包括以下步驟：

將有機活性層的材料和有機溶劑混合，得到有機活性層溶液；

將所述有機活性層溶液涂布在所述導(dǎo)電傳輸層表面，得到所述有機活性層。

7.如權(quán)利要求6所述的制備方法，其特征在于，所述有機活性層溶液的濃度為40～100mg/mL；

所述涂布的方式為旋涂、噴涂、狹縫涂布或噴墨打印。

8.如權(quán)利要求6所述的制備方法，其特征在于，所述有機活性層的厚度為100nm～5μm。

9.如權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述透明頂電極層的厚度為100～2000nm。

10.權(quán)利要求1～9任一項所述的制備方法制備得到的圖像傳感器，其特征在于，包括依次層疊設(shè)置的TFT像素陣列結(jié)構(gòu)、底電極層、導(dǎo)電傳輸層、有機活性層、透明頂電極層和封裝層；

所述導(dǎo)電傳輸層的材料為聚乙氧基乙烯亞胺；

所述有機活性層的材料包括聚合物半導(dǎo)體材料，還包括富勒烯衍生物或非富勒烯衍生物；

所述透明頂電極層的材料為PEDOT:PSS；

所述底電極層的材料為ITO、FTO或Mo。