[發明專利]一種薄膜壓力傳感器

有效

• 申請號: 202110069731.1
• 申請日: 2020-02-26
• 公開（公告）號: CN112924056B
• 公開（公告）日: 2023-03-17
• 發明（設計）人: 段曉東;張少邦;劉雷
• 申請（專利權）人: 鈦深科技（深圳）有限公司
• 主分類號: G01L1/14
• 分類號: G01L1/14;A61B5/03;A61B5/00
• 代理公司: 江蘇斐多律師事務所 32332
• 代理人: 向妮

1.一種薄膜壓力傳感器，可用于生物管道壓力檢測，其特征在于，所述薄膜壓力傳感器包括：

電路層，所述電路層包括一個或多個傳感元件；

功能膜層；

結合層；

其中，所述電路層與所述功能膜層通過所述結合層貼合；

所述結合層設置有第一通孔，以使所述電路層和所述功能膜層之間形成空腔；所述第一通孔與所述薄膜壓力傳感器的外界連通；

所述第一通孔包括第二排氣通道和一個或多個空穴，所述電路層設置有排氣孔，所述排氣孔連通外接設備；

所述空穴與所述傳感元件對應設置，所述第二排氣通道的一端與所述空穴分別連通，另一端與所述排氣孔連通；

所述薄膜壓力傳感器還包括連接件，所述連接件貼敷于所述薄膜壓力傳感器的背面；所述連接件設置有第二通孔，所述第二通孔與所述排氣孔對應；

所述薄膜壓力傳感器還包括第一排氣通道，所述第一排氣通道的一端經所述第二通孔與所述排氣孔密封連接，另一端用于與外接設備密封連接。

2.根據權利要求1所述的薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述功能膜層包括離子膜和第一薄膜，所述第一薄膜由生物相容性材料制成。

3.根據權利要求1所述的薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述電路層還包括第二薄膜，所述傳感元件設置于所述第二薄膜。

4.根據權利要求1所述的薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述傳感元件通過信號線與外接設備連接。

5.根據權利要求4所述的薄膜壓力傳感器，其特征在于，各所述傳感元件均通過單獨的所述信號線與外接設備連接，或者；

多個所述傳感元件陣列分布，且每行的所述傳感元件串聯后通過所述信號線與外接設備連接。

6.根據權利要求5所述的薄膜壓力傳感器，其特征在于，多個所述傳感元件陣列分布時，相鄰所述傳感元件的陣列間距為5cm～15cm。

7.根據權利要求4所述的薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述薄膜壓力傳感器還包括第一排氣通道，所述第一排氣通道與外接設備密封連接；

所述結合層包括第二排氣通道，所述第一排氣通道與所述第二排氣通道連通，所述信號線設置在所述第一排氣通道和所述第二排氣通道內。

8.根據權利要求1所述的薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述功能膜層的厚度為50um，所述結合層的厚度為30um，所述電路層的厚度為50um，所述連接件的厚度為30um。

9.根據權利要求1所述的薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述功能膜層為懸臂式結構，且所述功能膜層的外側設置防水層。

10.根據權利要求9所述的薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述功能膜層與所述傳感元件的對應的位置設置有懸臂單元；

在具有預設形狀的所述功能膜層上進行切割形成所述懸臂單元，以使所述功能膜層形成懸臂式結構。

11.根據權利要求10所述的薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述功能膜層的未切割弦長L的長度為1mm～10mm。

12.根據權利要求1所述的薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述功能膜層為懸臂梁式結構，且所述功能膜層的外側設置防水層。

13.根據權利要求12所述的薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述功能膜層與所述傳感元件的對應的位置設置有懸臂梁組件；

在具有預設形狀的所述功能膜層上進行切割形成所述懸臂梁組件，以使所述功能膜層形成懸臂梁式結構。

14.根據權利要求13所述的薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述懸臂梁組件的懸臂寬度W為1mm～10mm。