[發(fā)明專利]顯示裝置的制造裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110079831.2
• 申請日: 2021-01-21
• 公開（公告）號: CN113843535A
• 公開（公告）日: 2021-12-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 申東勳;樸京鎬
• 申請（專利權(quán)）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: B23K26/70
• 分類號: B23K26/70;H01L27/32;H01L21/67
• 代理公司: 北京銘碩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11286
• 代理人: 劉燦強(qiáng);全振永

公開本發(fā)明的顯示裝置的制造裝置。本發(fā)明的顯示裝置的制造裝置包括：多個(gè)激光生成部；第一測定部，測定從各個(gè)所述激光生成部發(fā)出的激光的一部分；光學(xué)系統(tǒng)，使從各個(gè)所述激光生成部發(fā)出的激光入射而生成一個(gè)工藝激光；第二測定部，測定從所述光學(xué)系統(tǒng)發(fā)出的所述工藝激光；以及控制部，基于由所述第一測定部測定的各個(gè)所述激光與由所述第二測定部測定的所述工藝激光來調(diào)節(jié)所述激光從各個(gè)所述激光生成部發(fā)出的時(shí)間點(diǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明的實(shí)施例涉及裝置，更加詳細(xì)地，涉及顯示裝置的制造裝置。

背景技術(shù)

基于移動性的電子設(shè)備正在被廣泛應(yīng)用。除了諸如移動電話等小型電子設(shè)備以外，近來，平板計(jì)算機(jī)也作為移動用電子設(shè)備而被廣泛使用。

為了支持多種功能，如上所述的移動型電子設(shè)備包括用于向用戶提供諸如圖像或者影像等視覺信息的顯示裝置。近來，隨著用于驅(qū)動顯示裝置的其他部件被小型化，顯示裝置在電子設(shè)備中占據(jù)的比重呈現(xiàn)逐漸增加的趨勢，能夠在平坦的狀態(tài)下以具有預(yù)定角度的方式彎曲的結(jié)構(gòu)也正在被研發(fā)。

如上所述的顯示裝置可以包括多種薄膜晶體管。此時(shí)，顯示裝置的性能或者畫質(zhì)可以通過制造薄膜晶體管的精密程度而被決定。

發(fā)明內(nèi)容

通常，在制造顯示裝置的薄膜晶體管之前需要將硅膜晶化。硅膜的晶化程度可以通過在這種硅膜的晶化時(shí)使用的激光強(qiáng)度變化等而被決定。然而，由于這種用于硅膜的晶化的激光是將多個(gè)激光結(jié)合而使用的，因此可能難以控制，并且生成與設(shè)計(jì)的激光相同或者相似的形態(tài)的激光可能相當(dāng)困難。本發(fā)明的實(shí)施例提供能夠通過實(shí)時(shí)監(jiān)控而生成與設(shè)計(jì)的激光相同或者相似的激光而執(zhí)行工藝的顯示裝置的制造裝置。

本發(fā)明的一實(shí)施例公開一種顯示裝置的制造裝置，包括：多個(gè)激光生成部；第一測定部，測定從各個(gè)所述激光生成部發(fā)出的激光的一部分；光學(xué)系統(tǒng)，使從各個(gè)所述激光生成部發(fā)出的激光入射而生成一個(gè)工藝激光；第二測定部，測定從所述光學(xué)系統(tǒng)發(fā)出的所述工藝激光；以及控制部，基于由所述第一測定部測定的各個(gè)所述激光與由所述第二測定部測定的所述工藝激光來調(diào)節(jié)所述激光從各個(gè)所述激光生成部發(fā)出的時(shí)間點(diǎn)。

在本實(shí)施例，所述第一測定部可以感測根據(jù)時(shí)間的所述激光的強(qiáng)度。

在本實(shí)施例，所述第二測定部可以感測根據(jù)時(shí)間的所述工藝激光的強(qiáng)度。

在本實(shí)施例，所述控制部可以算出由所述第一測定部測定的所述激光的參數(shù)以及由所述第二測定部測定的所述工藝激光的參數(shù)中的至少一個(gè)。

在本實(shí)施例，所述參數(shù)可以包括半高峰寬(pulse duration)、第二峰值強(qiáng)度值(2^ndhump ratio)以及根據(jù)時(shí)間的強(qiáng)度的積分值(integral of pulse)中的至少一個(gè)。

在本實(shí)施例，所述控制部可以判斷所述工藝激光的參數(shù)是否與預(yù)先設(shè)定的設(shè)定值相同或者是否包括于設(shè)定范圍。

在本實(shí)施例，可以在所述工藝激光的參數(shù)與所述設(shè)定值不對應(yīng)或者脫離所述設(shè)定范圍的情形下，所述控制部以從所述第一測定部測定的所述激光的參數(shù)為依據(jù)而重新調(diào)整各個(gè)所述激光生成部使所述激光振蕩的時(shí)間點(diǎn)。

在本實(shí)施例，還可以包括：平臺，安置被從所述光學(xué)系統(tǒng)發(fā)出的所述工藝激光照射的基板。

本發(fā)明的另一實(shí)施例公開一種顯示裝置的制造方法，包括如下步驟：在彼此不同的時(shí)間點(diǎn)分別使多個(gè)激光振蕩；所述多個(gè)激光生成為一個(gè)工藝激光；測定所述工藝激光根據(jù)時(shí)間的強(qiáng)度；以所述工藝激光的強(qiáng)度為依據(jù)算出所述工藝激光的參數(shù)。

在本實(shí)施例，還可以包括將所述工藝激光的參數(shù)與預(yù)先設(shè)定的設(shè)定值比較或者與預(yù)先設(shè)定的設(shè)定范圍比較的步驟。

在本實(shí)施例，還可以包括在所述工藝激光的參數(shù)與所述設(shè)定值不同或者脫離所述設(shè)定范圍的情形下調(diào)整使各個(gè)所述激光振蕩的時(shí)間點(diǎn)的步驟。