[發明專利]一種ITO靶材注漿成型工藝的漿料的制備方法

在審

• 申請號: 202110070023.X
• 申請日: 2021-01-19
• 公開（公告）號: CN112608143A
• 公開（公告）日: 2021-04-06
• 發明（設計）人: 李強;李康
• 申請（專利權）人: 福州大學
• 主分類號: C04B35/457
• 分類號: C04B35/457;C04B35/626;C04B35/634;C23C14/08;C23C14/34
• 代理公司: 福州元創專利商標代理有限公司 35100
• 代理人: 修斯文;蔡學俊

1.一種ITO靶材注漿成型工藝的漿料的制備方法，包括機械混合、氣流粉碎、砂磨和真空處理這四個過程，其特征在于：

（1）氧化銦粉和氧化錫粉機械混合：將氧化銦粉和氧化錫粉混合進行配備ITO粉，將配備好的ITO粉放入混合攪拌機進行混合，攪拌20-30min，使氧化銦粉和氧化錫粉初步混合；

（2）氣流粉碎處理：將混合好的ITO粉末放入沖擊式氣流粉碎機進一步粉碎，氣流粉碎機中所用的沖擊板為ITO板，將粉碎后的ITO粉末放入篩機進行篩選，粉體徑粒小于1μm進行下一步處理，大于1μm粉末重新放入氣流粉碎機中進行二次粉碎；

（3）砂磨處理：將篩選出的ITO粉體放入砂磨機中，加入水、分散劑和磨球，球磨得到ITO漿料；

（4）真空處理：將砂磨后的ITO漿料依次進行機械泵抽真空處理和分子泵抽真空處理，處理后的漿料可直接用于ITO靶材注漿成型工藝中。

2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：步驟（1）中所述

氧化銦粉和氧化錫粉按質量比8.5~9：1.5~1進行配備。

3.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：步驟（3）所述的水為去離子水。

4.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：步驟（3）所述分散劑由烯丙基胺聚氧乙烯醚、甲基丙烯酸和聚丙烯酸胺混合而成，其中，所述烯丙基胺聚氧乙烯醚的質量百分比為55～60％，所述甲基丙烯酸的質量百分比為15～20％，所述聚丙烯酸胺的質量百分比為20～25％。

5.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：步驟（3）所述包含氧化錫和氧化銦的混合粉體的總質量與水的質量比為(7.5~8.5)：（2.5~1.5），所述包含氧化錫和氧化銦的混合粉體的總質量與分散劑的質量比為1:(0.03～0.05)。

6.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：步驟（3）所述的磨球采用ITO磨球，球料質量比控制在3~5:1，磨球的大中小球質量比為1:1:2，其中大球直徑為5mm，中球直徑為3mm，小球直徑為1mm。

7.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：步驟（3）球磨條件為：球磨采用ITO磨球，球磨機轉速控制在800-1200rpm，球磨8-10h。

8.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：步驟（3）球磨后的ITO漿料粉體粒徑大小為200-250nm。

9.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：步驟（4）所述的所述機械泵抽真空的時間為20～40min；所述機械泵抽真空后體系的真空度為0.5～1kPa。

10.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：步驟（4）所述分子泵將真空度抽至5~8*10^-3Pa后，再持續抽真空60～90min。