[發明專利]一種激光芯片的多功能測試裝置

在審

• 申請號: 202110075655.5
• 申請日: 2021-01-20
• 公開（公告）號: CN112909726A
• 公開（公告）日: 2021-06-04
• 發明（設計）人: 潘華東;李青龍;王俊;趙長福
• 申請（專利權）人: 蘇州長光華芯光電技術股份有限公司;蘇州長光華芯半導體激光創新研究院有限公司
• 主分類號: H01S5/00
• 分類號: H01S5/00
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250
• 代理人: 薛異榮

本申請提供一種激光芯片的多功能測試裝置，用于對激光芯片進行測試，包括桌面板，在桌面板上，設有：水平行走機構，用于控制激光芯片在水平方向上移動；透鏡行走機構，用于固定透鏡，并控制透鏡的位置；偏振上下行走氣缸，用于控制偏振的高度；校準熱堆左右行走氣缸，帶動安裝于其上的校準熱堆左右移動，以測試激光芯片的校準熱堆；遠場水平行走機構，用于測試激光芯片在水平方向上的遠場；遠場垂直行走機構，用于測試激光芯片在垂直方向上的遠場。可以對激光芯片的功率、遠場水平、遠場垂直、偏振及近場等性能進行測試，可以實現對激光芯片的多功能測試。

技術領域

本發明涉及半導體檢測設備技術領域，具體涉及一種激光芯片的多功能測試裝置。

背景技術

隨著半導體激光行業的飛速發展，對激光芯片進行測試已經相當成熟，然而，現有測試設備中，大多采取在不同的測試設備上測試不同的性能，如此導致，對大批量激光芯片進行測試時，需要頻繁更換測試設備，導致測試效率低。

綜上所述，現在技術方案中缺少一種集成度高，且可對激光芯片的多個性能均可進行測試的測試裝置。

申請內容

因此，本申請的目的是提供一種激光芯片的多功能測試裝置，以解決現有技術方案中缺少一種集成度高，且可對激光芯片的多個性能均可進行測試的測試裝置。

根據本申請實施例提供的一種激光芯片的多功能測試裝置，用于對激光芯片進行測試，包括桌面板，在所述桌面板上，設有：

水平行走機構，用于控制激光芯片在水平方向上移動；

透鏡行走機構，用于固定透鏡，并控制透鏡的位置；

偏振上下行走氣缸，用于控制偏振的高度；

校準熱堆左右行走氣缸，帶動安裝于其上的校準熱堆左右移動，以測試激光芯片的校準熱堆；

遠場水平行走機構，用于測試激光芯片在水平方向上的遠場；

遠場垂直行走機構，用于測試激光芯片在垂直方向上的遠場。

優選地，所述水平行走機構，包括：

連接板，可沿所述桌面板水平滑動；

芯片夾具固定結構，固定在所述連接板之上，用于固定激光芯片；

探針上下行走氣缸，固定在所述連接板之上，設置有固定針，用于對芯片夾具固定結構自動加電。

優選地，所述芯片夾具固定結構包括第一伸縮固定裝置和第二伸縮固定裝置。

優選地，所述透鏡行走結構上設有透鏡連接裝置，用于連接透鏡；還設有：

上下行走旋轉開關，用于控制透鏡連接裝置的上下位置；

左右行走旋轉開關，用于控制透鏡連接裝置的左右位置；

前后行走旋轉開關，用于控制透鏡連接裝置的前后位置。

優選地，所述偏振上下行走氣缸上安裝有用來測試激光芯片的偏振。

優選地，所述校準熱堆左右行走氣缸上安裝有測試激光芯片熱堆的校準熱堆。

優選地，所述遠場水平行走機構上設置有遠場水平行走裝置，用于測試激光芯片水平方向上的遠場。

優選地，所述遠場垂直行走機構上設置有遠場垂直行走裝置，用于測試激光芯片垂直方向上的遠場。

本申請的技術方案，具有如下優點：