[發明專利]一種旋轉電極鍍膜系統

有效

• 申請號: 202110075454.5
• 申請日: 2021-01-20
• 公開（公告）號: CN112899660B
• 公開（公告）日: 2023-07-28
• 發明（設計）人: 鄧必龍;鄭利勇
• 申請（專利權）人: 龍鱗（深圳）新材料科技有限公司
• 主分類號: C23C16/509
• 分類號: C23C16/509
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 潘登

1.一種旋轉電極鍍膜系統，其特征在于，包括：

電極組件(1)，包括：電極架組件、射頻電極片(12)和接地電極片(14)；

所述射頻電極片(12)和所述接地電極片(14)平行間隔設置在所述電極架組件上，所述射頻電極片(12)與射頻電源電連接，所述接地電極片(14)與所述射頻電極片(12)相互絕緣；

公轉組件(2)，用于驅動所述電極架組件繞設定中心轉動；

自轉組件(3)，與所述電極架組件傳動連接，用于驅動所述電極架組件繞自身軸線轉動，所述設定中心與所述電極架組件的自身軸線間隔設置；所述自轉組件(3)包括自轉主動齒輪(31)和轉軸(32)，所述自轉主動齒輪(31)固定套設在所述轉軸(32)上，所述自轉主動齒輪(31)與所述電極架組件傳動連接；

所述公轉組件(2)包括公轉主動齒輪(21)和公轉從動齒輪(22)，所述公轉主動齒輪(21)與所述公轉從動齒輪(22)相嚙合，所述電極架組件轉動設置在所述公轉從動齒輪(22)上，所述設定中心為所述公轉從動齒輪(22)的轉動中心；

所述轉軸(32)穿設在所述公轉從動齒輪(22)上，且與所述公轉從動齒輪(22)同軸線設置；

所述電極架組件包括電極架(11)和自轉從動齒輪(16)，所述自轉從動齒輪(16)轉動設置在所述公轉從動齒輪(22)上，且與所述自轉主動齒輪(31)相嚙合，所述電極架(11)設置在所述自轉從動齒輪(16)上，所述射頻電極片(12)和所述接地電極片(14)均設置在所述電極架(11)上；

旋轉電極裝置(4)，所述旋轉電極裝置(4)包括相互連接的第一旋轉電極組件和第二旋轉電極組件，所述轉軸(32)的上端轉動設置在所述第一旋轉電極組件上，所述電極架組件轉動設置在所述第二旋轉電極組件上。

2.根據權利要求1所述的一種旋轉電極鍍膜系統，其特征在于，所述射頻電極片(12)和接地電極片(14)沿所述電極架組件的高度方向間隔設置多個，且所述射頻電極片(12)和所述接地電極片(14)一一對應設置。

3.根據權利要求1所述的一種旋轉電極鍍膜系統，其特征在于，所述第一旋轉電極組件包括同軸線設置的第一外環件(41)和第一內環件(43)，所述第一外環件(41)與所述第一內環件(43)之間設置第一中繼滾子(42)，所述第一內環件(43)固定套設在所述轉軸(32)上。

4.根據權利要求1所述的一種旋轉電極鍍膜系統，其特征在于，所述第二旋轉電極組件包括同軸線設置的第二外環件(44)和第二內環件(46)，所述第二外環件(44)與所述第二內環件(46)之間設置第二中繼滾子(45)，所述第二內環件(46)固定套設在所述電極架組件，所述第二外環件(44)與所述射頻電極片(12)電連接。

5.根據權利要求3所述的一種旋轉電極鍍膜系統，其特征在于，所述第一外環件(41)上設置有開口部，于所述開口部的位置設置有鎖緊組件(47)，所述鎖緊組件(47)包括：

兩塊連接耳板(471)，間隔設置在所述開口部的兩端；

安裝軸(472)，穿設在兩塊所述連接耳板(471)上；

彈性件(473)，套設在所述安裝軸(472)上，且一端與所述安裝軸(472)的端部抵接，另一端與其中一塊所述連接耳板(471)抵接。